【課題】高分子樹脂へ分散させた場合に大きな低誘電率化効果を奏することができる表面改質多孔性シリカ及びその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の表面改質多孔性シリカの製造方法では、第1の表面処理工程として、多孔性シリカを第1の表面処理剤で処理することにより、細孔内のシラノール基の一部又は全部を残しつつ、その他のシラノール基に該第1の表面処理剤を化学修飾させたプレ処理多孔性シリカとする。そして、第2の表面処理工程として、該プレ処理多孔性シリカを第２の表面処理剤で処理することにより、該細孔内に残存するシラノール基に第2の表面処理剤を化学修飾させる。 （もっと読む）

【課題】誘電率が低く、有機溶媒への分散性に優れた表面修飾メソポーラスシリカを製造することができる、メソポーラスシリカの表面処理方法を提供する。
【解決手段】メソポーラスシリカの表面水酸基を表面処理剤と反応させて疎水性の官能基を該表面水酸基に化学結合させる修飾工程を含む。表面処理剤は溶媒で希釈することなく、又は５０質量％以上の溶液として前記メソポーラスシリカと混合し、粉末状態又はペースト状態で処理を行う。 （もっと読む）

【課題】メソポーラスシリカの表面に存在するシラノール基の化学修飾が充分なされており、誘電率の低い表面修飾メソポーラスシリカ、並びにそれを用いた樹脂添加用スラリー組成物、樹脂用充填剤及び樹脂組成物を提供する。
【解決手段】細孔径が１．５ｎｍ以上のメソポーラスシリカの表面に存在するシラノール基が疎水性の官能基で化学修飾されている。メソポーラスシリカの平均細孔径は１．５ｎｍ以上と大きいため、化学修飾するための試薬が細孔内部まで入り易く、疎水性の官能基で化学修飾される修飾率が高くなり、細孔内部においても、誘電率を下げる効果に寄与する。 （もっと読む）

アルミノ珪酸塩と、110℃以上の沸点を有する有機液体、例えばシリコーン油とからな水性ゲル−形成性組成物、例えば難燃性塗料であって、該有機液体は、該組成物を塗料として表面に適用しついで乾燥させることにより形成させた皮膜の保全性を増大させるものである水性ゲル−形成性組成物。 （もっと読む）

シリコンウエハーなどの基板上に、ゼオライトベータ誘電体層を形成するためのプロセスが開発された。このゼオライトベータは、Si/Al比が少なくとも25であって、5〜40 nmの微結晶を有しているという点で特徴付けられる。このプロセスは、まず出発ゼオライトベータを脱アルミニウム化し、次にこの脱アルミニウム化ゼオライトベータのスラリーを調製し、続いてこのスラリーで例えばシリコンウエハーなどの基板を被覆し、加熱してゼオライトベータ膜を形成し、そしてシリル化剤でこのゼオライベータを処理するといった各ステップによって構成されている。 （もっと読む）

本発明は、所望の鏡像体の存在下、モノマーとしてのシリカ源と、官能的モノマーとしてのアミノアルキルシランとの加水分解的な制御された重合と、表面のＯＨ基の被覆と、カプセル化された鏡像体のシリカからの脱離とを備えるゾル−ゲル法により所望の鏡像体と共にシリカ上に緻密な分子インプリントを成長させることを備える、ラセミ体混合物の分離方法に関する。 （もっと読む）