説明

Fターム[4M118EA18]の内容

固体撮像素子 (108,909) | 製造方法 (5,441) | 工程の順序 (2,421) | 電極パッド部 (205)

Fターム[4M118EA18]に分類される特許

101 - 120 / 205


【課題】隣接する複数の撮像素子による測距特性を持ち、高強度と高精度性を持つ固体撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明は、離間した撮像領域が複数個隣接して単一の半導体基板上で一体となっている撮像素子を、半導体基板とガラス基板との間で前記絶縁性封止樹脂の形成される領域が外部に連通するように、貫通孔、切り込み、または、凹溝が設けられた電気配線付き透光性のガラス基板上に実装するものである。そのため、隣接する複数の撮像素子をガラス基板上にフリップチップ実装したうえで、補強のための封止樹脂注入を行うことが出来、小型で高精度の複眼カメラを、作業性良く組み立てることができ、高強度性および光軸合わせの高精度性を得ることができる。その結果、場所を取らずに測距、監視が可能となる優れた固体撮像装置を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】高光電変換効率、低暗電流性、高速応答性を示す新規な有機半導体を提供する。
【解決手段】薄膜からなる有機半導体において、薄膜が下記の一般式(I)で示される化合物を含んでなる有機半導体。
一般式(I)


式中、AはO、S又はN−R15を表す。R11、R12、R13、R14、R15はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表し、R11、R12は連結して環を形成してもよい。Bは少なくとも一つの窒素原子を含む環構造を表す。n1は0〜2の整数を表す。 (もっと読む)


【課題】接着部が剥がれたり、浮いたり、倒れたりすることのない半導体装置を提供する。
【解決手段】固体撮像装置100として実現された本発明の半導体装置においては、覆部102によって覆われる被覆領域の外部に迫出した接着部103を介して覆部102と固体撮像素子101とを接着しているので、覆部102と固体撮像素子101とを従来より強固に接着することができる。 (もっと読む)


【課題】特別な装置を必要とせず、簡単な方法で樹脂層の剥離を防止することが可能な固体撮像装置を提供する。
【解決手段】半導体基板1上に、複数の光電変換素子2を有する受光領域101と、周辺回路領域102とを有し、受光領域101及び周辺回路領域102上に第2の樹脂層8を形成する。その際、第2の樹脂層8上に複数の凸部9が配置する。また、凸部9は第2の樹脂層8の周縁に沿って配置する。更に、凸部9は第2の樹脂層8の受光領域101を除く周辺回路領域102上に配置する。或いは、凸部9は第2の樹脂層8の受光領域101及び周辺回路領域102上に配置する。 (もっと読む)


第1の基板内に形成された受光素子と、受光素子を含む第1の基板上に形成された層間絶縁層と、受光素子から離間しながら層間絶縁層及び第1の基板を通って形成されたビアホールと、ビアホールの内側壁上に形成されたスペーサと、ビアホールを充填するためのアライメントキーと、相互接続層の最下層の背面がアライメントキーに接続されている多層構造で層間絶縁層上に形成された相互接続層と、相互接続層を覆う不活性化層と、第1の基板の背面上に局所的に形成されてアライメントキーの背面に接続されたパッドと、受光素子に対応する第1の基板の背面上に形成されたカラーフィルタ及びマイクロレンズと、を含む背面照射型イメージセンサが、開示されている。
(もっと読む)


【課題】光電変換素子において発生した少数キャリアが、外部に容易に抜けるような構成の固体撮像装置を提供する。
【解決手段】半導体基体内に形成されている光電変換素子と、半導体基体の表面側に設けられている絶縁層と、絶縁層内に形成されている複数の配線層と、光電変換素子の周囲の半導体基体内に形成されている半導体領域とを備える。また、半導体領域内の少なくとも一部に接して形成されている導電材料層と、絶縁層内に形成されている外部配線との接続用の電極層と、電極層の上方に半導体基体の裏面から設けられた開口部とを備える。そして、電極層が、最も光電変換素子側に形成されている配線層と同じ層に形成され、光電変換素子に、半導体基体の裏面側より光が照射される固体撮像素子を構成する。 (もっと読む)


【課題】暗電流を効率的に抑制できる固体撮像装置とその製造方法、及びこの固体撮像装置を備えた電子機器を提供する。
【解決手段】固体撮像装置は、光電変換素子24を有する複数の画素と、各画素の光電変換素子24上に、絶縁膜25を介して形成された分極処理された強誘電体膜28と、強誘電体膜28上に形成された透明電極膜29とを有する。 (もっと読む)


