【課題】極めて薄い液体層を形成することにより電子顕微鏡の観察に適応する電子顕微鏡用の超薄液体制御板を提供する。
【解決手段】板体１１を備える。板体１１は少なくとも一つの観察孔１２を有し、観察孔１２は上段孔壁１２１と下段孔壁１２３に分けられ、上段孔壁１２１は疎水材質１４が塗布され、下段孔壁１２３は親水材質１６が塗布される。親水性の高い下段孔壁１２３の高さは５０μｍ以下である。また板体１１の両端面とも疎水材質１４が塗布されて疎水性を有する。これにより観察孔１２から液体を注入した後、下段孔壁１２３は親水性が高いため液体を吸引して極めて薄い液体層１８を形成するのに対し、上段孔壁１２１は親水性が比較的低いため液体を吸引することはない。これにより、極めて薄い液体層１８を容易に生成する板体１１を提供可能である。 （もっと読む）

【課題】一般試料または生体細胞の設置のため電子顕微鏡と合わせて利用し観測を行うことが可能な電子顕微鏡用試料ケースを提供する。
【解決手段】内部に収容室１６を有する殻体１１を含み、該殻体１１の頂底部にそれぞれ少なくとも一つの収容室１６と連通する観察孔１７を有し、且つ互いに同軸で相対する殻体１１上面の観察孔１７底端と、殻体１１下面の観察１７孔頂端との距離が５０μｍよりも小さい所に位置する。また、極薄の厚さを有するため、たとえ液体試料を注入しても電子顕微鏡の電子ビームが透過できないということはなく、観測のために提供することが可能であり、一般試料または生体細胞の設置のため、電子顕微鏡と合わせて利用し観測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】極めて薄い液体層を形成することにより電子顕微鏡の観察に適応することが可能である電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスとの組合を提供する。
【解決手段】板体を備える電子顕微鏡用の超薄液体制御板であって、板体は、少なくとも一つの観察孔を有し、観察孔の孔壁は上から下まで少なくても上下二段に分けられ、そのうちの一段孔壁の親水性が別の一段孔壁の親水性より高く、かつ親水性が比較的高い一段孔壁の高さは５０μｍ以下であり、観察孔から液体を注入した後、親水性が比較的高い一段孔壁は液体を吸引して極めて薄い液体層を形成し、別の一段孔壁は親水性が比較的低く液体の吸引が低減される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡の観察に適用可能な一般の試料または生体細胞を置くことに用いることが可能であり、観察が容易で明瞭である電子顕微鏡用の密閉式観測環境形成装置を提供する。
【解決手段】ハウジング１１を備える。ハウジング１１は内部に収容室１２を有し、ハウジング１１の頂面と底面には収容室１２に繋がって向かい合うように同軸に位置する少なくとも一つの観察孔１３を別々に有する。観察孔１３は、薄膜１３１により封じられている。一般の試料または生体細胞を収容室１２に置くことにより、電子顕微鏡の観察に適用することが可能となる。また、ハウジング１１内に液体または気体を封じることで、液体または気体を外部へ漏洩させるという問題を解決することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】一般の試料または生体細胞の電子顕微鏡観察に適用でき、高解像度の電子顕微鏡の観測に適用できる電子顕微鏡用の半密閉式観測環境を提供する。
【解決手段】ハウジング１１は、少なくとも二枚の隔離板１２により内部が分割され、収容室１３と、収容室１３の下方の気体室１４と、気体室１４の下方の緩衝室１５とが形成されている。収容室１３の頂面には観察孔１３１を有し、収容室１３の底面には気体室１４に繋がる観察孔１３１を有する。気体室１４の底面には緩衝室１５に繋がる気孔１４１を有し、緩衝室１５の底面には外部に繋がる外孔１５１を有する。二つの観察孔１３１と気孔１４１と外孔１５１とは同軸であり、上方に位置する観察孔１３１は薄膜１３２により封じられるように設けられている。気体室１４の一側に注気孔１４２を有し、緩衝室１５の一側に抽気孔１５２を有する。 （もっと読む）

【課題】効率的、定量的に液体状試料の電子顕微鏡観察を行なう。
【解決手段】凹部を有する微小容器に液体状試料をのせる工程１、及び該凹部を封入する工程２を有し、工程１でインクジェット法により凹部を有する微小容器に液体試料をのせ、工程２で液体試料が冷却されており、工程１と工程２が同時に行われる電子顕微鏡観察用試料作製方法において、液体資料中に凹部を有する微小容器を固定し、かつ封入用物質を液体状試料表面に浮かした状態にする工程、および封入物質を保った液面を下げることにより凹部を有する微小容器表面に該封入物質を移し取る肯定を有する。 （もっと読む）

