【課題】現状のＡｒＦリソグラフィー用露光装置に好適なレーザー光誘起による熱収差発生を抑えた高品質のシリカガラス部材を提供する。
【解決手段】紫外線照射によって発生する熱収差を低減した紫外線光学用シリカガラス部材であって、波長２００ｎｍ以下の紫外光をシリカガラス部材中に透過させた時、シリカガラス部材内部で熱エネルギーに変換されて生じる光の減衰量が光路長１ｃｍあたり１／１０００以下であるようにした。前記紫外光がＡｒＦエキシマレーザー光であり、ＡｒＦリソグラフィー露光装置に使用される。 （もっと読む）

【課題】所定の光学定数を有しながら、ガラス転移店（Ｔｇ）が低く、耐熱衝撃性の高いモールドプレス用光学ガラスを提供する。
【解決手段】屈折率（ｎｄ）が１．８２５〜１．８７０、アッベ数（νｄ）が２２〜２７未満、ガラス転移点（Ｔｇ）が５３０℃〜５８５℃であり、
式−１：Ｅ・α／（１−ν）の値が、１.００×１０⁶〜１.３５×１０⁶［Ｐａ・℃^-1］
但し、Ｅ：ヤング率
α：平均線膨張係数
ν：ポアソン比
であり、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｎｂ₂Ｏ₅、Ｌｉ₂Ｏ成分を含有し、且つ実質的に鉛化合物を含有しないことを特徴とする光学ガラス。
【選択図】なし （もっと読む）

【課題】 表面にクモリやヤケなどの変質層の発生による品質低下を起こしにくい精密プレス成形用の光学ガラスを提供する。
【解決手段】
精密プレス成形のガラス素材として用いられ、Ｂ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、Ｌａ_２Ｏ_３およびをＺｒＯ_２含む光学ガラスであって、モル％表示で、Ｌｉ_２Ｏを０〜０．５％未満含むとともに、Ｂ_２Ｏ_３ ２０〜５０％、ＳｉＯ_２ ０〜２０％、ＺｎＯ ２２〜４２％、Ｌａ_２Ｏ_３ ５〜２４％、Ｇｄ_２Ｏ_３ ０〜２０％（ただし、Ｌａ_２Ｏ_３とＧｄ_２Ｏ_３の合計量が１０〜２４％）、ＺｒＯ_２ ０．５〜１０％、Ｔａ_２Ｏ_５ ０〜１５％、ＷＯ_３ ０〜２０％、Ｎｂ_２Ｏ_５ ０〜１５％、ＴｉＯ_２ ０〜２０％、Ｂｉ_２Ｏ_３ ０〜１０％、ＧｅＯ_２ ０〜１０％、Ｇａ_２Ｏ_３ ０〜１０％、Ａｌ_２Ｏ_３ ０〜１０％、ＢａＯ ０〜１０％、Ｙ_２Ｏ_３ ０〜１０％およびＹｂ_２Ｏ_３ ０〜１０％を含み、かつアッベ数（νｄ）が３５以上４０未満であることを特徴とする光学ガラスである。 （もっと読む）

【課題】ｎｄが１．８３〜１．８６の高屈折率領域で、νｄが４３〜４６の範囲にあり、なおかつ溶融性、加工性（液滴性）、結晶性等にも優れた、高屈折率−低乃至中分散型の光学ガラス組成物を提供すること。
【解決手段】ｍｏｌ％表示で、ＳｉＯ₂を０％以上１０．０％以下、Ｂ₂Ｏ₃を３５．０％以上４５．０％以下、Ｌｉ₂Ｏを０％以上５．０％以下、ＺｎＯを０％以上１２．０％以下、ＺｒＯ₂を０％以上１０．０％以下、Ｌａ₂Ｏ₃を１０．０％以上２０．０％以下、Ｔａ₂Ｏ₅を３．０％以上１０．０％以下、Ｔａ₂Ｏ₅＋ＺｎＯを１０．０％以上２２．０％以下、及びＧｄ₂Ｏ₃を５．０％以上２０．０％以下含み、ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が１．８３以上１．８６以下で、ｄ線に対するアッベ数（νｄ）が４３以上４６以下であり、かつ液相温度が１２００℃以下である光学ガラス組成物、プリフォーム及び光学素子。 （もっと読む）

