【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する構造物を成形できる成形方法及び成形装置並びに構造物を提供する。
【解決手段】
型ＭＤを素材Ｍから引き離すと、まず先端側の領域（Ｒ１）から、転写された微細形状ＭＳが剥がれようとする。しかし、奥側の領域（Ｒ２）からは微細形状ＭＳが剥がれていないので、微細形状ＭＳの根本側の幅Ｗ１が細くなるように変形する。すると、微細形状ＭＳと型ＭＤの内側面との間にスキマが生じ、ここから空気が侵入するため、微細形状ＭＳは型ＭＤから、より離型しやすくなり、ちぎれなどの破損を抑制することができる。最終的に、型ＭＤが微細形状ＭＳから離隔したときは、型ＭＤの微細形状の幅は一様であるにも関わらず、微細形状ＭＳの根本の幅Ｗ１が、その先端の幅Ｗ２よりも小さく（Ｗ１＜Ｗ２）となっている。 （もっと読む）

【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する成形物を成形できる成形装置及び光学素子を提供する。
【解決手段】
型円板２ａにおいて、微細形状２ｂを周期方向（ラインアンドスペースの並び方向）に挟むようにしてアンカー部２ｃを形成しているので、微細形状２ｂの剪断強度よりも高い剪断強度を有するアンカー部２ｃにより、冷却時における素材Ｍの少なくとも型円板２ａに近い面の変形を抑えることができ、それにより転写された微細形状の離型時における曲がりや、ちぎれを抑制できる。 （もっと読む）