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Fターム[4J031BA11]の内容

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半導体装置の製造に用いられる波長の光に良好な光吸収性を示し、高い反射光防止効果を持ち、フォトレジスト層と比較して大きなドライエッチング速度を有する反射防止膜のための反射防止膜形成組成物を提供する。具体的には、窒素原子上の置換基としてヒドロキシアルキル構造を有するトリアジントリオン化合物、オリゴマー化合物又は高分子化合物、を含むことを特徴とする反射防止膜形成組成物である。 (もっと読む)


【課題】白金を用いることなくボラジン系モノマーとシロキサン系モノマーとを共重合させる方法を提供することを主たる課題とする。
【解決手段】第1のソースタンクにボラジン系化合物を装填し、第2のソースタンクにケイ素系化合物を装填し、これらの化合物を出発物質として、プラズマ重合法により絶縁膜を形成する。この場合において、前記第1及び第2のソースタンクから前記プラズマ重合法を実施する成膜装置に至る配管経路の一部又は全部に加熱手段を設けると共に、成膜装置に近づくほど高温となるように温度勾配を設けておくことが好ましい。 (もっと読む)


ポルフィリン部分、およびそれに共有結合している1個または複数の多分岐ポリマー鎖を含むことを特徴とする水溶性の多分岐ポリマー。Fe(II)イオンでメタル化されたポリマーは血液の酸素結合特性を模倣可能である。ポリマーは、ヘモグロビンの代替品として、合成血液製剤中に、また代用血液として使用することができる。 (もっと読む)


本発明は式(I)の構造を含むシクロメタル化錯体を提供する:式中、Mはd−ブロック遷移金属であり;Bは5員または6員のアリールまたはヘテロアリール環であり、それは場合によっては置換されていてもよく、そして場合によっては一つまたはそれ以上の別のアリールまたはヘテロアリール環に縮合していてもよい;Aは少なくとも3個の窒素原子を含む5員または6員のヘテロアリール環であり;Rは水素以外の基であり;nは0であるか又は1以上の整数であり;そしてAとBは場合によっては縮合していてもよいし又は一つまたはそれ以上の共有結合によって結合していてもよい。本発明はまた、かかる錯体の、オプトエレクトロニクス素子での使用、特に有機発光素子での使用、を提供する。
【化1】

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