【課題】屈折率ｎdが1.87以上、アッベ数νdが35以上40未満、精密プレス成形に供するプリフォームの成形が容易になる粘性の温度依存性を有し、優れたガラス安定性を示し、生産性良く精密プレス成形が可能な低温軟化性を有する光学ガラスを提供する。前記ガラスからなる精密プレス成形用プリフォーム、光学素子とそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】モル％表示で、
SiO₂ 0〜20％、
B₂O₃ 5〜40％、
SiO₂＋B₂O₃＝15〜50％、
Li₂O 0〜10％、
ZnO 12〜36％、
ただし、3×Li₂O＋ZnO≧18％、
La₂O₃ 5〜30％、
Gd₂O₃ 0〜20％、
Y₂O₃ 0〜10％、
La₂O₃＋Gd₂O₃＝10〜30％、
La₂O₃／ΣRE₂O₃＝0.67〜0.95、
（但し、ΣRE₂O₃＝La₂O₃＋Gd₂O₃＋Y₂O₃＋Yb₂O₃+Sc₂O₃＋Lu₂O₃）
ZrO₂ 0.5〜10％、
Ta₂O₅ 1〜15％、
WO₃ 1〜20％、
Ta₂O₅/WO₃≦2.5（モル比）
Nb₂O₅ 0〜8％、
TiO₂ 0〜8％
を含み、
屈折率ndが1.87以上、
アッベ数νdが３５以上４０未満
の光学ガラス。このガラスからなる精密プレス成形用プリフォーム、光学素子とそれらの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ｎｄが１．８３〜１．８７の高屈折率領域で、νｄが４３〜４７範囲にあり、なおかつ溶融性、加工性（液滴性）、結晶性等にも優れた、高屈折率−低乃至中分散型の光学ガラス組成物を提供すること。
【解決手段】ｍｏｌ％表示で、ＳｉＯ₂を５．０％以上２５．０％以下、Ｂ₂Ｏ₃を２５．０％以上４０．０％以下、ＺｎＯを１０．０％以上１５．０％以下、ＺｒＯ₂を０％以上５．０％以下、Ｌａ₂Ｏ₃を１０．０％以上２５．０％以下、Ｇｄ₂Ｏ₃を５．０％以上２０．０％以下、及びＴａ₂Ｏ₅を０％以上５．０％以下含み、Ｌａ₂Ｏ₃／Ｇｄ₂Ｏ₃（ｍｏｌ比）が０よりも大きく３．５未満であり、実質的に、Ｌｉ₂Ｏを含まず、ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が１．８３以上１．８７以下で、ｄ線に対するアッベ数（νｄ）が４３以上４７以下であり、かつ液相温度が１３００℃以下である、光学ガラス組成物、プリフォーム及び光学素子。 （もっと読む）

【課題】ｎｄが１．８３〜１．８６の高屈折率領域で、νｄが４３〜４５の範囲にあり、なおかつ溶融性、加工性（液滴性）、結晶性等にも優れた、高屈折率−低乃至中分散型の光学ガラス組成物を提供すること。
【解決手段】ｍｏｌ％表示で、ＳｉＯ₂を０％以上１０．０％以下、Ｂ₂Ｏ₃を３０．０％以上４５．０％以下、Ｌｉ₂Ｏを０％以上５．０％以下、ＺｎＯを０％以上１２．０％以下、ＺｒＯ₂を０％以上１０．０％以下、Ｌａ₂Ｏ₃を１０．０％以上２０．０％以下、Ｔａ₂Ｏ₅を３．０％以上１０．０％以下、Ｔａ₂Ｏ₅＋ＺｒＯ₂を１１．０％以上２０．０％以下、及びＧｄ₂Ｏ₃を５．０％以上２０．０％以下含み、ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が１．８３以上１．８６以下で、ｄ線に対するアッベ数（νｄ）が４３以上４５以下であり、かつ液相温度が１２００℃以下である光学ガラス組成物、プリフォーム及び光学素子。 （もっと読む）