【課題】半導体基板の裏面側から効率よく放熱する半導体チップを実現できるようにする。
【解決手段】半導体チップ10は、基板11と、基板11の素子形成面側に形成され、複数の半導体素子を含む集積回路12と、基板11における複数の半導体素子のうちの所定の半導体素子30と対応する領域に形成さた放熱プラグ31とを備えている。放熱プラグ31は、素子形成面と反対側の面に開口する非貫通孔に埋め込まれた基板11と比べて熱伝導率が大きい材料からなる。 (もっと読む)


【課題】パッド電極にかかるオーバーエッチング量を抑制して、後のシンター処理で発生するパッド電極上のAl空洞化によるパッシベーション膜の膜剥がれを低減してパッド電極のボンディング不良を抑える。
【解決手段】パッド電極上の酸化膜、前述した絶縁膜5をウェットエッチングでパッド電極上のみ取り除き、パッド電極のTi系バリアメタル層3のみをドライエッチングで除去することにより、パッド電極のメタル層4に与えるドライエッチングのオーバーエッチによるダメージを大幅に抑える。 (もっと読む)


【課題】電極パッドの応力集中による断線等のダメージを防止できる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明の固体撮像装置5は、光センサーを配列してなる撮像エリアSと当該撮像エリアSの周縁に設けられた電極パッド12とを表面に備えた半導体基板11と、半導体基板11の表面に封止剤21を介して接合された透明基板22と、半導体基板11を貫通する状態で、電極パッド12から半導体基板11の裏面にまで達する裏面配線16とを備える。電極パッド12は、裏面配線16を構成する配線材料の成膜膜厚よりも厚い膜厚で形成されている。 (もっと読む)


【課題】外径の小さな撮像装置を実現できる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】受光部が複数個配置された撮像領域50と、撮像領域50上に設けられ、受光部で生じた信号を第1の方向に伝送する第1の伝送手段3と、撮像領域50の側方に配置され、第1の伝送手段3により伝送された信号を第1の方向と交差する第2の方向に伝送する第2の伝送手段4と、信号を出力する出力回路5と、撮像領域50から見て第1の方向の一側方であって、第2の伝送手段4を撮像領域50との間に挟む位置に配置されたボンディングパッド52とを備える。ボンディングパッド52は第2の方向に延びる複数の列に分けて配置され、且つ各ボンディングパッド52は、第1の方向から見て異なる列に属するボンディングパッドの少なくとも一部と重複する。 (もっと読む)


【課題】先に半導体基体の表面側に形成された配線層に熱的影響を与えずに支持基板を貼り合わせることができる固体撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基体4内に複数の光電変換素子PDを形成する工程と、半導体基体4の表面側に、絶縁層7中にアルミニウム又は銅よりなる配線層8を有する配線部を形成する工程と、配線部のさらに表面側に、CVD法を用いて接着剤層9を形成し、450℃以下の温度で熱処理を行うことにより、接着剤層9を介して支持基板30を貼り合わせる工程と、半導体基体4を裏面側から薄くする工程とを有して、固体撮像素子を製造する。 (もっと読む)


【課題】裏面照射型固体撮像装置において、入射光量のロス及び混色を軽減する。
【解決手段】半導体基板11内に複数の受光素子12が2次元配列され、半導体基板11の表面11b側に配線層15及び電極パッド16が形成されている。半導体基板11は、裏面11a側から受光を行うように薄板化されている。半導体基板11の裏面11a側に、各受光素子12の直上領域に開口部18aを有する遮光膜18が設けられており、遮光膜18の開口部18a内で、かつ遮光膜18との同一平面上にカラーフィルタ19が設けられている。半導体基板11の表面11b側には支持基板22が貼着されている。電極パッド16は、半導体基板11の裏面11a側に部分的に露呈している。また、遮光膜18及びカラーフィルタ19の上面は、平坦化により同一平面となっている。 (もっと読む)


【課題】半導体モジュールあるいは固体撮像装置において、画像処理スピードの向上、画面内の同時性の実現、画質向上と同時に、製造プロセスの容易化、歩留り向上を図る。
【解決手段】イメージセンサチップ(32)と信号処理チップ(33)とがマイクロバンプ(126)によって接続され、イメージセンサチップ側でマイクロバンプを通過する信号がデジタル値となる構成である。イメージセンサチップ側で各画素の光電変換素子(PD1〜PD8)からの画素信号がA/D変換回路(123,124)でA/D変換され、さらにマルチプレクサ(125)で選択され、マルチプレクサ(125)からの出力であるデジタルデータがマイクロバンプ(126)を介して信号処理チップ(33)側に送られ、信号処理チップ側に送られたデジタルデータが、信号処理チップ側でデマルチプレクサ(127)を通じて分配され、メモリ(131〜138)に送られるようにして成る。 (もっと読む)


