【課題】種類の超音波霧化液滴を用いての炭酸カルシウムをはじめとする化合物の合成方法を提供し、ＢＥＴ法比表面積が２０〜８０ｍ^２／ｇ程度の微小粉体を製造すること。
【解決手段】
カルシウム源を含む原料溶液と、炭酸源、硫酸源、水酸化物源またはリン酸源を含む原料溶液とを、それぞれ超音波照射により霧化させ、発生した霧の流れである流束を、反応場としての空間において衝突させ、生成した液滴をろ過、乾燥させることを特徴とする微小粉からなる化合物の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、炭酸カルシウムのインサイチュ沈殿による、表面のためのポリマー含有被覆の製造方法に関する。更に本発明は、該ポリマー含有被覆自体ならびに該ポリマー含有被覆が施与された表面を対象にする。好ましくは、該ポリマー含有被覆は抗菌作用を有する。 （もっと読む）

【課題】生物由来のカルシウム含有物からカルシウム、つまり天然カルシウムをナノ化状態で提供すること。
【解決手段】天然カルシウム可溶化溶液の製造方法は、岩石及び有機酸を含有する水に対して、振動処理、好ましくは、超音波照射処理を施すことを特徴とする。これによって、天然のカルシウムが溶液状で安定化して含有するための天然カルシウム可溶化溶液を提供できる。特に、岩石は粉砕した花崗岩が好ましく、有機酸はクエン酸であることが好ましい。また、超音波照射処理の照射時間は約１時間以上、さらには５〜１０時間施されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】極めて高い蒸発温度を使用する必要がなく、僅かなクロリド含量および１〜６００ｍ²／ｇのＢＥＴ表面積を有するナノ程度の熱分解法酸化物を製造する。
【解決手段】金属有機物質を溶剤中で溶解し、火焔内で、２００℃を超える温度で酸化物に変換する。 （もっと読む）

【課題】アルミナ粒子を製造する新しい方法を提供する。
【解決手段】アンモニウムミョウバン、硝酸アルミニウム、硫酸アルミニウム、塩化アルミニウム又は酢酸アルミニウムを含むアルミニウム塩含有水溶液に超音波振動を与えて該溶液の液滴からなる霧を発生させ、発生した液滴を酸化性雰囲気中で加熱処理して球状体の粒子とし、生成した粒子を捕集する。 （もっと読む）

本発明は、重金属ウラン、トリウム、プルトニウムまたはその混合物の群の酸化物から球状燃焼材粒子またはフェライト材粒子を製造するための方法に関する。この目的のために、重金属の硝酸塩のベース溶液を作る工程と、溶液の粘度を調節するために少なくとも1つの第1の試薬を添加する工程と、溶液を滴下して小球体を形成する工程と、アンモニアを含有する雰囲気中で小球体を少なくとも表面において固化させる工程とを含み、引続いて洗浄、乾燥および熱処理が行われ、第1の試薬の添加の前に、尿素および/または硝酸アンモニウムおよび/または重硝酸アンモニウムおよび/またはシアン酸アンモニウムおよび/またはビウレットがベース溶液に添加され、このようにして調製された溶液が温度T (80℃≦T＜T_a、Taは溶液の沸点)まで加熱され、かつ時間t (2 h≦t≦8 h)に渡って保持される。 （もっと読む）

【課題】 層間絶縁膜平坦化、シャロートレンチ分離形成、金属埋め込み配線形成等のＣＭＰ技術において、酸化珪素膜、金属埋め込み膜等へ研磨傷を発生させずに短時間でＣＭＰが実施できる球状酸化物微粒子の製造方法、球状酸化物微粒子を用いた研磨材、研磨材を用いて研磨する基板の研磨方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 球状前駆体を加熱処理することを特徴とする球状酸化物微粒子の製造方法、球状酸化物微粒子用いた研磨材、研磨材を用いて所定の基板を研磨する基板の研磨方法及び半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高速研磨でありながら研磨傷の低減が達成できる研磨剤及びそれを用いた基板の研磨方法を提供する。
【解決手段】４価のセリウム化合物を原料として酸化セリウムを製造する研磨剤用酸化セリウムの製造方法、その方法により製造された酸化セリウムおよびそれを含有する研磨剤であって、４価のセリウム化合物が硝酸セリウムアンモニウム、硝酸セリウムアンモニウム水和物、硫酸セリウム、硫酸セリウム水和物、硫酸セリウムアンモニウム、硫酸セリウムアンモニウム水和物、セリウムイソプロポキシド、セリウムブトキシド及び水酸化セリウムからなる群より選択される一種類以上であると好ましく、また、４価のセリウム化合物を含有する溶液と、４価のセリウム水酸化物を含有する懸濁液との少なくとも一方を微細液滴化し、この液滴を熱処理して酸化セリウムを得るのが好ましい。 （もっと読む）

本発明は、５〜６０質量％の酸化セリウムを含有する、水性酸化セリウム分散液に関する。該分散液は、半導体工業においてＳｉＯ_２をポリッシングするために使用することができる。
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【課題】大量生産が可能であり低コストで取り扱い性に優れた、１次粒子がナノ粒子である金属化合物含有粉末を提供する。
【解決手段】 上記課題は、金属イオン含有液または金属水酸化物含有液にパルス衝撃波を伴うジェット噴流を衝突させることにより生成する、粒径５０ｎｍ以下の１次粒子をもつ前記金属の化合物含有粉末により達成される。例えばＦｅイオン含有液または水酸化鉄含有液にパルス衝撃波を伴うジェット噴流を衝突させることにより、粒径５０ｎｍ以下の１次粒子をもつＦｅ成分含有粉末が得られる。このＦｅ成分含有粉末は、還元処理を施すことにより、ナノ粒子を１次粒子にもつマグネタイトとすることができる。塩素分や硫黄分を効果的に除去するには、さらに溶媒を用いた粉砕処理を施せばよい。 （もっと読む）