【課題】ｎｄが１．８３〜１．８７の高屈折率領域で、νｄが４３〜４７範囲にあり、なおかつ溶融性、加工性（液滴性）、結晶性等にも優れた、高屈折率−低乃至中分散型の光学ガラス組成物を提供すること。
【解決手段】ｍｏｌ％表示で、ＳｉＯ₂を５．０％以上２５．０％以下、Ｂ₂Ｏ₃を２０．０％以上４０．０％以下、ＺｎＯを０％以上１５．０％以下、ＺｒＯ₂を０％以上５．０％以下、Ｌａ₂Ｏ₃を１０．０％以上２５．０％以下、Ｔａ₂Ｏ₅を０％以上５．０％以下、及びＧｄ₂Ｏ₃を５．０％以上２０．０％以下含み、ＳｉＯ₂／Ｂ₂Ｏ₃（ｍｏｌ比）が０．２５以上０．９０以下であり、実質的に、Ｌｉ₂Ｏを含まず、ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が１．８３以上１．８７以下で、ｄ線に対するアッベ数（νｄ）が４３以上４７以下であり、かつ液相温度が１３００℃以下である、光学ガラス組成物、プリフォーム及び光学素子。 （もっと読む）

【課題】ｎｄが１．８３〜１．８６の高屈折率領域で、νｄが４３〜４６の範囲にあり、なおかつ溶融性、加工性（液滴性）、結晶性等にも優れた、高屈折率−低乃至中分散型の光学ガラス組成物を提供すること。
【解決手段】ｍｏｌ％表示で、ＳｉＯ₂を０％以上２５．０％以下、Ｂ₂Ｏ₃を２０．０％以上４０．０％以下、Ｌｉ₂Ｏを０％以上５．０％以下、ＺｎＯを３．０％以上１５．０％以下、ＺｒＯ₂を０％以上１０．０％以下、Ｔａ₂Ｏ₅を２．０％以上７．０％以下、Ｌａ₂Ｏ₃を６．０％以上２５．０％以下、Ｇｄ₂Ｏ₃を５．０％以上２２．０％以下、Ｌａ₂Ｏ₃＋Ｇｄ₂Ｏ₃＋Ｂ₂Ｏ₃を６６．５％以下、及びＬａ₂Ｏ₃＋Ｇｄ₂Ｏ₃を２６．０％以上含み、ｄ線に対する屈折率（ｎｄ）が１．８３以上１．８６以下で、ｄ線に対するアッベ数（νｄ）が４３以上４６以下であり、かつ液相温度が１３００℃以下である光学ガラス組成物、プリフォーム及び光学素子。 （もっと読む）

【課題】屈折率及びアッベ数が所望の範囲内にありながら、低いソラリゼーションを保持し、低い温度で軟化し易く、且つガラス形成時における耐失透性が高く、精密プレス成形可能な光学ガラス及び光学素子を提供する。
【解決手段】この光学ガラスは、酸化物換算組成のガラス全質量に対して、質量％でＳｉＯ_２成分を１５．０〜４０．０％、ＴｉＯ_２成分を１．５〜９．５％、Ｎｂ_２Ｏ_５成分を４０．０〜６０．０％、及びＬｉ_２Ｏ成分を１．０〜２５．０％含有する。また、光学素子は、この光学ガラスを母材とするものである。 （もっと読む）

