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Fターム[4G021EA01]の内容

ガラス繊維の製造、処理 (1,629) | 気相反応法による製造 (355) | VAD法(気相軸付け法) (99)

Fターム[4G021EA01]に分類される特許

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【課題】長手方向におけるドーパントの添加量の変化を極力抑えつつガラス微粒子堆積体を製造する。
【解決手段】本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法は、出発棒13をその軸回りに回転させつつ、コア用バーナ21及びクラッド用バーナ22により生成したガラス微粒子を出発棒13の軸方向に堆積させ、ガラス微粒子堆積体14が目標外径となった後に、出発棒13とバーナ21,22との相対速度が目標速度に一致するように、バーナ21,22へ供給する水素ガスの流量を調整する。 (もっと読む)


【課題】 VAD法により多孔質ガラス母材を製造する装置において、大型の多孔質ガラス母材を製造する場合においても、気泡や異物の発生が少ない多孔質ガラス母材の得られる製造装置を提供する。
【解決手段】 ガラス用原料、可燃性ガス及び助燃性ガスをバーナに供給し、酸水素火炎中で生成するガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造する装置において、フィルター12を通した清浄空気が空気分配容器8に供給され、該空気分配容器8の複数の排出口7a〜7cから、反応室1の壁面に設けられた複数の給気口6a〜6cを通って反応室1内に清浄空気が供給されることを特徴としている。なお、反応室1の給気口形状に応じて形成された複数の面からなる突起状形状部が空気分配容器8内に形成され、該突起状形状部にダクト13から供給された清浄空気を衝突させることで清浄空気が排出口7a〜7cに向かって分配される。 (もっと読む)


【課題】極めて扱いやすく、高濃度で均一な添加元素の添加が可能で、しかも段差被覆性が良好で高速合成時においても透明な膜の製造が可能な石英系ガラス用原料および石英系ガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】珪素を含む有機化合物、または、硼素、リン、ゲルマニウムのうちから選ばれた少なくとも一種類の元素を含む有機化合物を、テトラヒドロフランを含む有機溶剤に溶解させた石英系ガラス用原料を、液体原料タンク2〜5から気化装置8で気化させて原料ガスとし、該原料ガスに反応ガスを混合してCVD反応炉11で化学反応により基体14上に石英系ガラスを堆積させる。 (もっと読む)


【課題】大型の光ファイバ用ガラス母材を長手方向にわたり均質に製造することが可能な製造装置と製造方法の提供。
【解決手段】光ファイバ用ガラス合成用のバーナと、該バーナ本体を固定するバーナ固定台と、前記バーナにガラス原料とガスを供給するための供給装置と、前記バーナと該供給装置をつなぐチューブとを備えた光ファイバ用ガラス母材製造装置において、
前記バーナが、少なくともガラス原料ガス及びキャリアガスを流す管路と可燃性ガスを流す管路、支燃性ガスを流す管路、不活性ガスを流す管路とを備え、前記バーナのガラス原料ガス及びキャリアガスを流す管路とその周囲に隣接する管路、又はガラス原料ガス及びキャリアガスを流す管路以外の管路間が固定されたことを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造装置。 (もっと読む)


