【課題】リード線の断線、絶縁被覆破れによる感電、デッドショートの危険性がなく、安心して施工できる電気床暖房パネルが作れる面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の電極３ａ〜ｅと、電極３ａ〜ｅにより給電される抵抗体２と、電極３ａ〜ｅ及び抵抗体２を上下から覆うＰＥＴフィルム４からなる電気絶縁性基材と、電極３ａ〜ｅと接続部７ａにて電気的に接続してなる給電用引き回しリード線６ａ、６ｂを備え、接続部７ａを抵抗体２に対して片側に集約するとともに、給電用引き回しリード線６ａ、６ｂを交差することなく接続部７ａに対して極性別に両側に配置してなる構成としている。 （もっと読む）

【課題】熱板のカバー（蓋体）の断熱性を確保しつつ、低温領域での熱板の設定温度の変更にも高速で追従することができる加熱処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを載置し加熱する熱板５０と、熱板５０上に載置された基板Ｗを覆い処理室４１を形成する蓋体６０と、蓋体６０の温度を計測する温度センサ１００とを有する。蓋体６０は、上面と下面との間に形成された空間層７４、７５を有し、蓋体６０を冷却するときに、空間層７４、７５に冷却用気体を通流させて、温度センサ１００の出力信号に基づいて、冷却用気体の流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】硫酸をベースにした流体を加熱する場合でも加熱効率の低下を抑制できる流体加熱装置を提供する。
【解決手段】本発明の流体加熱装置は、硫酸をベースにした薬液を加熱する流体加熱装置であって、石英等からなり透光性を有する内管３ａと、前記内管内に配置されたランプヒーター４と、前記内管の外側に配置された石英等からなり透光性を有する外管２と、前記外管の両端に配置された石英等からなり透光性を有する側板１５ａ，１５ｂと、前記外管と前記内管との間に配置された光吸収材としてのアモルファスカーボンパイプ１と、を具備し、前記アモルファスカーボンパイプ１は、前記外管と前記内管との間に流される薬液に接触するように配置されている。 （もっと読む）

シャンクと、先端とシャンクと先端との間の融合部であって先端内の熱の閉じ込めを改善するために抵抗勾配を与えるように構成された融合部と、を含む熱極を提供する。熱極はまた一体化冷却用ノズルを含んでもよい。シャンク、先端、融合部および一体化冷却用ノズルすべてが単一の工作物で形成されてもよい。熱極はまた、シャンクと一体化された小型取り付け台により形成されてもよい。小型取り付け台は、熱極を締め付け構造から効率的に交換するように、締め付け構造と結合されることができる。
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【課題】半導体ウエハ等の板状被加熱物を非接触で効率よく加熱することができる加熱装置を提供すること。
【解決手段】本発明では、半導体ウエハ２０等の板状被加熱物の全面を非接触で加熱するヒータブロック１１を備えた加熱装置であって、前記ヒータブロック１１の前記半導体ウエハ２０に対する対向面部分に加熱ガス噴射用のノズル部１２を設けると共に、このノズル部１２から噴射されるガスが外部から当該ノズル部１２の中央に供給されるのを案内するガス供給路１１ａを前記ヒータブロック１１に設け、前記ノズル部１２が、当該ノズル部１２から前記半導体ウエハ２０等の板状被加熱物に向けて噴射される加熱ガスＧの一部を再循環させる噴射ガス再循環機構３０を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造にて確実に球体を熱処理プレートに固定することができ、しかもプレートの上面と基板との間の間隔調整も容易な熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理プレート１１には円筒状の孔部３１が穿設されている。孔部３１にはスペーサ３２とプロキシミティボール３０とが順に入れられる。スペーサ３２は、ステンレス鋼にて形成された円筒形状部材である。プロキシミティボール３０は、アルミナにて形成された球体である。それらの上からガイドキャップ３５を所定のトルクにて孔部３１に螺合する。ガイドキャップ３５がプロキシミティボール３０を下方へと押圧する力と、それに対抗するスペーサ３２からの反力によってプロキシミティボール３０が熱処理プレート１１に固定される。このときに、プロキシミティボール３０の上端部が熱処理プレート１１の上面１１ａから所定の高さだけ突出する。 （もっと読む）

【課題】電磁波をウェハに対して遮断することで、ノイズの少ない、もしくはノイズのほとんどないプロービングを実現できるウェハ保持体およびそれを搭載したウェハプローバ装置を提供する。
【解決手段】ウェハ保持体は、ウェハを載置するチャックトップ１と、チャックトップ１を加熱する抵抗発熱体３を有し、抵抗発熱体３の少なくとも一部が絶縁層で覆われており、絶縁層の前記抵抗発熱体３の反対側に、導電層２を有する。この導電層２は、検査に悪影響を与える電磁波を遮断する。また、絶縁層は、抵抗発熱体３の全面を覆い、導電層２が、絶縁層を含む抵抗発熱体３の全面を覆うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 ジュール加熱装置による飲食物の加熱操作を終了する際における廃棄製品を少なくして加熱歩留まりを向上する。
【解決手段】 ジュール加熱装置１３は、流路を形成する管状部材およびこれに対をなして取り付けられる電極を備えた加熱ユニット２８を有し、加熱ユニット２８にはホッパ１１から飲食物が製品供給管３８を介して供給され、加熱された飲食物は製品搬出管３９により外部に搬出される。ホッパ１１から搬送される飲食物に対する加熱操作を終了する際に、飲食物の終端部にダミー製品がダミーホッパ５２から製品供給管３８に向けて供給され、ダミー製品は飲食物の粘度と同等もしくはそれよりも高い粘度となっているので、飲食物とダミー製品との混合領域は短くなり、混合領域およびダミー製品はダミー排出管５５から外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】 効率よく基板全面を十分に均一な温度に加熱処理することが可能な熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 熱処理装置は、基板Ｗ通過用の開口部１３を有するチャンバ１０と、チャンバ１０内に配設されその上部に基板Ｗを載置する加熱プレート２１と、チャンバ１０における開口部１３を開閉移動可能な開閉扉３０とを備える。チャンバ１０は、外側層１２と、外側層１２の内周面全域を覆う内側層１１とを備える。この内側層１１は、その内面全域が熱反射処理されている。また、開閉扉３０は、開閉扉外側層３２と、開閉扉外側層３２のチャンバ１０内を向く面を覆う開閉扉内側層３１と、を備え、この開閉扉内側層３１のチャンバ１０内を向く面が熱反射処理されている。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも時々機械的諸力を負荷される車室領域内に機能要素を受容するための装置（２）であって、基層（８）と中間層（１０）と表層（１２）とを有し、層（８、１０、１２）が互いに少なくとも部分的に覆い合わせて配置され、中間層（１０）が基層（８）と表層（１２）との間で機械的荷重を伝達するための少なくとも１つの支持要素（１４）を有し、この支持要素が特に固体の、但し柔軟な材料で形成されているものに関する。基層（８）と表層（１２）と支持要素（１４）との間に残存する空間（１６）内に支持要素（１４）を補足して他の、つまり電気的機能要素（１８）が配置されている。
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