【課題】屈折率（ｎ_ｄ）が所望の範囲内にありながら、高い熱的安定性を有し、着色が少ない光学ガラスと、これを用いた光学素子及び精密プレス成形用プリフォームを得る。
【解決手段】光学ガラスは、酸化物換算組成のガラス全物質量に対して、モル％でＴｅＯ_２成分を１０．０〜９５．０％、Ｂ_２Ｏ_３成分を１．０〜５０．０％、ＧｅＯ_２成分を０〜２０．０％、ＳｉＯ_２成分を０〜２０．０％、及びＰ_２Ｏ_５成分を０〜２０．０％含有する。また、精密プレス成形用プリフォームはこの光学ガラスからなるものであり、光学素子は、光学ガラスを精密プレス成形してなるものである。 （もっと読む）

【課題】高屈折率、低分散及び高透過度を有する光学ガラスである。
【解決手段】
ガラスには、6〜17重量％のB₂O₃と、2〜10重量％のSiO₂と、25重量%＜La₂O₃＜45重量%と、5〜25重量％のGd₂O₃と、0〜3重量％のNb₂O₅と、19重量%＜Ta₂O₅＜27重量%と、0〜16重量％のZnOと、0〜5重量％のBaOと、0〜5重量％のCaOと、0〜5重量％のSrOと、0〜9重量％のZrO₂と、0〜8重量％のY₂O₃と、0〜8重量％のYb₂O₃と、0〜5重量％のWO₃と、総含有量が0〜2重量％であるLi₂O+Na₂O+K₂Oと、0.01％≦Sb₂O₃＜0.1％と、0〜1％のSnO₂とを含む。当該ガラスの屈折率は1.85〜1.90であり、アッベ数は35〜45であり、且つ透過率は80％に達した時、対応された波長は440nm以下である。 （もっと読む）

【課題】ガラス中の異物欠陥・残留物欠陥が抑制されると共に、従来よりもＳｂ酸化物の含有量がより少ない光学ガラスを提供すること。
【解決手段】屈折率ｎｄが１．８０以上１．８８以下、アッベ数νｄが２０以上３０以下であり、ガラス成分として、ＳｉＯ_２を１８質量％以上３８質量％以下の割合で含むと共に、外割で、Ｓｎ酸化物、Ｃｅ酸化物およびＳｂ酸化物が、下式（１）〜（３）を満たすように含む光学ガラス。
・式（１） ０＜Ａ（Ｓｎ）＋Ａ（Ｃｅ）＋Ａ（Ｓｂ）≦３．６
・式（２） ０＜Ａ（Ｓｎ）＋Ａ（Ｃｅ）≦３．５
・式（３） ０≦Ａ（Ｓｂ）≦０．１
〔但し、上記式（１）〜（３）中、Ａ（Ｓｎ）は、上記Ｓｎ酸化物の含有量（質量％）を表し、Ａ（Ｃｅ）は、上記Ｃｅ酸化物の含有量（質量％）を表し、Ａ（Ｓｂ）は、上記Ｓｂ酸化物の含有量（質量％）を表す。〕 （もっと読む）

【課題】ガラスの着色や、ガラス中の異物欠陥・残留物欠陥が抑制されると共に、従来よりもＳｂ酸化物の含有量のより少ない光学ガラスを提供すること。
【解決手段】屈折率ｎｄが１．６５以上２．１以下、アッベ数νｄが１２以上３４以下であり、ガラス成分として、Ｐ_２Ｏ_５を５質量％以上６０質量％以下の割合で含むと共に、外割で、Ｓｎ酸化物、Ｃｅ酸化物およびＳｂ酸化物が、下式（１）〜（３）を満たすように含むことを特徴とする光学ガラス。
・式（１） ０＜Ａ（Ｓｎ）＋Ａ（Ｃｅ）＋Ａ（Ｓｂ）≦３．６
・式（２） ０＜Ａ（Ｓｎ）＋Ａ（Ｃｅ）≦３．５
・式（３） ０≦Ａ（Ｓｂ）≦０．１
〔但し、上記式（１）〜（３）中、Ａ（Ｓｎ）は、上記Ｓｎ酸化物の含有量（質量％）を表し、Ａ（Ｃｅ）は、上記Ｃｅ酸化物の含有量（質量％）を表し、Ａ（Ｓｂ）は、上記Ｓｂ酸化物の含有量（質量％）を表す。〕 （もっと読む）