【課題】 多孔質ガラス母材を汚染したり、損傷することなく脱水、焼結することのできる光ファイバ母材の製造方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 光ファイバ母材を製造する方法であって、ガラス微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を形成する多孔質ガラス母材形成ステップと、珪素化合物を酸水素火炎で加水分解して生成したガラス微粒子を堆積してなるスート堆積体を溶融して形成された合成石英製ガラス管の外側に、電気炉で天然石英を溶融して形成された天然石英製ガラス管がジャケッティングされてなる複合管を使用した容器を準備する容器準備ステップと、該容器に脱水反応ガス及び不活性ガスを導入するガス導入ステップと、脱水反応ガス及び不活性ガスが導入された該容器を加熱する加熱ステップと、加熱された該容器内に前記多孔質ガラス母材を挿入し、脱水、焼結する脱水焼結ステップとを有することを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、コアとクラッドの境界部に発生する裾の小さい光ファイバを確実に得ることができる光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の光ファイバ母材の製造方法は、気相合成法によりコア部と該コア部の外側にクラッド部の一部を有するコアスート体1を合成する工程と、コアスート体1を脱水雰囲気で脱水した後、不活性ガス雰囲気中で透明ガラス化する工程と、を有する光ファイバ母材の製造方法において、得られる光ファイバのコア10とクラッド20の境界部における屈折率分布の裾11を小さくするために、クラッドの一部を合成するクラッド用バーナ4にはフッ素含有ガスが供給され、コア部との境界部にフッ素を含むコアスート体1を形成することを特徴とする。
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【課題】光ファイバの内側クラッディング用のディプレスト・インデックス・クラッディングを作成する方法を提供する。
【解決手段】本発明は、ディプレスト・インデックス・クラッディングを2ステップで作成する方法である。内側クラッディングの最も内側の部分は、スート法を使用して作られ、これによって、ほとんどの光出力を運ぶクラッディングの領域についてスート法の有利性を引き出し、その後、ロッド・イン・チューブ・ステップを使用して内側クラッディング層の残りの部分を形成する。この方法は、両方の方法の有利性と不利益を効果的に密接に結合させる。 (もっと読む)


【課題】 VAD法により多孔質母材を製造する装置において、多孔質母材に付着しなかったガラス微粒子の排出効率が高く、かつチャンバー内の気流に乱れを生じることなく、ガラス微粒子を安定して堆積させることができ、気泡や異物の発生が少ない多孔質母材の製造装置を提供する。
【解決手段】 多孔質母材を製造する装置において、給気口と排気口を有する上部堆積室と、給気口を有する下部堆積室と、上部堆積室の上部にあって、堆積によって形成された多孔質母材を引上げ格納する上室とを有する反応容器において、上部堆積室の床面が、堆積中の多孔質ガラス母材の直胴部下端と堆積先端部との間の高さに設置され、上部堆積室の床部に上部堆積室と下部堆積室を接続する接続口が設けられ、接続口の開口径をA、接続口を通過する多孔質母材の径をBとするとき、B/Aが式0.05≦B/A≦0.6を満たすことを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】 支持棒を回転したときに出発材がぶれないようなガラス微粒子堆積体の製造方法を提供する。
【解決手段】 出発材11を回転させながら表面にガラス微粒子を堆積させるために、結合部10を介して支持棒51の下端部に結合して吊り下げる。出発材11は、結合部10を構成する受け部材13の空間13aに収容され、締結手段14により押え部材15を受け部材13に締め付けることにより支持棒51に結合する。このとき、同時に、受け部材13および内包されている出発材11とをピン16が貫通しており、受け部材13および押え部材15が弛んでも、出発材11が落下しないようになっている。さらに、受け部材13を貫通するピン用貫通孔17の下辺に傾斜面17aが設けられているので、出発材11を吊り下げているピン16は傾斜面17aに沿って最下部17bに移動して停止する。このため、受け部材13および押え部材15が弛んだ場合でも、「ロッド振れ回り」を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】母材を破壊することなく、短時間で確実に母材の脱水状態を認証することができる光ファイバ製造用ガラス多孔質体とその製造方法、光ファイバ用母材とその製造方法、光ファイバ用母材の脱水認証方法及び光ファイバの製造方法の提供。
【解決手段】気相法により生成したガラス微粒子が堆積されてなる、かさ密度が1.4g/cm以下の堆積層を有し、該堆積層中に、厚さ10mm以内の範囲で同一組成のガラス微粒子からなり、厚さ方向のかさ密度分布においてかさ密度が0.4g/cm以上変化するマーカー層が1箇所以上存在していることを特徴とする光ファイバ製造用ガラス多孔質体。 (もっと読む)


