【課題】アーク放電が生じることを抑制しつつ多量のラジカル又は窒素酸化物を生成でき、生成したラジカル又は窒素酸化物を効率良く利用できるラジカル発生装置及び窒素酸化物発生装置を提供する。
【解決手段】高周波電圧を放電電極２に印加して放電を生じさせる放電領域４に空気を供給するファン１０を備える。放電領域４に供給される空気の流速値と、ラジカルがファン１０によって放電領域２より下流側に供給される供給量との関係において、空気流速値の増加に伴ってラジカル供給量がピーク値から低下して定常状態に移行したときにおけるラジカル供給量及び空気流速値の夫々の値を閾値とする。ファン１０によって放電領域４に供給される空気流速値を、空気流速値の閾値よりも小さく、ラジカル供給量がラジカル供給量の閾値よりも高くなるときの空気流速値に設定する。 （もっと読む）

【課題】生成されるミストの粒径を小さくし、粒径の大きさを均一にするとともに、霧化能力を向上させることができる成膜用霧化装置を提供することを課題とする。
【解決手段】霧化用液体５を収容する容器９と、当該容器９および中間溶液６を収容し、当該中間溶液６に少なくとも容器９の底面部を浸漬させる溶液槽１１と、当該溶液槽１１に配置され、霧化用液体５に対して超音波を照射する超音波振動子部４と、当該超音波振動子部４の駆動を制御する制御装置３とを備える。超音波振動子部４は厚み方向の両面に電極部を有し、一方の電極部は互いに絶縁された複数の電極４０ａ〜４０ｈにより構成され、他方の電極部は共通の電極４０ｉにより構成されており、制御装置３は当該複数の電極４０ａ〜４０ｈのうち電圧が印加される電極４０ａ〜４０ｈを切り換える。 （もっと読む）

【課題】携帯用超音波ミスト発生装置において、超音波振動子３を駆動するパワートランジスタ１３を経済的に効果的に空冷する。
【解決手段】流路１１がファン９とタンク２間に形成され、ヒートシンク部材１２が流路１１に設けられ、パワートランジスタ１３がヒートシンク部材１２と組み合わされ、超音波振動子３に接続される。さらに、電子装置１４がパワートランジスタ１３に接続され、電子装置１４およびパワートランジスタ１３によって超音波振動子３が駆動され、タンク２の液体５，６が超音波振動し、その液面１６から液柱１７が噴出し、液柱１７によってミストが発生する。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子を駆動する高周波電源の発熱を有効に利用して、溶液を効率よくミストに霧化でき、さらに溶液で高周波電源を冷却して、高周波電源を効率よく冷却できる超音波霧化装置を提供する。
【解決手段】溶液が供給される超音波霧化室４を内部に設けているケーシング４９と、ケーシング４９に設けられて溶液を超音波振動させる超音波振動子２と、超音波振動子２に高周波電力を供給する高周波電源３とを備え、高周波電源３から超音波振動子２に高周波電力を供給し、超音波振動子２でもって溶液を超音波振動して、溶液を気体中にミストに霧化する。高周波電源３は、冷却用の放熱部５１を有する集積回路５０を備える。超音波霧化装置は、集積回路５０の放熱部５１を超音波霧化室４のケーシング４９に熱結合状態で連結して、集積回路５０の発熱を、放熱部５１を介して超音波霧化室４のケーシング４９に伝導している。 （もっと読む）

【課題】超音波霧化室の溶液を効率よくミストに霧化する。溶液から発生するミストに含まれる目的物質を効率よく回収して高濃度の溶液を分離する。
【解決手段】超音波分離装置は、表面に移行して表面過剰となる物性の目的物質を含む溶液が供給される超音波霧化室４と、この超音波霧化室４の内部において、溶液を超音波振動でミストに霧化する超音波振動子２と、この超音波振動子２に接続されて超音波振動子２に高周波電力を供給して超音波振動させる超音波電源３と、超音波振動子２で霧化されたミストを搬送気体と共に移送して、搬送気体に含まれるミストを凝集させて回収する回収部５とを備える。超音波霧化室４で霧化されたミストは、回収部５で凝集して回収される。さらに、超音波分離装置は、超音波霧化室４の内圧を大気圧よりも低くしている。 （もっと読む）