【課題】
安定供給が可能であって、優れたガラス安定性を有し、しかも着色が少ない高屈折率低分散光学ガラスを提供する。
【解決手段】
質量％表示で、
ＳｉＯ_２およびＢ_２Ｏ_３を合計で５〜３２％、
Ｌａ_２Ｏ_３、Ｇｄ_２Ｏ_３およびＹ_２Ｏ_３を合計で４５〜６５％、
ＺｎＯを０．５〜１０％、
ＴｉＯ_２およびＮｂ_２Ｏ_５を合計で１〜２０％、
ＺｒＯ_２を０〜１５％、
ＷＯ_３ を０〜２％、
Ｙｂ_２Ｏ_３ を０〜２０％、
Ｌｉ_２Ｏ、Ｎａ_２ＯおよびＫ_２Ｏを合計で０〜１０％、
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯを合計で０〜１０％、
Ｔａ_２Ｏ_５ を０〜１２％、
ＧｅＯ_２を０〜５％、
Ｂｉ_２Ｏ_３ を０〜１０％、
Ａｌ_２Ｏ_３ を０〜１０％、
含み、
Ｂ_２Ｏ_３の含有量に対するＳｉＯ_２の含有量の質量比（ＳｉＯ_２／Ｂ_２Ｏ_３）が０．３〜１．０、Ｌａ_２Ｏ_３、Ｇｄ_２Ｏ_３およびＹ_２Ｏ_３の合計含有量に対するＧｄ_２Ｏ_３およびＹ_２Ｏ_３の合計含有量の質量比（Ｇｄ_２Ｏ_３＋Ｙ_２Ｏ_３）／（Ｌａ_２Ｏ_３＋Ｇｄ_２Ｏ_３＋Ｙ_２Ｏ_３）が０．０５〜０．６であり、
屈折率ｎｄが１．８９〜２．０、アッベ数νｄが３２〜３８、かつ着色度λ７０が４３０ｎｍ以下であることを特徴とする光学ガラス。 （もっと読む）

【課題】ガラス中の異物欠陥・残留物欠陥が抑制されると共に、従来よりもＳｂ酸化物の含有量がより少ない光学ガラスを提供すること。
【解決手段】屈折率ｎｄが１．７０以上２．２０以下、アッベ数νｄが１５以上６０以下であり、ガラス成分として、Ｂ_２Ｏ_３を１質量％以上４５質量％以下、Ｌａ_２Ｏ_５、Ｇｄ_２Ｏ_３、Ｙ_２Ｏ_３およびＹｂ_２Ｏ_３から選択される１種以上の酸化物を０質量％以上６０質量％以下の割合で含むと共に、外割で、Ｓｎ酸化物、Ｃｅ酸化物およびＳｂ酸化物が、下式（１）〜（３）を満たすように含む光学ガラス。
・式（１） ０＜Ａ（Ｓｎ）＋Ａ（Ｃｅ）＋Ａ（Ｓｂ）≦３．６
・式（２） ０＜Ａ（Ｓｎ）＋Ａ（Ｃｅ）≦３．５
・式（３） ０≦Ａ（Ｓｂ）≦０．１
〔但し、上記式（１）〜（３）中、Ａ（Ｓｎ）は、上記Ｓｎ酸化物の含有量（質量％）を表し、Ａ（Ｃｅ）は、上記Ｃｅ酸化物の含有量（質量％）を表し、Ａ（Ｓｂ）は、上記Ｓｂ酸化物の含有量（質量％）を表す。〕 （もっと読む）