【課題】
合成石英ガラスの製造の際、使用する原料ガス、水素などの可燃性ガス、酸素などの支燃性ガス、ドーピングガス、不活性ガス等を多重管バーナーへ供給するにあたって、各バーナーへのガス流量を調整するための調整装置を用いることなく、各バーナーへ均一にガスを供給することができるようしたバーナー装置及びそれを用いた合成石英ガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】
合成石英ガラスを製造するのに用いられるバーナー装置であって、
ガスを導入するためのガス導入口と前記導入されたガスを分流するための多数のガス分流口とを有し前記ガス導入口から導入されたガスを分流するためのガス分流装置と、
前記ガス分流口に接続手段を介してそれぞれ接続された多本数のバーナー本体と、
所定の寸法精度の穴径で開穿され前記ガスが通過するためのガス通過孔を有し前記接続手段に取り付けられたガス流量規制プレートと、からなるようにした。 (もっと読む)


【課題】気相軸蒸着法を利用して光ファイバー母材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光子結晶光ファイバーを含む多孔構造光ファイバー用母材であって、光が通過するコアと、コアを取り囲む多孔構造のクラッドと、多孔構造のクラッドの外側を取り囲み、気相軸蒸着法で形成された最外側のクラッドと、を備える光ファイバー母材である。これにより、多孔構造の最外側のクラッドを気相軸蒸着法を利用して形成することによって、均一で、かつ稠密な高品質の光ファイバー母材を生産できる。 (もっと読む)


【課題】内部に欠陥が少なく、高品質な光ファイバを歩留まり良く製造し得る光ファイバ用ガラス母材の製造方法の提供。
【解決手段】クリーンエアが供給されるブース内に反応容器が設置され、該反応容器内で回転するターゲット上に、酸水素バーナ火炎中に投入されたガラス原料ガスから生成したガラス微粒子を堆積させ、石英ガラス多孔質体とした後、焼結ガラス化し、光ファイバ用ガラス母材を得る製造方法において、前記ブース内に静電気除去装置を設置し、陽イオンと陰イオンを交互または同時に照射して、前記反応容器内に浮遊する異物微粒子の表面電位を−0.1〜0.1kVの範囲に保ちながらガラス微粒子の堆積を実施することを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 ガラス微粒子多孔質体製造時に限界までかさ密度を高めてガラス微粒子多孔質体の体積を縮減せしめ、大型母材が製造可能となり、しかも装置のコンパクト化を図ることが可能な光ファイバ母材の製造方法の提供。
【解決手段】 ガラス原料ガス、酸素ガス及び水素ガスをバーナー12に供給し、ガラス微粒子を含む酸水素火炎13を出発ロッドに当ててガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子多孔質体10を製造し、これを透明化して光ファイバ母材を製造する方法において、ガラス微粒子多孔質体の有効部堆積面を調べ、直径3mm以上の斑点状凸部の個数が100個/10cm以下となるように堆積条件を制御しながらガラス微粒子多孔質体を製造する光ファイバ母材の製造方法。 (もっと読む)


