【課題】特別な装置を必要とせずに、対象ガス使用装置からの排気に含まれるフッ素によって、排気システムを構成する樹脂製材料が腐食されること抑制し、排気システムの寿命を延長させること。
【解決手段】本発明は、フッ素ガスまたは反応性の高いフッ素系ガスを排出する対象装置から排出された排気を処理するための処理装置、および、上記対象装置と上記処理装置とを接続する樹脂製部分を含む送気管を備える排気システムであって、少なくとも上記送気管内の樹脂製部分の一部に、フッ素と反応する物質を含有する反応用ガスが供給されることを特徴とする、排気システムである。 （もっと読む）

【課題】ブラウンガスの発生量を安定化させて、ブラウンガスを含有する混合燃料の安定供給装置を提供する。
【解決手段】ブラウンガス生成装置１と、ブラウンガス生成装置１が生成したブラウンガスと臭気ガスとを混合するガス流量調節タンク７０と、ガス流量調節タンク７０からの臭気ガスが混合されたブラウンガスと燃料を混合するガス混合槽９０と、ガス混合槽９０から供給された臭気ガスが混合されたブラウンガスと燃料との混合物をクラスター化又はナノバブル化するＳＰＧシラス多孔質ガラスフィルター１３０とを有する混合燃料生成供給装置。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により経時的に安定した濃度のガスを低コストで発生可能にする。
【解決手段】 ガス発生装置１３は、ホルムアルデヒドガス若しくはトルエンガスを放散可能な物質からなる放散材Ｈが内部収容空間３０Ａに収容された放散材収容タンク３０と、清浄空気供給装置１４から内部収容空間３０Ａに繋がる導入側流路３１と、内部収容空間３０Ａから混合器に向かって延びる排出側流路３５と、導入側流路３１及び排出側流路３５の途中の各分岐点Ｐ１，Ｐ２間を接続する循環用流路３８とを備えている。ガス発生装置１３では、内部収容空間３０Ａから排出側流路３５に排出されたホルムアルデヒドガスを含む放出ガスの一部が、循環用流路３８を通って清浄空気と混合し導入側流路３１から内部収容空間３０Ａに導入される。 （もっと読む）

【課題】入替用ガスの注入管部と残留ガスの排出管部の設置方法を工夫して、残留ガス排出工程の効率を向上できるようにする。
【解決手段】両端部に開閉弁を有するとともに、所定部位に開口部を有し、当該開口部の縁部に連結用のフランジを設けられた配管の、残留ガス排出工程に用いられる残留ガス排出補助具であって、フランジに取付可能な蓋部１１と、蓋部１１に開口された、配管連通用の孔部１２及び１３と、孔部１２に接続された、入替用ガス封入用のパイプ１４と、孔部１３に接続された、残留ガス排出用のパイプ１５とを備え、残留ガス排出工程時に、両端部の開閉弁を閉められた配管内に、パイプ１４から残留ガスと比重の異なる入替用ガスを封入し、残留ガスと入替用ガスとの比重の差を利用して、残留ガスを開口部近傍に移動させ、パイプ１５から残留ガスを排出するものである。 （もっと読む）

【課題】排気ガス発生装置から間欠的に排出される一回分の排気ガス量を多少増加したときでも、連続的に運転されている排気ガス処理装置に排気ガスを供給する排気捕集・供給装置を大型化せざるを得ない従来の排気捕集・供給装置の課題を解決する。
【解決手段】排気ガス発生装置１０から間欠的に排出される排気ガスを捕集し、連続的に運転されている排気ガス処理装置１２に供給する排気捕集・供給装置１４であって、排気ガスを捕集し貯留する貯留タンク１６と、貯留タンク１６内に貯留された排気ガスを吸引して排気ガス処理装置１２に供給する連続的に駆動される真空ポンプ１８とを具備し、排気ガス発生装置１０から排気ガスが排出されたとき、排気ガスの排出に合わせて全開され貯留タンク１６に排気ガスを送り込む自動弁３０と、自動弁３０のバイパス配管３４に設けられ、自動弁３０よりも少量の排気ガスを連続的に貯留タンク１６に送り込むことができるように所定開度に調整されている手動弁３６とが併設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】処理装置で処理ガスを使用しない場合には，処理ガス供給源から処理装置までの配管内を不活性ガス充填状態にしてその間に配管内に堆積物が発生することを防止する。
【解決手段】ガスボンベ２１０からの処理ガスを処理装置へ供給する処理ガス供給配管２２０と，ガス供給配管に不活性ガスを供給する不活性ガス供給源２３０とを備え，システム稼働中はガス供給配管内に不活性ガスを充填して待機し，処理装置から処理ガス使用開始信号（Ｓ）を受信すると，ガス供給配管内の不活性ガスを真空引き排気して処理ガスを充填して処理ガス供給源からの処理ガス供給を開始し，処理装置から処理ガス使用終了信号（Ｆ）を受信すると，処理ガス供給源からの処理ガス供給を停止してガス供給配管内の処理ガスを真空引き排気して不活性ガスを充填する。 （もっと読む）

処理ツールからの流出物を緩和するための方法及びシステムが提供される。本発明は、１つ以上の処理ツールと、１つ以上のアベートメントシステムと、上記１つ以上の処理ツールと上記１つ以上のアベートメントシステムとの間に流出物流体連通を確立するように適応されたインターフェースマニホルドと、を含み、上記インターフェースマニホルドは、制御信号に応答して、上記１つ以上の処理ツールの間から上記１つ以上のアベートメントシステムへと１つ以上の流出物を選択的に向けるように構成されている。種々な他の態様も提供される。 （もっと読む）

【課題】適用可能な空間の広さが特に制限されず、尚且つ、二酸化塩素ガスの有する種々の効果が長期にわたって持続し得る二酸化塩素発生組成物を提供すること。
【解決手段】亜塩素酸塩と酸とが反応して二酸化塩素が発生し得る二酸化塩素発生組成物であって、固形の亜塩素酸塩、固形の酸、及び保持した水分を徐放し得る固形剤を含む二酸化塩素発生組成物。 （もっと読む）

【課題】 自動車の排気管に排気吸入ノズルを直接取り付けることなく、自動車の排気ガスを吸入することができ、もって、従来に比べて作業性を大幅に高めることができる自動車の排気ガスの有害物質低減設備用排気ガス吸入装置を得る。
【解決手段】 自動車の排気ガスの有害物質低減設備用排気ガス吸入装置１であって、自動車の排気管から排出された排気ガスを吸入する排気ガス吸入口４を有する排気ガス吸入部２と、排気ガス吸入部２に連結されると共に、排気ガス吸入口４から排気ガス吸入部２内に吸入された排気ガスを有害物質低減設備に供給する連結供給部３とを備え、排気ガス吸入部２の排気ガス吸入口４に、自動車の排気管を接近進入せしめた状態で排気ガスを吸入する。 （もっと読む）

チャンバ内ガス混合物の不活性化化学薬品の濃度を調合・制御する方法および装置。ガス混合物には基剤化学薬品である化学成分とともに不活性化化学薬品である化学成分が含まれ、基剤化学薬品は不活性化化学薬品の希釈剤または不活性化化学薬品のビヒクルまたはキャリアとして作用する。コンデンサをガス混合物に曝し、ガス混合物はコンデンサの板間で誘電物を構成する。誘電物の誘電率は化学成分の相対濃度によって影響を受けるので、容量の測定値をガス混合物の多数の化学成分の濃度レベルの決定に使用する。 （もっと読む）