【課題】グロー放電を用いて試料を掘削する方法を利用することにより、試料の十分に広い領域をＴＥＭで観測可能な形状に短時間で形成することができる試料形成装置、及び試料形成方法を提供する。
【解決手段】試料形成装置は、アルゴンガス（不活性ガス）が満たされたグロー放電管２内で、中空に形成された電極１２と試料Ｓとの間に電圧を印加することによって、グロー放電を発生させ、試料Ｓの電極１２に対向した部分を掘削する。掘削を開始してから経過した時間に応じて段階的に掘削の速度を低下させる。また試料Ｓの掘削が進行して試料に亀裂又はピンホールが発生した状態で試料を貫通するアルゴンイオンをイオンセンサ３２で検出して試料Ｓの厚みを判定し、試料Ｓの厚みが目標値となった場合に試料の掘削を停止することで、ＴＥＭで観測可能な所望の厚みを有するように試料Ｓを形成する。 （もっと読む）

【課題】試料やレンズ等を汚染することなく、ウエハの検査や露光等の作業を行う。
【解決手段】鏡筒５００１の先端部を囲うようにして、差動排気部５００４が取り付けられている。試料５００２はステージ５００３上に載置されている。差動排気部５００４の外周側から荷電ビーム５０５０に向かって流入してくるガスを環状溝５００５、５００６を介して真空排気し、荷電ビーム領域を所定の真空度に維持する。 （もっと読む）

【課題】 微細構造を持つデバイスの局所的な電気特性を測定し、不良を検出する。
【解決手段】 走査型電子顕微鏡で観察しながら、探針移動制御回路１８による制御で、
探針移動機構１４、１５、１６、１７により、鋭利な先端を有する複数の探針１、２、３
、４を、それぞれ試料電極５、６、７、８に接触電流が飽和するまで接近させ、確実に接
触させる。測定に用いるすべての探針の接触が完了したら、電気特性測定回路１９により
探針間の電流電圧特性を測定し、素子の局所的電気特性を得る。
【効果】 素子の局所的位置を直接探針であたることができるため、不良位置同定が容易
となる。 （もっと読む）

【課題】 外界圧力または大気圧より圧力が高い液体環境を提供できる真空または低圧環境下で高圧腔室の操作及び観察を可能にする方法及び装置を提供する。
【解決手段】 ケース１１と、ケース１１の内部に配置される腔室１２と、ケース１１内部を分割する隔離板１４と、腔室１２の外部に形成される蒸気室１６と、蒸気室１６の外部に形成される緩衝室１８とを備える。腔室１２は、加圧装置１３と連接している。腔室１２は、頂面と底面に別々に蒸気室１６と繋がる蒸気孔１２１を有する。隔離板１４が内孔１４１を二つ有することで、蒸気室１６と緩衝室１８は互いに繋ぎ合う。ケース１１は頂面と底面に外界と繋がる外孔１１１を有し、ケース１１は蒸気室１６に対応する送気孔１６２と緩衝室１８に対応する抽気孔１８２を少なくとも一つ有する。 （もっと読む）

【課題】 操作と組み立てが簡単である真空または低圧環境下で気体の操作及び観察を可能にする装置を提供する。
【解決手段】 一側に扁平部１２を有するケ−ス１１を含み、ケ−ス１１は内部に少なくとも一枚の隔離板１４を有することで、内部を分割して気体室１６を形成する。気体室１６は外部に少なくとも一つの緩衝室１８を有し、気体室１６の頂面と底面の隔離板１４は別々に内孔１４２を有する。ケ−ス１１は頂面と底面に別々に外孔１１２を有し、外孔１１２と内孔１４２は同軸で扁平部１２に位置付けられている。ケ−ス１１は、緩衝室１８と繋がる抽気孔１１６と、気体室１６と繋がる送気孔１６６とを有する。 （もっと読む）

【課題】 液体環境を提供できる真空または低圧環境下で液体の操作及び観察を可能にする方法及び装置を提供する。
【解決手段】 ケース１１と、複数の隔離板１２によりケース１１の内部を分割して形成される液体室１４と、液体室１４の外部に形成される少なくとも一つの蒸気室１６と、蒸気室１６の外部に形成される少なくとも一つの緩衝室１８と、液体室１４の頂面と底面との間の隔離板１２に位置付けられる蒸気孔１４１と、隔離板１２に形成されて蒸気孔１４１の上方と下方に位置付けられる二つの内孔１６１と、ケース１１の頂面と底面に位置付けられる外孔１１１とを備える。液体室１４は内部が液体試料により充填され、蒸気孔１４１と内孔１６１と外孔１１１とは同軸に位置し、ケース１１は蒸気室１６に対応する送気孔１６２と緩衝室１８に対応する抽気孔１８２とを有する。 （もっと読む）

【解決手段】 ＳＥＭサンプル容器は、サンプルエンクロージャ（１００，１０２）であって、電子ビーム透過性で流体不透過性の膜（１３２）と、該膜に密封されて該膜と共に前記サンプルエンクロージャを形成する、周囲エンクロージャと、を備える、サンプルエンクロージャと、サンプルエンクロージャとの係合を密封するための迅速接続式アタッチメント（１５２）機能を有する、サンプルエンクロージャの閉鎖部と、を備える。
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