【課題】高度に均質の光学要素のための半製品の製造方法、この製造方法を実施するに適したブランクそしてそのブランクもしくはその半製品を提供する。
【解決手段】高度に均質の合成石英ガラスの製造方法は以下の段階を含む。a)石英含有開始材料を堆積バーナーに供給し、そしてこの堆積バーナーにつくられたバーナー炎内で非結晶のSiO粒子に形成する段階、b)支持体の長手方向軸に平行でブランクの外表面の方向に大部分が順次重なっている層の形に堆積した実質的に固体のシリンダーのSiOブランクを形成する段階、c)半製品形成中シリンダーの長手方向軸と同軸に、もしくは平行にのびる回転軸に沿ってねじることを含む段階。 本発明の方法を実施するに適しているブランクは、層の大部分はスートボディーの長手方向軸と平行に延びており、そしてスートボディーの外表面の方向に重なっていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、EUVリソグラフィに好適な光学部材等を製造することができる多孔質TiO2 −SiO2 ガラス体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、スート法による多孔質TiO2 −SiO2 ガラス体の製造方法において、種棒12を25rpm以上の回転数で回転させながら、その回転機構16の多孔質TiO2 −SiO2 ガラス体成長による重量増加で発生する回転機構16の固有振動数f1低下と不安定振動数f2とを、f1>f2の状態を維持しつつ多孔質TiO2 −SiO2 ガラス体を5kg以上に成長形成する。これにより、EUVリソグラフィに好適な光学部材を製造する上で必要な重量の多孔質TiO2 −SiO2 ガラス体を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】 高周波誘導熱プラズマトーチで合成した固体物質が、該プラズマトーチの内部に付着するのを抑制することができ、かつ比較的細いターゲット棒上に合成した固体物質を効率よく堆積できる高周波誘導熱プラズマトーチおよび固体物質の合成方法を提供する。
【解決手段】 本発明の高周波誘導熱プラズマトーチは、固体物質を合成するための高周波誘導熱プラズマトーチにおいて、最内側から順に、第1管13を原料ガスおよび不活性キャリアガス流路17とし、第2管14を不活性ガス流路18とし、第3管15を必要に応じて不活性ガスで希釈した副原料ガス流路19とし、第4管16を冷却水流路20とする4重管構造を有し、第1管13および第2管14は第3管15および第4管16より後退して配置され、第4管16の外側で、かつ第1管13および第2管14の先端より前方の部分に、高周波コイル21を配置してなることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】低損失な光ファイバを安価に製造する光ファイバの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、光ファイバプリフォームを準備する工程と、プリフォームを軟化する温度まで加熱する工程と、プリフォームから光ファイバを線引きする工程とを有する光ファイバの製造方法であり、プリフォームは、デルタが0.001より大きい内側コア領域と、デルタが−0.001〜0.0005である外側コア領域と、デルタが−0.001より小さい第1クラッド領域とを少なくとも有し、さらに、内側コア領域と外側コア領域とがVAD法あるいはOVD法を用いて形成されている。 (もっと読む)


【課題】 バーナカバー先端へのシリカの付着を防止することができ、焼結・透明ガラス化したときに気泡の少ないガラス母材が得られる多孔質ガラス母材の製造方法及びこれに用いる堆積用バーナを提供する。
【解決手段】 ガラス用原料、可燃性ガス及び助燃性ガスをバーナに供給し、火炎加水分解反応により生成するガラス微粒子を堆積して、多孔質ガラス母材を製造する方法において、該バーナ3に、先端に曲面が形成されているバーナカバー4を取り付け、火炎加水分解反応により生成するガラス微粒子を堆積させることを特徴としている。本発明の堆積用バーナ3は、ガラス用原料、可燃性ガス及び助燃性ガスをバーナに供給し、酸水素火炎中にてガラス微粒子を生成させるバーナであって、先端に曲面を有するバーナカバー4が取り付けられていることを特徴としている。なお、先端面の角を曲面で面取りしたバーナカバー4をバーナ3に取り付けてもよい。 (もっと読む)


【課題】 低コストでSBSの閾値を高めることができ、高エネルギーの信号光の投入を可能とする光ファイバ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の光ファイバは、1.3〜1.6μmに動作波長帯を持つシングルモード光ファイバであって、該光ファイバのコア部における比屈折率差の径方向の分布がコア部全体の平均値に対して±10%以上変動している変動値を有し、かつ前記比屈折率差の径方向の分布形状が長手方向で変化していることを特徴とし、その製造方法は、VAD法により、バーナにガラス原料及びドーパント原料を供給し、火炎中で生成するガラス微粒子を堆積させて光ファイバプリフォームのコアロッドを製造する際において、コアの屈折率を上昇させるドーパント原料の流量を数十秒から数分の間隔で変化させることを特徴としている。 (もっと読む)


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