【課題】 従来と比べて担持する物質の使用量を少なくすることによりコストを低減させた担持微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る担持微粒子の製造方法は、内部形状が多角形である真空容器内に、表面に複数の細孔２１を有する微粒子３を収容し、前記真空容器を回転させることにより該真空容器内の微粒子を攪拌あるいは回転させながらスパッタリングを行う担持微粒子の製造方法であって、前記担持微粒子における前記超微粒子又は薄膜は、前記複数の細孔２１内より前記微粒子３の見掛け表面に多く担持されており、前記担持微粒子は、前記超微粒子又は薄膜が担持されていない前記細孔２１を有し、前記担持微粒子は、１次電池の電極触媒、２次電池の電極触媒、燃料電池の電極触媒、１次電池の電極材料、２次電池の電極材料、及び燃料電池の電極材料のうち少なくとも一つに用いられるものである。 （もっと読む）

【課題】被処理体の表面を高精度かつ確実に処理することができ、処理能力を高めることができる表面処理装置及びそれによって表面処理される光学素子成形用型を提供すること。
【解決手段】表面処理装置１は、真空チャンバ（真空容器）２と、筒状の絶縁物を介してトリガー電極と接続されたターゲットと、ターゲットの周囲にアーク放電を誘起させるアーク電極とを有し、アーク放電によって生じるターゲットイオンを含むプラズマ８をターゲットの先端方向に放出する蒸着源１０と、光学素子成形用型母材（被処理体）１１を載置する支持台１２と、蒸着源１０から放出されるプラズマ８の進行方向が、支持台１２の近傍にて中心軸線Ｃ方向となるように偏向させる偏向部１３と、蒸着源１０と支持台１２との間に配され、偏向部１３によって偏向されたプラズマ８の輸送経路上のみに開口部２０Ａが形成された遮蔽板２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、微細孔を有する基材に対してもボトムカバレージの向上した膜を形成することのできる基材保持装置を提供する。
【解決手段】真空成膜槽に用いられる基材保持装置であって、前記真空成膜槽の外部に設けられた駆動源１４と、該駆動源１４に取り付けられ前記真空成膜槽１に対し気密的に摺動自在に配設された駆動部材１３と、該駆動部材１３に取り付けられ、平面視においてその外周が実質的に円形に形成されかつ側面視において実質的に平板状に形成された基材ホルダ１１と、を備え、前記駆動源１４が、その駆動力を前記駆動部材１３に伝達することによって前記駆動部材１３を往復動させることにより、前記基材ホルダ１１を回転させずにその厚み方向に揺動させる。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング又は蒸着により粒子表面に薄膜を均一にコーティングすることができる方法及びこの方法に用いる装置を提供する。
【解決手段】粒子Ｐに被覆材料をスパッタする又は蒸着させることにより粒子Ｐ表面に薄膜をコーティングする方法であって、粒子容器３に粒子Ｐを収容し、圧電素子式振動発生器４により粒子容器３を上下に微動させて粒子容器３を介して粒子Ｐを振動させながら粒子Ｐに被覆材料をスパッタする又は蒸着させる方法。 （もっと読む）

