【課題】基板処理のスループットを向上させると共に、基板と塗布膜の密着性を向上することができる基板の処理方法及び基板の処理装置を提供すること。
【解決手段】ウエハＷの表面に形成された密着膜の少なくとも一部の表面に形成された塗布膜に、凹凸パターンが設けられた転写面を備えるテンプレートの転写面を転写するインプリント処理に供するウエハの処理方法であって、ウエハを回転させながら、ウエハの表面に密着剤を供給する供給工程（ステップＳ−５）と、ウエハを回転させながら、ウエハの表面に気体を供給して、余剰な密着剤を除去する除去工程（ステップＳ−７）を具備する。 （もっと読む）

【課題】インプリント工程中の雰囲気を構成する気体が、モールド表面に形成された凹凸構造内の空隙に取り込まれることによる転写精度の低下を防止する。
【解決手段】
基板表面上に塗布した成形材料を成形温度に加熱し、この成形材料をモールドに対してプレスして、モールド表面に形成した凹凸構造を転写する工程を備えたインプリント方法において、成形材料をモールドに対してプレスする工程に先立って、モールド表面に形成された凹凸構造内部に、成形材料の成形温度より沸点及び発火点が高い液体を充填し、該凹凸構造内部の空気と置換する工程を設ける。 （もっと読む）

【課題】基板の表面にシランカップリング剤を塗布して表面処理を実施する工程を含むナノインプリントにおいて、シランカップリング剤の凝集物の生成を低減することを可能とする。
【解決手段】ナノインプリント方法において、Ｓｉ原子に隣接して１または２のアルキル基を有するシランカップリング剤３を基板２の表面に塗布し、シランカップリング剤３が塗布された上記表面に、イソボルニルアクリレート、エチレングリコールジアクリレートおよびシリコーンモノマー系化合物のいずれかを含有する硬化性樹脂を塗布して硬化性樹脂膜４を形成し、凹凸パターンを硬化性樹脂膜４に向けながらモールド１で硬化性樹脂膜４を押し付け、硬化性樹脂膜４を硬化させた後、モールド１を硬化性樹脂膜４から剥離する。 （もっと読む）

【課題】高精細なインプリント転写が安定して行えるインプリント方法と、このようなインプリント方法を可能とするインプリント用基板とを提供する。
【解決手段】インプリント用基板を、基板本体２と、この基板本体２の一方の面に位置する濡れ性変化層３とを備えたインプリント用基板１、あるいは、基板本体１２と、この基板本体１２の一方の面に位置する包囲構造物１３とを備えたインプリント用基板１１とすることにより、このインプリント用基板１，１１上に被加工物として供給された樹脂５１の液滴の高さが維持でき、また、モールド６１のパターン領域を押し当てたときに、樹脂はモールド全面に広がる。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント装置におけるインプリント時のレジスト層の残渣を無くして、微細なパターンの形成、高密度なビットパターンド媒体を製作する。
【解決手段】レジストの表面に微小な凹凸パターンを有するモールド４１を押し当てることによって、モールド４１上の突起部４７で凹凸をレジストの表面に転写するナノインプリント装置において、モールド４１の突起部４７の頂面に連続する溝部４８を設けておき、モールド４１をレジストに押し当てる時に、レジストの一部がこの溝部４８内に収容されるようにして、レジスタの残渣が少なくなるようにしたナノインプリント装置である。 （もっと読む）

【課題】所望とおりに突起の配列を形成することができる成型品の製造方法を提供する。
【解決手段】基板の表面に球状微粒子３６は配列される。基板の表面で球状微粒子３６を覆い隠す被覆膜３７は成膜される。被覆膜３７の裏面から被覆膜３７および球状微粒子３６にエッチング処理が施される。被覆膜３７の裏面は徐々に削られていく。このとき、被覆膜３７の裏面には球状微粒子３６の働きで窪みが形成される。窪みは球状微粒子３６の外形で象られる。こういった窪みが半球体よりも縮小すると、エッチング処理は終了される。エッチング処理の終了まで窪み内に球状微粒子３６は残存する。窪みの内壁面は浸食から保護される。半球面よりも縮小された部分球面で窪みが区画されれば、成型品の成膜時に確実に窪み内に成型品の材料は入り込む。被覆膜３７の裏面から成型品が剥離される際に成型品の突起は確実に被覆膜３７の窪みから抜け出る。 （もっと読む）

本発明は表面を構造化する方法、すなわち、剛性ガラス要素（１）及び該ガラス要素（１）に付着された少なくとも一つの層（１ａ）を含む製品の平表面上にサブミクロンスケールの横方向の特性寸法を有するパターン（ｆｅａｔｕｒｅ）のアレイを少なくとも一つ形成する方法に関し、構造化は前記層（１ａ）上で行われ、塑性変形又は粘塑性変形による表面構造化はマスク（１０）と呼ばれる構造化された要素との圧力下での接触によって行われ、構造化は製品の表面と平行な連続的な運動及び製品の表面の平面に平行な軸の周りのマスクの運動によって行われる。本発明はさらに、構造化された表面を持つガラス製品、及びその使用に関する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シート状体の凹凸ローラによる凹凸の転写形状を均一にできる凹凸状シートの製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】本発明のエンボスシートの製造装置１０では、エンボスローラ１３の回転速度をロータリエンコーダ２１によって検出し、検出されたエンボスローラ１３の回転数に基づき、エンボスローラ１３のモータ２０を、モータドライバ２２を介してコントローラ２３により制御することにより、シートＷの走行速度を制御する。これにより、エンボスローラ１３とシートＷとの間でスリップが生じないようにエンボスローラ１３の回転速度を高精度に制御可能なので、塗布液Ｆによる樹脂層の膜厚が変動した場合であっても、シートＷのエンボスローラ１３による凹凸の転写形状を均一にできる。 （もっと読む）

【課題】疎水性のプラスチックの表面を、超親水性にすることにより、防曇性防汚染性に優れプラスチック成型物を容易に製造する方法を提供する。
【解決手段】フイルム基材に親水性シリカ膜を形成し、プラスチック表面に圧と熱とでシリカ膜を転写するか、上記フイルムを金型内面に箔送り装置で送り込み、プラスチックを射出成型しシリカ膜を転写することで、超親水性表面を有するプラスチック成型物が得られる。 （もっと読む）

【課題】 意匠性の高いエンボス外観を有するフッ素塗装金属板を提供する。
【解決手段】 本発明は、塗装前処理を施した下地金属板に、プライマー塗膜を形成し、その上面に顔料や添加剤を配合したポリフッ化ビニリデン樹脂／アクリル樹脂系塗料を乾燥膜厚で１０〜３０μｍになるように塗布し、融点以上の温度で加熱処理した後、融点以上の温度を保ったまま、エンボス加工したロールで押圧し、ただちに急冷して当該エンボス模様を固定させることを特徴とする。 （もっと読む）