【課題】 本発明の課題は、プラズマにさらされた後も平滑な面が維持できその結果、シリコンウェハ等の被吸着物に対するパーティクル汚染を抑制でき、かつ被吸着体の吸着、離脱特性の優れ、低温焼成で作製することが容易な静電チャックを提供することである。
【解決手段】 本発明では、アルミナが９９．４ｗｔ％以上、酸化チタンが０．２ｗｔ％より大きく０．６wｔ％以下、体積抵抗率が室温において１０^８〜１０^１１Ωｃｍかつアルミナ粒子の粒界に酸化チタンが偏析した構造の静電チャック用誘電体を備えた静電チャックとした。 （もっと読む）

【課題】母材の特性劣化を抑制しつつ焼結温度を低くすることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、少なくとも酸化銅、酸化チタン、酸化ニオブより構成され、ｘＣｕＯ−ｙＴｉＯ₂−ｚＮｂＯ_2.5（ｘ，ｙ，ｚはモル比、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．０）と表したときの三成分組成図において、ｘ，ｙおよびｚが下記のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄを頂点とする四角形の領域内にあることを特徴とするものである。
Ａ：（ｘ，ｙ，ｚ）＝（０．５００，０．２５０，０．２５０）
Ｂ：（ｘ，ｙ，ｚ）＝（０．３００，０．２５０，０．４５０）
Ｃ：（ｘ，ｙ，ｚ）＝（０．６４０，０．０４０，０．３２０）
Ｄ：（ｘ，ｙ，ｚ）＝（０．３８４，０．０４０，０．５７６） （もっと読む）

【課題】
バッキングプレートにボンディングすることなくレーザーアブレージョン法に適用可能なターゲットとして使用できるＲＥ系酸化物超電導焼結体、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】
各種粉末または溶液を準備し、ＲＥ系酸化物超電導体の組成式をＲＥ Ｂａb Ｃｕc Ｏxと標記した時に、a＋b＋c＝6、0.95＜ａ＜1.05、1.505≦c／b＜1.6となるように、秤量、混合した後、仮焼、粉砕、焼成、粉砕、成形をおこなって、ＲＥ系酸化物超電導焼結体を得、該ＲＥ系酸化物超電導焼結体をレーザーアブレージョン用ターゲットとして使用する。 （もっと読む）

【課題】 酸素イオン伝導性が高く且つ還元耐久性の優れた酸化物イオン伝導体、および高効率で耐久性に優れた酸素分離膜エレメントを提供する。
【解決手段】 La_0.6Sr_0.4Ti_0.1Fe_0.9O₃の結晶粒界または粒内に副成分としてＬＳＭまたはＬＳＣが存在すると、酸素イオン伝導性を維持したまま、そのLa_0.6Sr_0.4Ti_0.1Fe_0.9O₃の還元膨張が抑制され、延いては酸素分離膜の還元膨張が抑制される。そのため、酸素イオン伝導性が高く且つ還元耐久性の優れた酸素分離膜が得られ、延いては、高効率で耐久性に優れた酸素分離膜エレメントが得られる。 （もっと読む）

【課題】エアベアリング面の段差の低減を図れかつ強度の高い磁気ヘッドスライダ用焼結体、これを用いた磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダ用焼結体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の焼結体は、アルミナ結晶粒１１０、及び、アルミナ結晶粒１１０間の粒界に炭素を含む薄膜１３０を有する焼結体であり、アルミナ結晶粒１１０の平均径が０．０５〜０．５μｍである。 （もっと読む）

【課題】 気密封止後にレーザービームを用いた周波数調整が必要な圧電振動素子に用いられる透光性蓋材において、小径ビームによる圧電振動子の周波数調整が可能であり、また蓋材の破損や亀裂生成を防止できるような蓋材を提供することである。
【解決手段】 蓋材１を有する容器１２内へと圧電振動子２を収容し、蓋材１を通して圧電振動子２へとレーザービームＡ、Ｂを照射することによって、振動子２の振動周波数の調整を行うための蓋材１を提供する。蓋材１は多結晶セラミックスからなる。この多結晶セラミックスの平均結晶子径および最大気孔径がそれぞれレーザービームのビーム径の１／４以下であり、蓋材の表面気孔率が０．５％以下であり、蓋材のレーザービームの波長における直線透過率が４０％以上であり、蓋材の厚さがレーザービームのビーム径の１０倍以下、０．０５ｍｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】 酸素を吸収あるいは放出する酸素吸蔵合金を提供する。
【解決手段】 低抵抗の主成分と高抵抗の添加物で組成された多結晶質の酸化物からなり、酸素イオンの移動速度が速い低抵抗酸化物の空乏層と、二つの空乏層間に存在して酸素イオンの移動速度が速い高抵抗酸化物の粒界層とが酸化物内部で形成されている。 （もっと読む）

