基板の隣接するフィールドにインプリントする方法について記載する。一般に、インプリント・リソグラフィ・テンプレートを用いて、基板の第１のフィールドにインプリントすることができる。つぎに、基板の第２のフィールドにインプリントする際に、テンプレートの一部が基板の第１のフィールドにオーバラップするように、テンプレートを配置することができる。 （もっと読む）

硬化パウダーコーティング表面にテクスチャを与えるための方法が提供される。これらの方法は、前記硬化パウダーコーティングをそのガラス転移点（Ｔｇ）を超える温度まで加熱する段階と、次いで複製表面を有する剥離媒体を用いて加圧下で前記硬化パウダーコーティングにテクスチャを与える段階と、を含む。テクスチャが前記硬化パウダーコーティングに与えられた後、前記剥離媒体は除去され得る。適切な剥離媒体の例は、例えば凹版、彫刻ロール、剥離紙、剥離フィルム及び剥離ウェブなどを含む。
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【課題】基材フィルムの表面に転写された微細凹凸構造やモールドの表面の微細凹凸構造を傷つけることなく、微細凹凸構造の転写に関する各種試験や多品種・少量生産を効率よく簡易に行うことができるインプリント装置およびインプリント方法を提供する。
【解決手段】長尺の基材フィルム１２の表面に、モールド３０の表面に形成された微細凹凸構造を転写するインプリント装置１０であって、基材フィルム移動手段２０と、モールド３０と、モールド３０の表面に基材フィルム１２を押し付ける加圧手段４０と、剥離ロール５０と、モールド３０よりも基材フィルム１２の移動方向上流側にて剥離ロール５０を昇降させる剥離部材昇降手段と、モールド３０よりも高い位置にて剥離ロール５０を略水平移動させる剥離部材水平移動手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの表面に離型剤を適切に形成する。
【解決手段】テンプレート処理装置１は、テンプレート搬入出ステーション２と処理ステーション３とを一体に接続した構成を有している。テンプレート搬入出ステーション２は、複数のテンプレートＴを保有可能で、且つ処理ステーション３に対してテンプレートＴを搬入出する。処理ステーション３は、搬送ユニット２０を有し、処理ブロックＧ１〜Ｇ４内に配置されている各種処理ユニットにテンプレートＴを搬送する。処理ブロックＧ１〜Ｇ４は、テンプレートＴの表面に離型剤を成膜する。処理ブロックＧ１、Ｇ２は、テンプレートＴの外側領域の離型剤に紫外線を照射して、当該紫外線の離型効果を弱める離型剤改質ユニットをそれぞれ有している。 （もっと読む）

【課題】複数のテンプレートに対して離型剤を連続的に成膜する。
【解決手段】テンプレート処理装置１は、テンプレート搬入出ステーション２と処理ステーション３とを一体に接続した構成を有している。テンプレート搬入出ステーション２は、複数のテンプレートＴを保有可能で、且つ処理ステーション３に対してテンプレートＴを搬入出する。処理ステーション３は、搬送ユニット２０を有し、処理ブロックＧ１〜Ｇ４内に配置されている各種処理ユニットにテンプレートＴを搬送する。処理ブロックＧ１、Ｇ２は、テンプレートＴに離型剤を塗布する塗布ユニットと、テンプレートＴ上の離型剤をリンスするリンスユニットとをそれぞれ有している。処理ブロックＧ３、Ｇ４は、テンプレートＴの表面を洗浄する洗浄ユニットと、テンプレートＴの温度を調節する温度調節ユニットと、テンプレートＴを焼成する加熱ユニットとを有している。 （もっと読む）

【課題】スタンパの凹凸パターンを被成形材に転写するためのインプリント装置において、スタンパと被成形材とを信頼性高く分離可能にする。
【解決手段】本発明は、スタンパ１４、１６を吸着して保持する吸着保持手段と、被成形材１２とスタンパ１４、１６との分離を促すように、吸着保持手段により保持されたスタンパ１４、１６を弾性変形させる弾性変形手段とを備える。吸着保持手段は、スタンパの外周部に吸着力を及ぼすことができ、また、弾性変形手段は、スタンパの中央部が被成形材に向けて張り出すように、スタンパを変形させることができる。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンの転写された基板からモールドを剥離することによって基板の表面に模様が形成されてしまうことを防止できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】モールド２５０として基板２１０よりも外形が大きいものを用い、平面視で基板をモールドの内側に配置して、モールドをレジスト膜に押圧する押圧工程と、モールド２５０を、モールドの外形よりも小さく基板よりも大きい平面視円形状の開口部２５１ｃを有する載置枠２５１上に、基板を載置枠側に向けて配置し、開口部２５１ｃの中心Ａと基板の中心とを平面視で一致させ、モールドの基板と反対側にモールドの中心部を押圧する押圧部材５２ｄを配置する設置工程と、押圧部材５２ｄと載置枠２５１とを相対移動させることによって、モールドの中心部を開口部内に押し込ませてモールド２５０を反らせ、モールド２５０を基板２１０から剥離させる剥離工程とを含む製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの交換頻度を効率的に決定し、交換頻度の増大に伴うスループットの低下や、交換頻度の減少に伴うパターン形成の歩留まり低下を抑制するインプリントパターン形成方法を提供する。
【解決手段】パターンを有するテンプレートを被処理基板上のレジストに対して接触させ、前記レジストを硬化したのち前記テンプレートを前記レジストから離型してレジストパターンを形成し、前記レジストパターンを前記被処理基板に転写形成する。その後、前記テンプレートを前記レジストから離型する際に、前記テンプレートの剥離に要する負荷及び前記テンプレートの剥離に要する時間の少なくとも一方を測定し、この測定値を所定の閾値と比較し、前記測定値が前記閾値を超えているか否かを判定し、前記測定値が前記閾値を超える場合に、前記テンプレートを予備のテンプレートと交換する。 （もっと読む）

