【課題】従来よりも作業性に優れる被膜付き部材の製造方法を提供しようとするもの。
【解決手段】帯状体７に複数の部材８が連設する金属シート９を両面エッチングにより形成し、前記部材８と帯状体７との境界に部材８側が高くなる段差10をハーフエッチングにて形成するエッチング工程と、前記段差10が形成された側の面に被膜を形成する被膜形成工程と、前記被膜が形成された面の段差10の下方側で部材８を帯状体７から分断する切断工程とを有する。被膜を形成する被膜形成工程は部材を帯状体から分断する切断工程の前に行うようにしているので、帯状体に複数の部材が連設している状態で被膜形成を行うことができる。 （もっと読む）

本開示は、半導体処理装置においてガス分配に特に有用なスペース節約の一体化流体配送システムに関する。又、本発明は、流体フローチャンネルを含む積層基板に加えて、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントを含むことのできる一体化流体フローネットワークアーキテクチャーにも関する。積層基板は拡散ボンディングされ、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントは、設計及び材料要求に基づいて、基板へ部分的に一体化されてもよいし完全に一体化されてもよい。
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【課題】 金属部材の表面処理において、鏡面研磨が行えるとともに酸化膜のコーチングも同一作業により行える鏡面研磨コーチング方法を提供すること
【解決手段】 研磨対象（試料１）を一方の鉄芯４の先端部に支持して研磨パッド２を他方の鉄芯５の先端部に支持し、試料１と研磨パッド２とを対面させた間に磁気研磨液３を存在させる。鉄心４，５にはコイル８，９を設けて電磁石とし、外側の他端に駆動モータ６，７を連結して回転させる。磁気研磨液３には増粘剤，非磁性の砥粒を混合しておき、駆動モータ６，７により互いを逆回転させ、コイル８，９により磁気研磨液３に所定に磁場を加える。磁気研磨液中では強磁性粒子（鉄粒子）に砥粒，マグネタイト粒子が付着し、当該付着粒体が自転して動くので研削作用し、研磨面に酸素が直ちに結合し、コーチングされる。 （もっと読む）

この発明は、コーティングされ表面が微細構造化された工作物およびその作製方法に関する。ここにおいては、微細構造の構造深さ（ｓ）は、層厚（ｄ）よりも大きく設定、あるいはこれに対して或る定められた割合に設定される。
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本発明は、素材上での広がり性が小さくて微細パターンを形成でき、エッチング液に対する耐化学性が強化され、印刷回路基板の銅箔エッチングだけではなく、ステンレス鋼基材の深いエッチングにも使われうる、エッチングレジスト用のインク組成物、これを利用したエッチングレジストパターンの形成方法及び微細溝の形成方法に係り、該組成物は、水及び水溶性高分子または高分子エマルジョンを含む。
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【課題】金属の微細加工を、同一ノズルからエッチング液と気体の双方を同時に噴射し、エッチング液が霧状に噴射される２流体エッチングにより行う方法において、加工特性が高く、効率よく高精度に行うことのできる金属微細加工製品の製造方法およびその製造方法により作られた金属微細加工製品を提供する。
【解決手段】金属板の表面にフォトレジストをパターニングする工程、同一ノズルからエッチング液と気体の双方を同時に噴射する工程を有する金属板加工のための２流体エッチングにおいて、混合噴射する気体の温度がエッチング液の温度以上である。 （もっと読む）

【解決手段】絶縁フィルムの少なくとも一方の表面に基材金属層および導電性金属層がこの順序で積層された基材フィルムにおける該導電性金属層の表面に、感光性樹脂層を露光・現像して所望のマスキングパターンを形成し、該パターンをマスキング材として、主として導電性金属層を選択的にエッチングした後、該マスキング材を残したまま、露出した基材金属層を連続的にソフトエッチングして除去し、次いで形成された配線パターンを、還元性を有する有機化合物を含む水溶液で処理することを特徴としている。
【効果】導電性金属層を除去する際に、配線パターンの厚さを減少させることなく配線パターンを容易に製造することができ、マイグレーションの発生による絶縁抵抗の変動が少なく、信頼性の高いプリント配線基板を効率よく製造できる。 （もっと読む）

【課題】 エッチング溶液及びこれを利用した磁気記憶素子の形成方法を提供する。
【解決手段】 エッチング溶液は純水及び有機酸を含む。有機酸はカルボキシル基と水酸基とを有する。有機酸は前記純水に対して０．０５質量％乃至５０質量％含まれる。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工場などにおける金属エッチング工程などから発生する金属含有酸廃液から、金属を分離するとともに酸を高い収率で回収する。
【解決手段】 （Ａ）拡散透析層で仕切られた拡散透析室１ （Ｂ）金属含有酸廃液を拡散透析層により隔てられた一方の側の拡散透析室に送るための供給手段３（Ｃ）拡散透析層により隔てられた他方の側の拡散透析室に水を補充するための水補充手段５（Ｄ）拡散透析室で処理された金属含有酸廃液を透析残液濃縮用蒸留塔に送るための供給手段７（Ｅ）拡散透析室における水を補充する側の底部から再生酸含有溶液を回収する手段１１（Ｆ）透析残液濃縮用蒸留塔８（Ｇ）前記透析残液濃縮用蒸留塔から得られた蒸留水を水補充手段に供給するための供給手段９（Ｈ）前記透析残液濃縮用蒸留塔の底部から濃縮された金属を含む金属含有酸廃液を回収する手段１０よりなることを特徴とする金属含有酸廃液の再生装置。 （もっと読む）

選択的エッチングプロセスは、非晶質金属ストリップ供給材料から形状を切断する。エッチングプロセスは、必要な形状を規定するパターンでストリップの一側面に化学的抵抗材料を付着するステップと、金属ストリップにキャリアストリップをかみ合わせるステップと、所望の形状に選択的エッチングするために、金属ストリップの少なくとも一側面にエッチング剤を晒すステップと、ストリップ供給材料から形状を分離するステップと含む。形状の複数の層は、高効率の電気モータおよび誘導デバイスにおいて有用な、全体的に多面体に成形されたバルク非晶質金属の磁気構成要素を形成するために、接着積層体によって組み立てられる。バルク非晶質金属の磁気構成要素は、弓形表面を含むことができ、好ましくは互いに対向して配置された２つの弓形表面を含むことができる。磁気構成要素は、約５０Ｈｚから約２００００Ｈｚの範囲の周波数で動作可能である。構成要素は、ピーク誘導レベルＢ_ｍａｘに対して励起周波数「ｆ」で動作されるとき、構成要素は、約「Ｌ」より低いコア損失を有し、ここで、Ｌは、式Ｌ＝０．００５ｆ（Ｂ_ｍａｘ）^１．５＋０．００００１２ｆ^１．５（Ｂ_ｍａｘ）^１．６で与えられ、前記コア損失、前記励起周波数、および前記ピーク誘導レベルは、キログラム当たりのワット、ヘルツ、およびテスラでそれぞれ測定される。本発明のバルク非晶質金属の磁気構成要素の性能特徴は、同一の周波数範囲にわたって動作される珪素鋼の構成要素の性能特徴より著しく良好である。

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