本発明は、流体から固体物質を分離するためのサイクロン式分離装置(10)を提供するものであり、該装置は、分離チャンバ(12)と、分離チャンバ(12)に連通し、固体物質を随伴する流体を分離チャンバ(12)に運び入れるための入口(14)と、固体物質が分離された後に流体を分離チャンバから運び出すための出口(20)と、を有している。出口(20)は、分離チャンバ(12)の内部に連通する導管によって形成され、長手軸線(26)を有している。複数の溝(24)は、導管出口(20）の内表面(22b）に形成されており、溝(24)は、長手軸線(26)と同じ向きに延びている。出口における溝(24)の存在は、使用中に装置(10)によって生成されるノイズを減少させる効果を有し、また圧力回復をも改善する。

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【課題】 真空ポンプを損傷させず整備、点検の容易で且つ燃焼処理を必要としないＰＦＣの処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】 真空室１２の後段には配管１４を介して真空ポンプ１６と反応ガス導入部１７とプラズマ処理部１８と重合体回収部２０とが連続して設置され、処理装置１０を構成する。このように処理装置１０を構成すれば、プラズマ処理後の反応物が真空ポンプを通過することがなく、反応物によって真空ポンプが損傷するのを防止することができる。またプラズマ処理を行う部分については大気圧の環境に設置されるため、プラズマ処理部の整備や点検を容易に行うことができる。また混合ガスをプラズマ処理することによって重合体を生成するので、当該重合体を回収するだけでＰＦＣの処理を済ませることができる。 （もっと読む）