再生処理等で熱応力がかかった際に、炭化珪素の粒子が破壊されることによって大きなクラックが発生するのを抑制でき、また、再生処理を繰り返し行った際に、担持した触媒が劣化するのを抑制でき、長期にわたって安定して使用することができるセラミック焼結体ならびにセラミックフィルタを提供することを目的とする。 本発明は、セラミック粗粒子、およびこのセラミック粗粒子群間にあってこれらを繋ぐように存在し、該セラミック粗粒子よりもその平均粒子径が小さなセラミック微粒子および／またはこれらの集合体からなる多結晶体の接合層とからなること特徴とするセラミック焼結体、ならびにこのセラミック焼結体を用いて作製されたセラミックフィルタ。
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【課題】稠密で高い硬度を有し、優れた電磁気的特性を備えたフェライト／二酸化珪素複合体を製造するための方法を提供する。
【解決手段】（ａ）ボールミル装置を準備するステップと、（ｂ）ボールミル装置のポットに、フェライト微粒子の所定量と、平均粒径がフェライト微粒子よりも小さい二酸化珪素微粒子の所定量をボールとともに封入し、ポットを自転運動、または公転運動および自転運動させてフェライト微粒子および二酸化珪素微粒子を混合することにより、フェライト微粒子のそれぞれが、その表面を被覆する二酸化珪素微粒子によって互いに分離した状態にするステップと、（ｃ）ステップ（ｂ）で得られた混合物を加圧成形するステップと、（ｄ）ステップ（ｃ）で得られた成形体を焼成することにより、フェライト／二酸化珪素複合体を形成するステップを有する。 （もっと読む）

本発明は、ガラス炉に使用することができる、改善されたクリープ強度を有する生成物を提供することを課題とする。本発明は、７５％から９９％のジルコンを含有する出発混合物から製造され、酸化物ベースの重量％で合計が１００％になるように以下の質量平均化学組成を有する焼結生成物を提供する。また、本発明は、ガラス炉内における耐熱性生成物の使用を提供する。
６０％≦ＺｒＯ_２＋ＨｆＯ_２≦７５％、
２７％≦ＳｉＯ_２≦３４％、
０．２％≦ＴｉＯ_２≦１．５％、
０．３％≦Ｙ_２Ｏ_３≦３．５％、
その他の酸化物≦１％。 （もっと読む）

本発明は、有効で耐久性のある耐火物ライニングを提供することを目的とする。本発明のガス化装置内部耐火物ライニングは、少なくとも４５重量％の酸化クロム（Ｃｒ_２Ｏ_３）および少なくとも１重量％の酸化ジルコニウムを含み、前記酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）の少なくとも２０重量％が、立方晶および／または正方晶において安定化されている焼結材料から作成される。前記酸化ジルコニウムの少なくとも６０％が、立方晶および／または平方晶において安定化されている。 （もっと読む）

【課題】高硬度であると共に、優れた化学安定性と耐熱性とを維持しつつ、高い緻密度を有し、良好な耐摩耗性を発揮する、高温構造材料として好適なセラミック焼結体、このセラミック焼結体により形成されて成り、特に高速切削時に優れた耐欠損性と耐摩耗性とを発揮することのできる切削インサート及びこの切削インサートを備えて成る切削工具を提供すること。
【解決手段】１．炭化珪素と酸化アルミニウムとを含むセラミック焼結体であって、前記炭化珪素の含有量が１０〜３０質量％であり、かつ、前記炭化珪素の粒子と前記酸化アルミニウムの粒子との粒界に存在する希土類元素を含む粒界相の厚さが０．５〜１０ｎｍであることを特徴とするセラミック焼結体。２．前記セラミック焼結体により形成されてなることを特徴とする切削インサート。３．前記切削インサートをホルダーに備えてなることを特徴とする切削工具。 （もっと読む）

【課題】高強度かつ高硬度であるとともに、ハロゲン系腐食性ガスまたはそのプラズマに曝されても優れた耐食性を有する耐食性部材や半導体・液晶製造装置用部材を安価に提供する。
【解決手段】金属元素としてＡｌをＡｌ_２Ｏ_３換算で７０〜９８質量％、ＹをＹ_２Ｏ_３換算で２〜３０質量％含有し、Ａｌ_２Ｏ_３またはイットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）からなる結晶を主結晶とする焼結体からなり、少なくともハロゲン元素が含まれた腐食性ガス又はそのプラズマに曝される面における上記ＹＡＧの結晶粒子が楔形形状である耐食性部材とする。 （もっと読む）

