【課題】試料にダメージを加えることなく、試料の評価を高分解能かつ高精度で行うことができる半導体評価方法及び半導体評価装置を提供する。
【解決手段】半導体基板と、半導体基板の第１の面側に形成された半導体素子と、半導体素子を覆うように形成された絶縁層とを有する半導体装置より成る試料１２を、走査型プローブ顕微鏡を用いて評価する半導体評価方法であって、試料の絶縁層が形成されている側が試料台３６に接するように、試料台上に試料を固定する第１のステップと、半導体基板の第２の面側を研磨することにより、半導体基板の厚さを所定の厚さまで薄くする第２のステップと、走査型プローブ顕微鏡の探針２２に電圧を印加し、探針を半導体基板の第２の面側に接触させ、探針を流れる電流を測定する第３のステップとを有している。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの内部回路の観想対象部位を、裏面側から正確かつ効率良く開口して、対象部位の障害原因等を裏面側から観測するのを可能とする。
【解決手段】パターン設計の段階で、予め、半導体デバイスの内部回路の観測すべき所定部位６０２を定めてその直下に裏面観測する領域を確定し、その領域に基板とは異なる埋設材料である絶縁層６０４を深く埋め込み、次いで裏面側６０３から研磨加工などにより絶縁層６０４を露出させ、さらに絶縁層の側壁面付着部を除いて除去し、穴６０７することにより、裏面側に観測すべき所定部位を露出させてその露出部位を観測するようにする。または穴６０７に導電材料６０８を埋め込み、この導電材料６０８の裏側露出部を用いて観測する。 （もっと読む）

【課題】 短時間で精度良くシリコンウェハのクラックの有無を検査できる検出方法を提供すること。
【解決手段】 シリコンウェハにひねりを加え、さらに前記シリコンウェハをひねった時に発生する音の強度の周波数分布を測定し、前記シリコンウェハのクラックの有無を検出するシリコンウェハのクラック検出方法であって、前記音の強度の周波数分布が周波数４〜３５ｋＨｚの範囲内で所定のレベルを超える点の有無を測定して前記シリコンウェハのクラックの有無を検出することを特徴とするシリコンウェハのクラック検出方法。
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ウェーハ上のチップに対する圧力試験装置が開示されており、この装置は、圧力チャンバと、ハウジングの上部部分と下部部分との間に配置されている支持プレートと、ウェーハチャックと、試験手段と、位置決め装置とを備える。このウェーハチャックと試験手段と位置決め装置は、支持プレートで支持されており、および、圧力チャンバ内に配置されており、および、さらに、支持プレートは、ハウジングの上部部分と下部部分との間のガス連通を実現する開口を圧力チャンバの内側に備える。
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【課題】 面取り部以外の不純物を薬液中に混入させないようにして面取り部の汚染度合いの分析、評価を精度よく行えるようにする。表面平坦部のすべての範囲について漏れなく薬液を回収して表面平坦部の汚染度合いの分析、評価を精度よく行えるようにする。
【解決手段】半導体ウェーハ１０の表面平坦部１１のうち、面取り部１５との境界領域に接触できる位置に、薬液４０の半径方向位置（薬液中心のウェーハ中心からの距離）が位置決めされ、周方向ωに走査され、不純物を含む薬液４０が回収される。つぎに半導体ウェーハ１０の面取り部１５と境界領域１１ａとの両方に接触できる位置に、薬液４０の半径方向位置が位置決めされ、周方向ωに走査され、不純物を含む薬液４０が回収される。液滴保治具３０は、たとえば半導体ウェーハ１０の周上の所望の開始点から終了点に至るまで周方向に相対回転される。 （もっと読む）

【課題】 接触状態でのプローブ先端の位置及びプローブの最適な押し込み深さを事前に測定することができるプローブ検査装置及びプローブ検査方法を提供する。
【解決手段】 被検査物と同じ程度の平坦な接触面を有する変形体７と、複数のプローブ１からなるプローブカード３と、接触面と複数のプローブ１を接触させる手段と、接触面上に形成された複数のプローブ痕８を観察する手段と、複数のプローブ痕８の開口の大きさ及び複数のプローブ先端痕の位置を測定する手段と、複数のプローブ痕８の開口の大きさからプローブ１の押し込み深さを算出する手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 自動化に好適なベアチップキャリアを提供する。
【解決手段】 キャリアベース７に設けた凹部にエラストマ８を置き、更にこの上にバンプ１０が設けられたコンタクトシート１１を置き、コンタクトシート上に被検査物であるベアチップ９を搭載すると共に、コンタクトシート上のバンプにベアチップのパッドを当接せしめ、ベアチップを押圧部材３でエラストマ側に押圧してベアチップの所定の検査を行うためのベアチップキャリアにおいて、押圧部材を組み付けたキャリア蓋１と、キャリア蓋と押圧部材との間に設けたばね２と、キャリア蓋をキャリアベース側に固定するためキャリア蓋の側部に設けられたフック部１３と、キャリアベース又はキャリアベースに固定された部材６に一端が固定された可撓性を有する一対のキャリア蓋止め部材５と、キャリア蓋止め部材に設けたキャリア蓋を係止するための係止部とで構成した。 （もっと読む）