【課題】パターンを基板に形成した後の基板の離型に必要とされる力が小さくて済み、パターン損壊の発生を防止するインプリント装置及びインプリント装置を用いた物品の製造方法を提供する。
【解決手段】インプリント装置が、パターンが形成されたモールド１０をウエハ１０１上のレジストに接触させてパターンをウエハ１０１に形成する。上記インプリント装置が、モールド１０とレジストとを引き離すときにウエハ１０１の裏面を保持する離型チャック２２を備える。そして、離型チャックは、ウエハ１０１の裏面の外周端部に当接する凸状の当接手段であるウエハ保持部を備える。 （もっと読む）

【課題】離型に有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】
本発明のインプリント装置は、パターンが形成されたモールド１０をレジストＭｐが塗布されたウエハ１００に押し付け、モールド１０をウエハ１００から離型することによってパターンをウエハ１００に転写する押印装置であって、ウエハ１００をその端部において吸着保持するウエハチャック２１と、ウエハチャック２１とは分離して形成され、ウエハ１００を吸着保持するウエハチャック２２と、ウエハチャック２１及びウエハチャック２２をモールド１０に対して相対的に移動させる駆動部とを有し、ウエハチャック２２は、ウエハチャック２１より可撓性の高い材質で形成されている。 （もっと読む）

【課題】残膜の厚さを容易に制御することができるインプリントリソグラフィによるパターン形成方法の提供。
【解決手段】基板１上に薄膜部２と該薄膜部から突出した突出部３とからなるパターンを形成するパターン形成方法において、前記基板１と凹凸パターンが形成されたモールド４とで被転写材層７を挟みこんで前記モールド４の凹凸パターンに前記被転写材層７を充填して成形する成形工程と、該被転写材層７から前記モールド４を離型してパターンを形成する離型工程とを具備し、前記成形工程の前に、前記モールド４の凹凸パターンの凸部の前記薄膜部２を形成する薄膜部形成面５、及び、前記基板１の前記薄膜部形成面５に対向する領域の少なくとも一方にスペーサー部６を設けるスペーサー部形成工程を有す。 （もっと読む）

【課題】半導体素子等の回路の集積度や記録密度を向上させるために用いられるナノインプリントリソグラフィーに用いられるナノインプリントリソグラフィー用光硬化性組成物を提供すること。
【解決手段】下記一般式（１）で表される置換基を有する化合物（Ａ）と、光酸発生剤（Ｂ）と、を含有し、その２５℃における粘度が５０ｍＰａ・ｓ以下であるナノインプリントリソグラフィー用光硬化性組成物である。
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【課題】非パターン領域からの光漏れや被加工物への異物の付着が防止され、種々のインプリント装置において安定した使用が可能な光インプリント用モールドを提供する。
【解決手段】光インプリント用モールドを、透明な基材（２）と、この基材（２）の表面（２ａ）側に形成された凹凸パターン（３ａ）と、遮光部（６）とを有するものとし、凹凸パターン（３ａ）が形成されたパターン領域（３）を含む所望の光透過領域（５）を画定するように遮光部（６）を配設し、かつ、遮光部（６）を非パターン領域（４）の基材（２）の内部に位置させる。 （もっと読む）

【課題】 充分な機械的強度、耐熱性、を有した針状体を好適に製造できる針状体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、成形材料を調整する成形材料調整工程と、前記成形材料を針状体形状の凹凸反転パターンからなる凹部を有する鋳型に充填する充填工程と、前記鋳型から前記成形材料を剥離し成形材料よりなる針状体を得る剥離工程と、を備え、前記充填工程にあたり、前記成形材料を熱不可逆性ゲルとすることを特徴とする針状体製造方法である。 （もっと読む）

