【課題】面内均一性に極めて優れたＡｇ系薄膜を形成するのに有用なＡｇ系スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】Ａｇ系スパッタリングターゲットのスパッタリング面の平均結晶粒径ｄ_aveを下記手順（１）〜（３）によって測定したとき、平均結晶粒径ｄ_aveは１０μｍ以下を満足する。（手順１）スパッタリング面の面内に任意に複数箇所を選択し、選択した各箇所の顕微鏡写真（倍率：４０〜２０００倍）を撮影する。（手順２）各顕微鏡写真について、井桁状または放射線状に４本以上の直線を引き、直線上にある結晶粒界の数ｎを調べ、各直線ごとに下式に基づいて結晶粒径ｄを算出する。ｄ＝Ｌ／ｎ／ｍ式中、Ｌは直線の長さ、ｎは直線上の結晶粒界の数、ｍは顕微鏡写真の倍率を示す。（手順３）全選択箇所の結晶粒径ｄの平均値をスパッタリング面の平均結晶粒径ｄ_aveとする。 （もっと読む）

本発明は、溶融金属を粒状化するための装置及び方法に関する。この装置は、主として、円形の水タンクより成っており、該水タンク内に水が、複数の水ノズルを用いて接線方向で噴射され、それによって水が水タンク内で回転し、放物面が形成されるようになっている。複数の水ノズルは、水タンクの周囲に、高さ位置が分配して配置されている。最上位の水ノズルは、水面の領域内に配置されていて、水面内に位置する水流又は扇形の水流を生ぜしめる。溶融金属を粒状化するために、溶融金属は、るつぼから、最上位の水ノズルの水面又は水流内に連続的に注ぎ込まれる。
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【課題】ガスアトマイズ法を用いて高品質な金属粉末を製造することができる金属粉末製造装置を提供すること。
【解決手段】金属粉末製造装置１は、溶融金属を流下させる溶融金属供給部２と、溶融金属供給部２の下方に設置された筒状体３と、溶融金属供給部２から供給された溶融金属Ｑに向けて気体Ｇを噴射する気体噴出部５と、筒状体３の内周面に沿って冷却液層Ｓ１を形成するように冷却液Ｓを流出させる冷却液流出部４とを有し、冷却液流出部４は、冷却液Ｓを筒状体３の内周面の接線方向に向けて噴射する冷却液噴射口４１と、冷却液噴射口４１に対して下流側に設けられ、冷却液Ｓを筒状体３の内周面の接線方向に向けて噴射する冷却液噴射口４２とを備え、冷却液層Ｓ１の周方向での流速が冷却液層Ｓ１の有効冷却領域の略全域に亘って均一になるような流速および流量で、冷却液噴射口４１、４２のそれぞれから冷却液Ｓを噴射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ガスアトマイズ法を用いて所望形状の金属粒子で構成された高品質な金属粉末を製造することができる金属粉末製造装置を提供すること。
【解決手段】金属粉末製造装置１は、溶融金属Ｑを流下させる溶融金属供給部２と、溶融金属供給部２の下方に設置された筒状体３と、溶融金属供給部２から供給された溶融金属Ｑに向けて気体を噴射する気体噴射部５と、筒状体３の内周面に沿って冷却液層Ｓ１を形成するように冷却液Ｓを流出させる冷却液流出部４とを有し、溶融金属供給部２から流下した溶融金属Ｑに気体噴射部５から噴射した気体Ｇを衝突させることにより、溶融金属Ｑを多数の液滴Ｑ１とするとともに、多数の液滴Ｑ１を冷却液層Ｓ１に衝突させ冷却固化させて、金属粉末Ｒを製造するものであって、溶融金属Ｑに気体Ｇが衝突する位置Ｐ_１と多数の液滴Ｑ１が冷却液層Ｓ１に衝突する位置Ｐ_２との間の距離を調整する昇降機構１０（距離調整手段）を有する。 （もっと読む）

【課題】ガスアトマイズ法を用いて高品質な金属粉末を長期に亘って製造することができる金属粉末製造装置を提供すること。
【解決手段】金属粉末製造装置１は、溶融金属Ｑを流下させる溶融金属供給部２と、溶融金属供給部２の下方に設置された筒状体３と、溶融金属供給部２から供給された溶融金属Ｑに向けて気体を噴射する気体噴射部５と、筒状体３の内周面に沿って冷却液層Ｓ１を形成するように冷却液Ｓを流出させる冷却液流出部４とを有し、溶融金属供給部２から流下した溶融金属Ｑに気体噴射部５から噴射した気体Ｇを衝突させることにより、溶融金属Ｑを多数の液滴Ｑ１とするとともに、多数の液滴Ｑ１を冷却液層Ｓ１に衝突させ冷却固化させて、金属粉末Ｒを製造するものであって、筒状体３は、その軸線が鉛直方向に向くように設置されている。 （もっと読む）

【課題】アモルファス金属の微細な針状粒子を効率よく製造可能な針状金属粉末の製造装置および針状金属粉末の製造方法、および、前記製造装置により製造されたアモルファス金属の微細な針状金属粉末を提供すること。
【解決手段】金属粉末製造装置１は、原材料となる金属材料を溶融してなる溶融金属３２を、筒状体２の内壁面２０に沿って水（冷却液）を旋回させることによって生じた水流（水層２４１）に接触させることにより、水勢によって溶融金属３２を針状に変形させつつ、急冷固化させ、アモルファス金属の針状粒子を得る。内壁面２０には溝が設けられており、この溝に向けて溶融金属３２が落下するようになっている。落下した溶融金属３２は、その一部が溝に入り込むことによって内壁面２０に固定されるが、他部が水流によって引っ張られることにより、針状に変形する。 （もっと読む）