【課題】本願発明の目的は、ターゲットの機械的強度を改善し、成膜中に発生するドロップレットの量を抑制したターゲットを提供することである。
【解決手段】周期律表４ａ、５ａ、６ａ族元素から選択される１種以上のＭ成分元素とホウ素を有するターゲットにおいて、該ターゲットのホウ素は窒化ホウ素として含有し、窒化ホウ素の含有量はモル％で、５％以上、３０％以下であることを特徴とする窒化物含有ターゲットで、該窒化ホウ素の含有量はモル％で、５％以上、３０％以下であることを特徴とする窒化物含有ターゲットである。 （もっと読む）

【課題】熱伝導特性に優れた金属基複合材、特に金属マトリックスとしてアルミニウムやマグネシウムを含む軽金属を適用した軽金属複合材、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】金属マトリックスと強化材を含有し、強化材としてカーボンナノチューブとセラミック短繊維を含む金属基複合材。
金属基複合材の製造方法である。強化材を無機バインダで固定成形して、座屈強度が０．５ＭＰａ以上のプリフォームを作製し、次いで、溶融させたマトリックス金属を当該プリフォームに加圧して含浸させ、しかる後、固化する。 （もっと読む）

【課題】
Ｎｉを添加した焼結金属摩擦材料と同等の摩耗特性を有するＮｉを含まない焼結金属摩擦材料を提供する。
【解決手段】
金属、合金の中の少なくとも１種のマトリックスと、潤滑物質、硬質物質、摩擦調整物質、ｐＨ調整物質、補強物質の中の少なくとも１種のフィラーとからなる摩擦材料において、焼結金属摩擦材料は、マトリックス：焼結金属摩擦材料全体に対して４０〜９０重量％と、フィラー：残部とからなり、マトリックスは、Ｆｅ：マトリックス全体に対して３〜９２重量％と、Ａｌ：マトリックス全体に対して０．５６〜７０重量％とを含み、重量比で、Ｆｅ：Ａｌが９２：８〜３０：７０の範囲にあり、ＦｅとＡｌとの合計はマトリックス全体に対して７重量％以上である焼結金属摩擦材料。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも電気伝導性や熱伝導性等の性能を向上させた複合金属体およびその製造方法ならびに複合金属体の材料となる金属粒子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 金属に２種類以上のカーボンナノチューブが含まれて成る複合金属体。 （もっと読む）