【課題】型に設けられた微細なパターンをシート状の基材に転写したことにより、前記型に貼り付いている前記基材を、前記型から剥がすためのシート離型装置において、転写されたパターンのアスペクト比が大きくても、前記パターンが崩れにくいシート離型装置を提供する。
【解決手段】型１１に設けられた微細なパターンをシート状の基材３の一方の面に薄く設けられた被成形物９に転写する際に、型１１に貼り付いている基材２を、型１１から剥がすためのシート離型装置５７において、転写面１３の一端部から他端部に向かって、ほぼ直線状の引き剥がれる部位を徐々に進行させつつ、基材３を引き剥がす引き剥がし手段５９を有する。 （もっと読む）

【課題】表面にシボ模様を有する成形体を効率良く製造する。
【解決手段】熱可塑性プラスチック材からなるものであって表面側にシボパターン面１１を有し、裏面側には模様層１２を有するシボ付きシート１と離型フィルム３との重合わせにて形成されるラミネート材３０を、所定の温度に加熱する予熱工程（Ａ）と、予熱されたラミネート材３０を真空引き手段９９を有する凹型９１のところに密閉状態を保って設置するセッティング工程（Ｂ）と、凹型９１側から真空引きを行ないラミネート材３０を成形加工する真空成形工程（Ｃ）と、ラミネート材３０を形成するシボ付きシート１の裏面側に熱可塑性プラスチック材を注入するインジェクション成形工程（Ｄ）と、両型９１、９２を開いて成形加工物５を取出すとともに、取出された成形加工物５の表面側に存在する離型フィルム３を引き剥がす離型フィルム除去工程（Ｅ）と、からなる。 （もっと読む）

本発明は、モールド（１３６）を含むテンプレート（２１４）内に変形を形成することを含む、固化したインプリンティング材料からモールドを分離する方法を提供する。変形（Ｐ２）は、固化したインプリンティング材料とモールドの間の接着力よりも大きな戻り力を生み出すのに十分なものである。例えば変形は、ポンプ・システム（５４６）によって、モールドと、モールドとは反対側のテンプレートの側面との間に生み出される圧力差から生じ得る。このようにして、歪みが、上に固化したインプリンティング材料が配設された基板に接触するのに十分な大きさの、テンプレート内の起伏になることができる。
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【課題】離型装置と方法の提供。
【解決手段】少なくとも一つの突き出しピンモジュールをインプリント成形完成後の型と基板の間に挿入し、型と基板局部を分離させ並びにスリットを形成し、外界の空気をこのスリットより型と基板の間に流入させて真空効果を破壊させ、さらに突き出しピンモジュールにより型より基板を分離させる。 （もっと読む）

【課題】樹脂を型から剥離する際の静電気の発生を防止することができる剥離方法及びパターン転写装置を提供する。
【解決手段】樹脂７を型２から引き離すと同時に、樹脂７と型２との間にイオン化された気体を導入し、型２、樹脂７の表面に発生した静電気を除去する。 （もっと読む）

【課題】 シートを塗布膜上の所定位置に正確にラミネートすることが可能なラミネート方法、及びこれを用いた光メモリの製造方法を提供する。
【解決手段】 ガラス基板２１に形成された接着層１２ａと、フイルム１５ａとを対面させて、これらの間隔ｄを５０〜５００μｍの範囲内にする。その後、ＣＣＤカメラ５０によって、ガラス基板２１及びフイルム１５ａを撮影する。シフト機構３８は、撮影画像に基づいて、ガラス基板２１に施されたアライメントマークと、フイルム１５ａに施されたアライメントマークとの位置が一致するように、保持枠３７を移動させる。その後、ローラ４０をＺ方向に移動させて、スクリーン３６を介してフイルム１５ａを一定の圧力で押圧しながら、ローラ４０をＸ方向に移動させることにより、フイルム１５ａを接着層１２ａ上にラミネートする。 （もっと読む）