【課題】アルミナ結晶またはイットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）結晶を主結晶とする焼結体において、ＹＡＧ粒子の粒成長や偏析により機械的特性が低下しやすく、耐食性を向上できなかった。
【解決手段】耐食性部材を、金属元素としてＡｌをＡｌ_２Ｏ_３換算で７０〜９８質量％、ＹをＹ_２Ｏ_３換算で２〜３０質量％含有し、アルミナ結晶またはイットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）結晶を主結晶とする焼結体から形成し、前記ＹＡＧ結晶の数の７０％以上が、前記アルミナ結晶に接しているものとする。 （もっと読む）

【課題】 電圧を印加している間は大きな吸着力を有し、吸着装置から被吸着物に流れるリーク電流が小さく、さらに、電圧印加を止めた時には被吸着物が容易に離脱できる静電チャック用誘電体セラミックス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 アルミナを主成分とし、アルミナ粒子間に、遷移金属酸化物結晶粒を０．３〜１０質量％含み、アルミナと遷移金属酸化物の複合酸化物結晶粒は３質量％以下になるように遷移金属酸化物原料を添加した混合粉末を還元雰囲気で焼成したことを特徴とする静電チャック用誘電体セラミックス及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】５００℃以上といった高温での焼成を必要としない温和な条件で、有機物を多量に添加することなく、良好な成形性と成形後の保形性を確保できることに加え、欠陥が少なく機械的強度が高い良好な品質の成形体を得られる無機材料成形体の製造方法を提供する。
【解決手段】無機材料粒子に、有機原子団を含み、外部刺激に応答して他の官能基との結合反応が惹起される官能基（刺激応答性官能基）を有する修飾原子団、が化学修飾された刺激応答性無機材料粒子を原料として用い、その刺激応答性無機材料粒子を含む混合物を所望形状に成形して成形体前駆体を得、その成形体前駆体に対して外部刺激を与え、刺激応答性官能基と他の官能基との間の結合反応を利用して、無機材料粒子間を相互に結合する架橋原子団を形成させることによって、無機材料成形体を得る、無機材料成形体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、負に充分大きな熱膨張係数を有し、粒径によって熱膨張係数がほとんど変化しない複合材料を作製することができる多結晶粉末を提供することである。
【解決手段】本発明の多結晶粉末は、主結晶としてＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系結晶を含有し、マイクロクラックを有する多結晶体からなり、平均粒径が５５〜３００μｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の黒色石英ガラスは添加物の影響やボイドの発生による光散乱、迷光、色むらがあり、光学分析用部材に用いた際に分析精度が低下するなどの問題があった。また、添加剤を入れることでさらに強度が下がり、わずかな振動や衝撃によって破損が発生するなどの問題があった。
【解決手段】コーディエライトを主成分とし、Ｍｎを除く遷移金属元素群を少なくとも１種類以上含み、且つ−３０℃〜６０℃の熱膨張係数が−０．２〜０．６×１０^−６／℃であることを特徴とするセラミックス焼結体とする。 （もっと読む）

【課題】半導体、液晶製造工程に用いられるセラミックス焼結体である酸化アルミニウム質焼結体において、近年更に低コスト化の要求が高まっていた一方、耐食性の要求もありこれら２つの要求を満たす焼結体が必要とされていた。
【解決手段】酸化アルミニウムを主成分とし、副成分としてＳｉ、Ｍｇ、Ｃａ元素のいずれか１種以上の化合物を含む焼結体であって、該焼結体を構成する結晶粒子の粒界にＳｉ、Ａｌ、Ｃａ、Ｏ元素を含む非晶質相を形成したことを特徴とする酸化アルミニウム質焼結体とする。 （もっと読む）

【課題】アルミナ−窒化ホウ素複合体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】Ａｌ_２Ｏ_３を母相、ＢＮを分散相として、これらの相と少なくともＹ及びＯを含む粒界相で構成されているアルミナ−窒化ホウ素複合体、及び、ホウ酸化アルミニウムと窒化アルミニウムのその場反応に基づいて、特定量の焼結助剤の酸化イットリウムを加えて、ホットプレス或いは常圧焼結することからなる高性能アルミナ−窒化ホウ素複合体の製造方法。
【効果】非常に微細なＢＮ粒子をアルミナのマトリックス中に分散した組織を有し、優れた強度、耐磨耗性、耐食性、耐熱衝撃性と金属溶湯に対する濡れ難さ等に優れたアルミナ−ＢＮ複合材料を提供することができる。 （もっと読む）