【課題】鉛やビスマスなどの重金属を含有することなく、低いガラス転移温度（Ｔｇ）と高い屈折率（ｎｄ）を兼ね備えた光学ガラスを提供する。
【解決手段】実質的に、Ｂ₂Ｏ₃を１０〜４０質量％、ＳｉＯ₂を５質量％以下、ＺｎＯを１５質量％以下、ＳｒＯを９質量％以下、ＺｒＯ₂を９質量％以下、Ｌａ₂Ｏ₃を１５〜４５質量％、ＢａＦ₂を１〜１０質量％、ＢａＯを５質量％以下、ＨｆＯ₂を０．１〜７．５質量％、ＣａＯを７質量％以下、ＺｒＦ₄を５質量％以下、Ｎａ₂Ｏを２質量％以下からなる光学ガラスである。 （もっと読む）

【課題】ゴブ作製時に脈理、失透が生じ難い均質な光学特性を有する光学ガラスを提供する。
【解決手段】下記組成のカチオン成分（ただし、カチオン成分の合計は９５ｃａｔ％である。）を含有し、屈折率（ｎｄ）１．６以上１．７未満、アッベ数（νｄ）５０以上５６以下である光学ガラス。Ｓｉ^４＋ ３ｃａｔ％以上１３ｃａｔ％以下、Ｂ^３＋ ４０ｃａｔ％以上５５ｃａｔ％以下、Ｌａ^３＋ ４ｃａｔ％以上９ｃａｔ％以下、Ｃａ^２＋ ６ｃａｔ％以上１２ｃａｔ％以下、Ｌｉ^＋ １１ｃａｔ％以上１８ｃａｔ％以下、Ｚｎ^２＋ ６ｃａｔ％以上１２ｃａｔ％以下、Ｚｒ^４＋ １ｃａｔ％以上４ｃａｔ％以下。ただし、Ｓｉ^４＋／Ｂ^３＋＝０．０５以上０．３以下、Ｌｉ^＋の含有量＜Ｚｎ^２＋の含有量である。 （もっと読む）

【課題】より高い屈折率を有すると共により成形性に優れた光学ガラスを提供する。
【解決手段】光学ガラスは、Ｂｉ₂Ｏ₃，Ｂ₂Ｏ₃,ＳｉＯ₂，Ａｌ₂Ｏ₃，ＺｎＯを含み、以下の条件式（１）および条件式（２）を満足する。但し、条件式（１），（２）において、Ｘは全体におけるＢｉ₂ Ｏ₃の含有率（重量％）であり、Ｙは全体におけるＢ₂ Ｏ₃の含有率（重量％）である。条件式（１）を満足することで結晶化が回避され、高い透明性が確保される。また、条件式（２）の下限を上回ることでｄ線に対する屈折率Ｎｄが１．９以上となり、条件式（２）の上限を下回ることでガラス化し易くなる。Ｘ＋Ｙ≧７５……（１）２．５＜Ｘ／Ｙ＜１３……（２） （もっと読む）

【課題】低ガラス転移点特性を有し、モールドプレス成形性に優れることから量産が可能であり、しかも低分散であり高屈折率特性を達成しやすいＴｅＯ_２−ＺｎＯ−Ｂ_２Ｏ_３系光学ガラスを提供する。
【解決手段】組成として、モル％でＴｅＯ_２を０．１〜４０％未満、ＺｎＯを１６〜４０％、Ｂ_２Ｏ_３を必須成分として含有し、かつＺｎＯ＋Ｂ_２Ｏ_３が６８％以下、ＺｒＯ_２＋Ｔａ_２Ｏ_５＋Ｌａ_２Ｏ_３が１０％以上であるＴｅＯ_２−ＺｎＯ−Ｂ_２Ｏ_３系光学ガラスであって、アッベ数νｄが３０以上であることを特徴とするＴｅＯ_２−ＺｎＯ−Ｂ_２Ｏ_３系光学ガラス。 （もっと読む）