【課題】
適切な微細形状を樹脂素材に転写できる型及び成形方法を提供する。
【解決手段】
離型時における素材の最初の剥がれは、第１ダミー領域Ｒ１の外縁ＯＲを形成する最小の半径ｒ１の円弧上の点から始まり、その外縁ＯＲの両方向と、第１ダミー領域Ｒ１の中心へ向かう方向に進行し、最終的には、使用領域Ｒ３を挟んで、第１ダミー領域Ｒ１と反対側にある第２ダミー領域Ｒ２内で終了させることができる。第２ダミー領域Ｒ２内で剥がれが必ず終了すれば、例えここで剥がれ不良が生じたとしても、使用領域３内には剥がれ不良が発生しないことになるので、使用領域Ｒ３の微細形状により転写形成された樹脂素材を用いて、良好な製品を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】成型用樹脂基材の表面に成型用凹版にて微細パターンを転写成型後に、その転写成型された樹脂基材を成型用凹版から離型する前にて、その転写成型された樹脂基材を急激に冷却し、成型用凹版から離型、離版させる時に生じるムラを無くす微細パターン成型樹脂製品の製造方法を提供する。
【解決手段】プレス式転写成型手段によりプラスチック板等の樹脂基材の表面に成型用凹版の微細なパターンを押圧プレスして転写成型する微細パターン成型樹脂製品の製造方法において、微細なパターンを押圧プレスして転写成型した後に、成型用凹版の押圧プレスを継続した状態にて、樹脂基材の裏面に急冷手段を用いて該樹脂基材をその裏面側から急冷しながら成型用凹版から離型することにより、樹脂基材表面に離型ムラが発生するのを回避する。 （もっと読む）

本発明は基板をウェハ・チャックに保持する方法に向けられる。この方法は基板の一部分をウェハ・チャックに向けて加速させ、ウェハ・チャックへ向かう基板の移動の速度を生成させ、基板がウェハ・チャックに到達する前に速度を下げることを特徴とする。この方式で、ウェハ・チャックとこの部分の衝突の力が大幅に削減され、これは基板の構造的完全性が傷つけられる可能性、さらには基板上の層および／またはウェハ・チャックが傷つけられる可能性を下げる。
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本発明はテンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法に向けられ、この方法はとりわけ、層からテンプレートを分離させるためにテンプレートに分離強制力を印加する工程、および分離を達成するために必要とされる分離強制力を小さくするために基板内の局所的変形を促す工程を含む。
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本発明は、とりわけ、内部に形成された貫通路を有し、ピンが延びる面を有する本体、およびピンとランドの間にチャネルを区画する複数の突起を取り囲むランドを含むチャッキング・システムに向けられる。さらなる実施形態では、本体が複数の突起を有する。
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【課題】 チッピングの抑制と離型性の向上が得られるようにした型押し成形型と、この型を用いた型押し成形方法を提供すること。
【解決手段】 型押し成形用の型となるシリコン製の小片２に面取り部２０を形成させ、この面取り部２０に係合する爪部６２が支持部６１に備えられている保持具６を用い、この保持部６により小片２を保持させ、型押し成形に際して小片２のチッピング(欠け)を抑え、離型性を向上させることができるようにしたもの。
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【課題】 スタンパの浮き上がりを良好に防止でき、加熱、冷却効率を良好にできるスタンパ取付装置および熱転写プレス機械を提供すること。
【解決手段】 スタンパホルダ２３（２３Ａ，２３Ｂ）にスタンパ２４（２４Ａ，２４Ｂ）の全面に対応する位置に貫通孔２３１（２３１Ａ，２３１Ｂ）を形成する。貫通孔２３１（２３１Ａ，２３１Ｂ）を連通溝２３２（２３２Ａ，２３２Ｂ）で連通し、温調プレート２２（２２Ａ，２２Ｂ）の両側において吸引用孔２２２（２２２Ａ，２２２Ｂ）と連通させる。スタンパ２４（２４Ａ，２４Ｂ）を全面にわたって吸着保持できるので、スタンパ２４（２４Ａ，２４Ｂ）の中央部の浮き上がりを防止できる。またスタンパ２４（２４Ａ，２４Ｂ）がスタンパホルダ２３（２３Ａ，２３Ｂ）を介して温調プレート２２（２２Ａ，２２Ｂ）に良好に密着するので、加熱、冷却効率を良好にできる。 （もっと読む）

【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する成形物を成形できる成形装置及び光学素子を提供する。
【解決手段】
型円板２ａと素材Ｍとの離型時に、素材Ｍの上面中央部の隆起などの不具合が生じない。これは、転写時に素材Ｍの上面が外側に張り出すような変形を枠部材３が防止しているためであり、即ち被転写部の面内における応力分布の不均一さが抑制されるので、離型時に開放される応力もより均一化され、素材Ｍの上面と型円板２ａとが均一に分離されるためである。 （もっと読む）