【課題】 高い解像度を得ることができる機構を備えた受光素子アレイ、撮像装置およびそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】 受光層3を含む受光素子10が、複数個、共通の読出し制御回路の基板30上に配置され、各受光素子は、隣接する受光素子から隔離され、各受光素子に設けられた対の電極のうち、第1導電側電極12は、すべての受光素子にわたって電気的に共通に接続されており、他方の第2導電型領域6に設けられる第2導電側電極11は、それぞれ読出し制御回路の読出し部31に電気的に接続されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】固体撮像素子においてカバーガラス搭載時に接着剤の粘性等による復元力や表面張力などでカバーガラスが位置ずれする現象を抑制してガラス搭載精度の高い固体撮像装置を提供する。
【解決手段】TABテープ4にカバーガラス3より大きな開口部4dを設け、固体撮像素子2の撮像素子エリア5のセンター位置を基準とし、カバーガラス3の搭載精度の許容値を考慮してTABテープ4を固体撮像素子2に固定し、カバーガラス3の接着固定時にカバーガラス3の位置ずれをTABテープ4の開口部4dの内周縁によって規制してガラス搭載精度を確保する。 (もっと読む)


【課題】受光画素領域の各画素への入射光量の均一性を高めながら集光率も向上でき、かつ黒基準信号を生成するオプティカルブラックを構成する遮光画素領域への不正入射光を有効に防止することを目的とする。
【解決手段】遮光画素領域1と受光画素領域3の間に境界画素領域2を設けることによって、受光画素領域3における保護膜31の膜厚を一定にすることができるために遮光画素領域1に対して最も近傍に配置される受光画素領域3の画素特性を他の受光画素領域3の各画素特性と同一な特性に合わせることが出来ると共に、黒基準となるオプティカルブラック領域を形成する遮光画素領域1の光電変換素子4への不正入射光を有効に防止することができる。 (もっと読む)


【課題】開口画素とOB画素で発生する暗電流量差を調整することによって、温度、蓄積時間によって変動しない光学的な黒レベルを出力することができ、画像コントラストへの影響を低減することのできる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】光電変換部53,43とフローティング・ディシュージョン部54,44を有して構成される有効画素36及び黒基準画素38が、それぞれ複数配列された撮像領域を構成し、有効画素36の暗電流量と、黒基準画素38の暗電流量とが一致するように、有効画素36の光電変換部43及び黒基準画素38の光電変換部53を同一形状で構成し、黒基準画素38のフローティング・ディフュージョン部54の表面積又は周辺長は、有効画素36のフローティング・ディフュージョン部44の表面積又は周辺長よりも小さくなるように構成する。 (もっと読む)


【課題】裏面照射型の固体撮像素子を封止した撮像装置の製造コストを低減する。
【解決手段】固体撮像素子11は、電極パッド15が形成された表面11aとは反対側の裏面11bが受光面となっている。第1の固着部材16は、裏面(受光面)11b上に形成されている。透明支持基板12は、固体撮像素子11と平面サイズが同一であり、裏面11b側に第1の固着部材16によって固着されている。パッケージ基体13は、リード端子18を有し、固体撮像素子11の受光面が対向する位置に開口部13aが形成されている。第2の固着部材17は、透明支持基板12の周縁部をパッケージ基体13の開口部13aの周囲に固着させるように、開口部13aの周囲に形成されている。ワイヤ19は、電極パッド15とリード端子18との間に接続されている。封止樹脂14は、固体撮像素子11の表面11a全体及びワイヤ19を被覆している。 (もっと読む)


【課題】遮光膜に負電圧を印加してスミア特性を改善する固体撮像素子でスミア特性を更に改善する。
【解決手段】読出パルス131が読出電極に印加されるとき読出パルス131と同極性のパルス電圧135を導電性遮光膜に印加すると共に、パルス電圧135を、読出パルス131の印加終了のタイミングに先行してオフさせる。遮光膜に正電圧を印加する必用の無い期間に負電圧を印加するため、負電圧印加期間が長くなり、スミア特性が更に改善する。 (もっと読む)


101 - 120 / 205