【課題】微細凹凸パターンを転写する側のモールドと、転写される側の転写用基板とを剥離する際に、転写用基板のレジスト層に転写された微細凹凸パターンが損傷を受けることを効果的に防止できる。
【解決手段】基板１６上にレジスト層１２が形成された転写用基板１４のレジスト層１２に、モールド１０の微細凹凸パターンを転写して硬化した後、転写用基板１４とモールド１０とを剥離する剥離工程を備えた微細凹凸パターンの形成方法において、剥離工程は、転写用基板１４をレジスト層側が凸な所定曲率に湾曲させる湾曲化工程と、転写用基板１４とモールド１０とを互いに引き剥がす方向に剥離力を付与して剥離する際に、転写用基板１４の周縁部を固定した状態で基板裏面側を加圧して、転写用基板１４の所定曲率を剥離開始から剥離終了まで維持する加圧工程と、とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精細なエンボスパターンを有する大判の高品質のシート状成形物を連続的かつ安価にて製造できる方法を提供することを目的としている。
【解決手段】凹凸パターンを有する樹脂層を熱可塑性樹脂シート上に備えてなるシート状成形物の製造方法であって、前記凹凸パターンの反転パターンを有する型上に、熱可塑性樹脂を可塑剤に分散させてなる樹脂ペーストを印刷する工程と、前記樹脂ペーストを硬化させて樹脂層とする工程と、前記樹脂層上に熱可塑性樹脂シートを載置し、前記樹脂層または前記熱可塑性樹脂シートの少なくとも一方が溶融する温度以上で加熱し、該樹脂層と該熱可塑性樹脂シートとを融着して一体化する工程と、一体化された前記樹脂層と前記熱可塑性樹脂シートとを冷却する工程と、前記樹脂層を前記型から分離する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉ原盤の凹凸形状に成膜した複版を凸部に欠けが生じることなく剥離し得るモールドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】表面に微細な凹凸パターンを有するモールド１０の製造方法において、凹凸パターンを有するＳｉ原盤２６の表面に、イオン化傾向が水素よりも小さい金属、例えば、Ｐｔ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ａｕ、ＲｕおよびＰｄから選ばれる少なくとも一種の金属を含む金属膜からなる剥離層１６を形成する剥離層形成工程と、剥離層１６の形成後にモールドを構成する金属基板１２を電鋳形成する電鋳工程と、電鋳工程の後、剥離層１６と金属基板１２とを備える複版をＳｉ原盤２６から剥離する剥離工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板やフィルムの表面に微細な金型の凹凸パターンを転写成形するナノインプリント法において、離型する際に転写成形された凹凸パターンに欠陥の生じない、連続して安定したパターン形成を行うことの出来る、パターン形成装置及び方法を提供する。
【解決手段】 基板もしくはフイルムの被加工物に、凹凸パターンを有する金型を押し付け凹凸パターンを転写成形するパターン形成装置であって、前記金型を前記被加工物から離型する際の力を検出する検出器と、前記転写成形を連続して行うことによる、前記検出器の測定結果の経時変化から前記金型の凹凸表面に塗布される離型剤の塗布時期を判断する判断手段を備えた装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】プレス式の微細構造転写成形装置において、転写成形が終わった被成形体を転写成形に係るスタンパ又／及び金型から効率的に剥離することができる剥離治具を提供する。
【解決手段】本発明に係る剥離治具30は、転写成形され上金型10に保持された被成形体50を、その上金型10から剥離するプレス式の微細構造転写成形装置の剥離治具30であって、本体31と、本体31の移動手段、昇降手段及び位置合わせ手段と、本体31の縁部に設けられ、その本体31と上金型10の下面との間に被成形体50が収容された閉鎖空間55を形成するシールリング38と、閉鎖空間55に流体を導入する加圧手段と、被成形体50の縁部53を本体31方向に吸引する吸引手段と、を有している。 （もっと読む）

【課題】 低コストで構成でき、能率的であるほか、小さなスペースにも設置しやすい、好ましいナノインプリント装置を提供する。
【解決手段】 ナノインプリント装置１は、ワークＷの表面にモールドの微細パターンを転写する装置である。同装置１には、複数の保持部１１にそれぞれワークＷを保持することができ一定の停止角度位置で各保持部１１を停止させながら回転する回転テーブル１０を設ける。また、ワークＷへの樹脂塗布手段３０、ワークの加熱手段４０、およびワークへの転写手段６０を、それらの順序が上記回転テーブル１０の回転向きに一致するよう当該回転テーブル１０の回りに配置する。そして、停止角度位置にある各保持部１１とそれら各手段との間で、直線動作機構を用いてワークの受け渡しが行えるよう構成する。 （もっと読む）