【課題】検査物の急速放電のためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームシステム１００の変調器９００が、インダクタ４００に供給する変調信号を生成するように構成され、インダクタ４００が、この変調信号を受け取って、荷電粒子ビームシステム１００のための供給電圧信号をインダクタンスにより変調する。供給電圧信号の変調により、荷電粒子ビームシステム１００により生成された荷電粒子ビームの焦点距離を変更する。 （もっと読む）

【課題】パルスビームを高周波化できるとともに、パルスビームの最大値や最小値の値を任意にコントロールでき、品質の高い溶接を可能にする電子ビーム加工機を得ることである。
【解決手段】電子銃の陰極とバイアス電極間に電圧を印加して電子ビームを制御するバイアス電源が、直列に接続された、高安定電源と高応答電源とで形成されており、高安定電源が、ビーム電流を計測する電流検出回路から出力されたビーム電流信号に基づき、ビーム電流をフィートバック制御する電圧を出力し、高応答電源が、パルス信号発生器で発生したパルス基準信号により制御されたパルス電圧を出力するものである。 （もっと読む）

【課題】フィラメント電流値を自動的に調整することが可能な電子ビーム加工装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを照射する照射手段（5,1）と、照射手段（5,1）から照射された電子ビームのビーム電流を検出し、該検出したビーム電流実測値とビーム電流指令値との差分に応じたバイアス電圧値を取得する取得手段（3）と、照射手段（5,1）が電子ビームを照射する際に使用するフィラメント電流値を調整する調整手段（4）と、を有し、調整手段（4）は、取得手段（3）が取得した複数のバイアス電圧値を基に、バイアス電圧値の変化率を算出し、該算出したバイアス電圧値の変化率が所定の目標値に収束するように、フィラメント電流値を調整する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ビーム条件が変化するごとにエネルギー幅や分解能等を測定することなく、これらのパラメータを容易に把握することが可能な電子顕微鏡の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、電子銃と、当該電子銃から放出される電子の条件を調整する調整素子と、当該調整素子条件を設定する設定装置を備えた電子顕微鏡において、前記設定装置によって設定される調整素子条件に対する前記電子銃から放出される電子のエネルギー幅、或いは分解能に関する情報、或いは前記調整素子条件と前記エネルギー幅、或いは分解能との関連式を記憶する記憶媒体と、前記設定装置による前記調整素子条件の設定に基づいて、前記記憶された、或いは前記関連式に基づいて演算されるエネルギー幅、或いは分解能に関する情報を表示する表示装置を備えたことを特徴とする電子顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【目的】描画中に電子ビームの電流密度調整を行なうことが可能な装置及び方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の描画装置１００は、電子ビーム２００を照射する電子銃２０１と、制御値を入力し、制御値に基づいて電子銃２０１を制御する電子銃電源２３０と、試料への描画が行なわれている間に、複数回電子ビーム２００の電流密度を測定する電流密度測定部２４２と、電流密度の測定毎に、電流密度が略一定になるように、測定された電流密度に応じて変化する上述した制御値を演算し、演算の都度、制御値を電子銃電源２３０に出力するＰＩＤ制御部２４４と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、描画中、電子ビームの電流密度を略一定に維持することができる。 （もっと読む）

【課題】電圧印加ユニットの耐電圧性を維持しつつ、軸方向及び径方向ともに小型化することである。
【解決手段】真空容器２と、その真空容器２内に設けられる電極８と、前記真空容器２の外壁２１に設けられ、外部から前記電極８に電圧を印加するための高電圧印加ユニット４と、を備え、前記高電圧印加ユニット４が、一端が大気側に、他端が真空側に設けられて、当該他端が前記電極に電気的に接触して電圧を印加する高電圧印加端子４１と、前記高電圧印加端子４１が貫通して設けられ、一端が大気側に、他端が真空側に設けられる絶縁性を有する絶縁体４２と、前記絶縁体４２が貫通して設けられ、前記真空容器の外壁２１に気密に取り付けられるフランジ部４３と、を備え、前記フランジ部４３から大気側及び真空側に突出した前記絶縁体４２の外側周面４２ａを非接触状態にして、さらに、前記絶縁体４２の外側周面４２ａに凹凸部を設けていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エミッション電流の変化に対応し、安定した電子ビームを放出することができるように制御可能なマルチコラム用電子ビーム生成装置を提供すること。
【解決手段】マルチコラム用電子ビーム生成装置は、一つの加速電圧源により負の加速電圧が印加され、熱電子を発生させる複数のカソードと、前記複数の各カソード毎に、前記カソードから放出された前記熱電子を集束させ、電子ビームを形成するグリッドと、前記グリッドに前記カソードの電位に対して負の電位を与えるグリッド電圧源と、前記加速電圧源に接続され、前記グリッドの電位を制御する制御回路とを有する。前記制御回路は、前記グリッド電圧源の正極側とカソードの間に接続された電流方向規制素子を有し、前記グリッド電圧源から供給されるグリッド電流を、前記電流方向規制素子を介してカソードに流すようにしている。 （もっと読む）