【課題】原料粒子に超微粒子を均一に付着させることが可能な粉体処理装置の提供。
【解決手段】移動機構によって原料粒子を移動させながら、真空雰囲気中で超微粒子を付着させる粉体処理装置１であり、振動発生装置２９によって原料粒子を転がり移動させながら、蒸気を到達させる。蒸気中の超微粒子が均一に付着する。偏向装置５２によって電荷質量比が大きな微小荷電粒子を偏向させて原料粒子に到達させ、中性粒子や巨大荷電粒子が到達しないようにすると、超微粒子によって均一な薄膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】硬磁性材料のナノ粒子を製造する方法を提供し、更に、それにより得られた硬磁性材料のナノ粒子と軟磁性のナノ粒子とを複合してナノコンポジット磁石を製造する方法を提供する。
【解決手段】硬磁性合金の構成成分のうちの１種以上の成分が不足する組成の合金前駆体のナノ粒子に、該不足成分を付与して硬磁性合金のナノ粒子とすることを特徴とする硬磁性合金のナノ粒子の製造方法。硬磁性合金のナノ粒子と軟磁性金属または合金のナノ粒子とが均一に混合して成るナノコンポジット磁石の製造方法であって、上記の硬磁性合金のナノ粒子の製造方法を用いて硬磁性合金のナノ粒子を製造する工程、および上記硬磁性合金のナノ粒子と軟磁性金属または合金のナノ粒子とを混合し、加圧成形し、焼結することによりナノコンポジット磁石とする工程を含むことを特徴とするナノコンポジット磁石の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 Ａｌやその合金の蒸着被膜を、希土類系永久磁石などの被処理物の表面に、突起物の生成や損傷を効果的に抑制しつつ、優れた生産性でもって形成する方法を提供すること。
【解決手段】 真空処理室内に、蒸着材料の溶融蒸発部と、複数個の被処理物を収容するための収容部材を備えた蒸着装置を用い、複数個の被処理物を収容した収容部材を水平方向の回転軸線を中心に回転させながら、Ａｌまたはその合金の蒸着材料を被処理物の表面に蒸着させるに際し、予め、被処理物を２００℃〜３５０℃に加熱しておいてから蒸着を開始することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 めっき法のように廃液の処理が必要なく、環境に対する負荷が小さい表面処理物、表面処理方法及び表面処理装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る表面処理物は、スパッタリング法によってボルトやナット等の被処理体３の表面に耐食性物質又は犠牲物質からなる薄膜が被覆されたことを特徴とする。また、本発明に係る表面処理物は、スパッタリング法によって被処理体の表面に薄膜が被覆され、前記被処理体と前記薄膜を反応させて該被処理体の表面に反応層が形成されたことを特徴とする。前記スパッタリング法は、内部の断面形状が多角形を有する真空容器１ｂを、前記断面に対して略垂直方向を回転軸として回転させることにより、該真空容器内の被処理体３を攪拌あるいは回転させながらスパッタリングを行うものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高い真空度を得るために長時間をかけたり、特別の装置を使用したりすることなく、アルミニウムのような易酸化性蒸着材料を希土類系永久磁石のような被処理物に安定に蒸着させるための表面処理方法、この方法を実施するために好適な表面処理装置などを提供すること。
【解決手段】 易酸化性蒸着材料からなる蒸着被膜を被処理物の表面に形成する表面処理方法であって、処理室内の少なくとも溶融蒸発部と被処理物の近傍に蒸着制御ガスを供給した状態で前記蒸着材料を蒸発させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 より小型な構成でワークの姿勢を変化させること。
【解決手段】 真空槽２内で基板Ｐの表面に成膜を行うものであって、自転運動する自転車１１と、基板Ｐを保持する基板保持部１２と、該基板保持部１２を自転車１１に連動可能に連結する連結部材１３とを有する自転機構３と、該自転機構３を揺動可能に支持する支持機構４と、自転車１１と接触する案内面を有する案内部材５とを備え、連結部材１３が、自転車１１が案内面に接触しうる所定の２点からの距離が異なる点で、自転車１１に連結されている成膜装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】輝尽性蛍光体の結晶性を均一とし、鮮鋭性の高い放射線画像が得られる放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】放射線画像変換パネルの製造装置１において、真空容器２と、真空容器２の内部に設ける支持体ホルダ５と、支持体ホルダ５に保持される支持体４とを設け、さらに輝尽性蛍光体を蒸発させて支持体４に輝尽性蛍光体を蒸着させる複数の蒸発源８を、支持体４の中心から放射状に延びる直線上に配置する。 （もっと読む）

対象物の表面上に薄膜を堆積させるプラズマ薄膜堆積方法であって、１つまたは複数の不活性プラズマ発生ガスおよび前駆ガス中でプラズマを発生させ、このプラズマを処理表面上に噴射させる方法。１つまたは複数の前駆ガスは、少なくとも２つの成分、すなわち、飽和有機物質を含む第１の成分と、不飽和有機物質を含む第２の成分とを含み、第１の成分は、プラズマ・ゾーン内で実行されるプラズマ化学プロセスの後に単フリー結合を有する軽ラジカル源であり、第２の成分は、２つ以上のフリー結合を有する重ラジカル源である。

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