【課題】加熱炉内のクリーン度（米国連邦規格２０９Ｄ）をクラス１０レベルに高く保つことができるローラーハースキルンに関する技術を提供すること。
【解決手段】金属製ケース内に断熱材を充填した断熱壁で天井部３・床部４・左右側壁部５を構成した炉内空間にワーク搬送用の低発塵性ローラー６を備えた本体部１と、該本体部全体を覆う外殻２を有し、該本体部の左右側壁部に形成されたローラー貫通孔１２を貫通した低発塵性ローラー６を、外殻に設けた低発塵性ローラー駆動部７で支持し、炉内空間には、低発塵性ヒータ８を備える。 （もっと読む）

【課題】筐体内にてシートを移動させつつ、該シートにおける温度の面内均一性を高めることの可能な加熱処理装置、及び該加熱処理装置を備えるシート表面処理装置を提供する。
【解決手段】第１成膜装置１３、第２成膜装置１４、及び第３成膜装置１５は、筐体内を通過するシートＳを該筐体内にて加熱する加熱処理装置を備えている。加熱処理装置は、シートＳに対向する加熱面を有し、加熱面をシートＳに面接触させて加熱面にシートＳを追従させる往動と、加熱面をシートＳから離して追従の開始位置に加熱面を戻す復動とを筐体内で交互に繰り返すホットプレートＨ１，Ｈ２を備えている。また、加熱処理装置は、ホットプレートＨ１，Ｈ２に設けられ、往動にてシートＳを加熱面に吸着し、復動の前に該吸着を解除する吸着部を備えている。 （もっと読む）

【課題】鋼帯を連続的に熱処理する連続熱処理炉の内部を確実にシールすることができ、これにより、雰囲気ガスの漏洩を、鋼帯の品質を低下することなく低コストで確実に防止する。
【解決手段】気密性を要求されるゾーン２〜１間にシールボックス１を配置し、非接触で鋼帯２を挟み込むように配置される一対の仕切り板３と、仕切り板３および鋼帯２に非接触で鋼帯２を挟みこむように配置される一対のシールロール４と、シールガス供給ノズル５と、補助シールガス供給ノズル７とを備えるシール装置０である。シールロール４と仕切り板３との二つの間隙の圧力を部分的に上昇させるとともに、随伴流Ｆ１の成長を抑制でき、また、シールロール４を設置したシールボックス１の内部空間の静圧を上昇させることが可能となり、圧力変動によるこのシールボックス８への雰囲気ガスの流入を抑制でき、さらに、鋼帯２の搬送ラインの端のシール性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】被処理物の歪みや変形を小さく抑えることが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の熱処理装置は、冷却用ガス２を循環させることにより加熱された被処理物１を冷却する冷却室２２を備え、冷却室２２は、室内に冷却用ガス２を循環させることにより被処理物１を冷却するガス冷却循環装置２４と、被処理物１を所定の方向から押圧する押圧装置４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤を含有する材料が塗布された基材が一定速度で搬送されながら乾燥される連続式の乾燥炉として使用した場合に、乾燥ムラを生じさせたり、乾燥効率が低下したりすることがなく、更に、設備に要するコストが低く、大型化も容易な乾燥炉を提供する。
【解決手段】有機溶剤を含有する材料が塗布された基材を乾燥するために使用される乾燥炉である。本乾燥炉には、炉内への給気及び炉内からの排気を行うための給排気装置として、略平行な位置関係を有する１本又は複数本の給気管３ａ、３ｂと当該給気管と隣り合うように配された１本又は複数本の排気管５とを一組とする給排気管ユニット７が、前記基材の上方位置に炉幅方向と略平行になるようにして所定間隔で複数組配置されており、給気管３ａ、３ｂ及び排気管５は、各々管壁の一部に当該管の長手方向に沿って略直線状に形成された通気部を有している。 （もっと読む）

【課題】可及的に加熱立ち上がり時間を短くでき、或いは加熱処理時間を短縮できるウオーキングビーム式熱処理装置を提供する。
【解決手段】ウオーキングビーム式熱処理装置１０によれば、固定ビーム２０および可動ビーム２２は、透明な石英管から構成されたものであることから、その透明な石英管を通してハロゲンヒータ（加熱体）７８からの輻射エネルギが基板の裏面へ到達できるので、従来のウオーキングビーム式熱処理装置に比較して、均一に急速加熱することが容易となり、立ち上がり時間或いは加熱処理時間が短縮される。この結果、熱処理が基板の特性に影響を与えることが可及的に少なくされる。 （もっと読む）