【課題】煩雑な操作を必要とすることなく電子銃のバイアス電圧が最適に設定されるように制御することができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】フィラメントとウェネルト電極との間に配置された複数の抵抗値が異なる抵抗を備えた電子銃においてフィラメントからのエミッション電流を制御する方法であって、加速電圧範囲を前記抵抗の数と同数の領域に分割する設定を受け付け、前記加速電圧領域の大小に応じた抵抗値を有する抵抗が当該加速電圧領域に対して用いられるように抵抗を切り替える。 （もっと読む）

【課題】 電界放射型電子銃を用いた電子線装置において、エミッション電流の測定を正確に行えるようにする。
【解決手段】
エミッション電流Ｉｅを検出するための抵抗値Ｒｅを持つ検出抵抗５と、検出抵抗５の両端間に電圧降下により生じる電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）を検出する計測回路６と、電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）に基づいて補正電圧Ｖｅを決めるための演算回路12と、基準電圧電源の出力電圧Ｖｒ（負極性）と補正電圧Ｖｅ（正極性）を加算して加速電圧電源９に入力するための加算器11を備える。
これにより、電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）と加速電圧電源９の出力電圧Ｖａを加算した電圧が実際の電子銃に印加される所望の加速電圧となるので、加速電圧に電圧降下の影響を及ぼすことなくエミッション電流を正しく計測できる。 （もっと読む）

【課題】 ウエネルト電極における放電を抑制してＬａＢ₆ 等のエミッタを長期にわたり安定に使用することができ、エミッタの長寿命化及び動作の安定化をはかる。
【解決手段】 荷電粒子を放出するエミッタ１１と、このエミッタ１１を加熱するための加熱電源１５と、エミッタ１１との間に加速電圧が印加され、エミッタ１１から放出された荷電粒子を外部に引き出すための陽極１３と、エミッタ１１からの荷電粒子の放出量が一定となるように、エミッタ１１との間にバイアス電圧が印加されるウエネルト電極１２と、を備えた荷電粒子発生装置において、バイアス電圧の時間的変化率が所望の範囲内となるように、加熱電源を制御してエミッタ１１の設定温度を調整する。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡の加速電圧のノイズを小さくして高分解能電子顕微鏡像の分解能を向上させる。
【解決手段】電力伝送回路7のトランスとシールド間との容量結合電流によるノイズの影響を避けるために、二次電池16等の充放電を行う電気素子を用いた直流電源を設ける。接地電位に配置した伝送ＯＮ／ＯＦＦスイッチ15により切替スイッチ17を動作させ、トランスを用いた従来の直流高電圧発生回路との切替えを行う。高分解能を必要とするデータの取得は二次電池16を用いた直流電源を使用して行い、従来の直流高電圧発生回路を使用している間は、充電回路19により二次電池16を充電しておく。 （もっと読む）

【課題】電子線発生のためのフィラメントは加熱のためにかなりの電力を要求する。フィラメント加熱のために大地側にモータ、高圧側に発電機、その間に絶縁棒を用いた機構が用いられる。絶縁棒の加工、設置に時間がかかりモータ、発電機は広いスペースを必要とする。電子線発生の為の電力を節減し電子線照射装置の小型化を図ること。
【解決手段】電子源として冷陰極を用い、陰極用電源として光伝送を用いる。大地側に発光素子よりなる光源と、高圧側に光電パネルを設け光によってエネルギーを伝える。冷陰極と引出電極の間に電圧を印加し、それによって電子線を引き出す。印加される電圧により発生する電子流が制御される。モータ、発電機、絶縁棒のような機械部分がないので高圧架台の必要な容積を減らすことができる。小型化が可能な電子線照射装置である。 （もっと読む）