【課題】 操作の簡単化、低コスト化、かつ、パターン転写の高精度化を実現できる熱間エンボシングリソグラフィーを行う方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の熱間エンボシングリソグラフィーを行う方法は、基体と所定のパターンを備える圧模を設け、室において、圧模と基体を当接させ、小分子物質の蒸気を注入し、圧模と基体を基体のガラス化温度の以上に加熱して圧力を加え、それから圧模と基体を冷却し、圧模と基体を離し、このようにすると、熱間エンボシングリソグラフィーを行うことができる。本発明は、小分子物質の蒸気を注入することによって、圧模と基体との界面の強い吸着力を減らすようにして、パターン転写の高精度化、操作の簡単化、低コスト化が実現できる。 （もっと読む）

【課題】アスペクト比の高い形状でも安定した離型を実現し、高品質な微細転写形状を形成する形状転写方法を提供する。
【解決手段】金型３０と被転写体３２を所定温度以上に加熱して接触させる接触工程Ａと、金型３０もしくは被転写体３２に一定圧力を加えて、金型３０の微細形状を被転写体３２に転写させる転写工程Ｂ〜Ｃと、所定温度まで冷却させた後、金型３０と被転写体３２を剥離する離型工程Ｄ〜Ｅとを備え、前記接触工程Ａの周囲圧力Ｐ１より前記離型工程Ｄ〜Ｅの周囲圧力Ｐ２の方が低くなるように制御する。 （もっと読む）

【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細形状を有する成形物を成形できる成形方法、成形装置及びその冷却装置、並びに光学素子を提供する。
【解決手段】
型部材Ｍを被成形材Ｐに対向させ、微細形状が被成形材Ｐに接触した後に、第１の速度で押圧することにより、被成形材Ｐの表面のみを溶融させて、微細形状を転写できる状態とし、その後、型部材Ｍを被成形材Ｐに対して第１の速度より速い第２の速度で押圧することで、微細形状の転写を実行することで、被成形材Ｐの加熱溶融を抑制して、精度の良い転写を行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】安価にして微細な凹凸パターンが高精度に転写されたプレス成形体を高能率に製造可能なプレス成形装置及びプレス成形方法を提供する。
【解決手段】下金型５の上面に素材シート８を載置する（手順Ｓ１）。上金型２を下降して素材シート８に所要の押圧力を負荷する（手順Ｓ２）。上ステージ３及び下ステージ６の背面に上ヒータ４及び下ヒータ７を密着し、ヒータ４，７の熱で素材シート８の表面を軟化する（手順Ｓ３）。上ヒータ４及び下ヒータ７を上ステージ３及び下ステージ６から離隔してプレス成形品を材料である可塑性プラスチックのガラス転移温度以下の所定温度まで放冷し（手順Ｓ４）。上金型２と下金型５とを型開きし（手順Ｓ５）、上金型２又は下金型５からプレス成形品を剥がし取る（手順Ｓ６）。 （もっと読む）

本発明は、箔が１μｍ〜１０００μｍの厚さＤを有しており、箔の中に少なくとも１つの中空構造があり、中空構造の外径ｄは箔の厚さＤの少なくとも２倍の値を有しており、中空構造の高さｈは外径ｄの高々２倍の値をとり、中空構造の壁強度ｂは箔の厚さＤの０．０２倍から箔の厚さＤまでの間にあり、中空構造の局所的曲率ｒは壁強度ｂの０．２倍から５倍までの間にあり、前記箔と前記少なくとも１つの中空構造が多数の有利には統計的に分布した細孔を有しており、細孔の直径が好ましくは１０ｎｍ〜１０μｍであるような、箔から成る成形体に関するものである。
本発明はさらに、上記成形体を形成する方法と、上記成形体の、マイクロ構造化された部材のハウジングとしての使用、無機分子または有機分子、生体分子、原核細胞または真核細胞の固定化のための使用、原核細胞または真核細胞の培養のための使用、バイオセンサまたはバイオリアクタとしての使用にも関するものである。
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【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する構造物を成形できる成形方法及び成形装置並びに構造物を提供する。
【解決手段】
型ＭＤを素材Ｍから引き離すと、まず先端側の領域（Ｒ１）から、転写された微細形状ＭＳが剥がれようとする。しかし、奥側の領域（Ｒ２）からは微細形状ＭＳが剥がれていないので、微細形状ＭＳの根本側の幅Ｗ１が細くなるように変形する。すると、微細形状ＭＳと型ＭＤの内側面との間にスキマが生じ、ここから空気が侵入するため、微細形状ＭＳは型ＭＤから、より離型しやすくなり、ちぎれなどの破損を抑制することができる。最終的に、型ＭＤが微細形状ＭＳから離隔したときは、型ＭＤの微細形状の幅は一様であるにも関わらず、微細形状ＭＳの根本の幅Ｗ１が、その先端の幅Ｗ２よりも小さく（Ｗ１＜Ｗ２）となっている。 （もっと読む）