【課題】高純度の多価イオンを取り出すことができるイオン源を提供する。
【解決手段】イオン源１０は、レーザ１３が照射されると電子と陽イオンに電離したプラズマ１４を生成するターゲット１２と、このターゲット１２の電位を陽イオンの出射目標（加速チャンネル１８）よりも高く設定する第１電源（第１電圧Ｅ₁）と、この陽イオンがターゲット１２から出射目標（加速チャンネル１８）に至る経路上（フィルタ電極１５）の電位をターゲット１２の電位よりも高く設定する第２電源（第２電圧Ｅ₂）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 不要なイオンの放出を抑制することができ、不要なイオンによる下流の線形加速器側の汚染を低減する。
【解決手段】 レーザ光の照射によりイオンを発生させるレーザ・イオン源であって、真空排気される容器１０と、容器１０内に配置され、レーザ光の照射により多価イオンを発生するターゲット２１が収容された照射箱２０と、照射箱２０からイオンを静電的に引き出し、イオンビームとして容器１０の外部に導くイオンビーム引き出し部１２と、照射箱２０から引き出されたイオンビームを静電力により収束する静電レンズ５１と、静電レンズ５１の下流側の位置に設けられ、該位置で収束されたイオンビームを通過させるアパーチャ５２とを備えた。 （もっと読む）

励起したおよび／または原子状態のガスの注入を利用するイオン源を開示する。イオンビームに適用する場合、ソースガスはそのまま使用して従来どおり供給する。代替的にまたは付加的に、ソースガスをイオン源チャンバに導入する前にリモートプラズマ源を通過させることにより変質させることができる。これにより励起中性種、重イオン、準安定分子、または多価イオンを生成することができる。他の実施形態において、複数のガスを用い、１つ以上のガスがリモートプラズマ源を通過するようにする。特定の実施形態においては、複数のガスをイオン源チャンバへ供給する前に単一のプラズマ源において混合する。プラズマ浸漬に適用する場合、１つ以上の追加ガス注入箇所を介して、プラズマをプロセスチャンバに注入する。これら注入箇所により、プロセスチャンバの外部におけるリモートプラズマ源で生成した追加プラズマの流入が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 十分なビーム強度が得られる多価イオン源を提供すると共に、その多価イオンビームを制御し、照射位置を制御して、効率よく精確に照射することができる多価イオンビーム照射方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 多価イオンを発生させる多価イオン源と、その多価イオン源から導出された多価イオンビームを試料に向けて誘導するビームガイドと、試料を保持する試料保持部とを少なくとも備える多価イオンビーム照射装置において、試料に対向するビームガイド端部と試料保持部とを、支持すると共に並進移動させて位置調整する基盤ステージと、試料保持部に対してビームガイド端部を相対的に、２次元で並進移動させて位置調整するＸＹステージと、試料保持部のみを独立に、ＸＹステージの移動方向と略垂直なＺ方向へ並進移動させて位置調整するＺ並進移動機構とを有する照射位置制御部を設ける。 （もっと読む）

【課題】純度良好な高融点重元素の蒸気を供給し、消費電力が少なく、小型で簡単な構造の蒸発源を提供する。
【解決手段】外部に供給する蒸気を発生させるために加熱の対象とされるイオンの原料物質を周囲と非接触となる状態で配置するイオンの原料物質配置部と、イオンの原料物質から発生した蒸気を外部に送出するための蒸気送出通路と、イオンの原料物質配置部および蒸気送出通路を真空に保持する真空保持部と、イオンの原料物質の外周に配置される高周波コイルと、高周波コイルに、イオンの原料物質を直接加熱して蒸気を発生させるために高周波を流す高周波供給部とを有していることを特徴とする蒸発源。蒸発源は、内部にイオンの原料物質が配置されることにより、イオンの原料物質配置部と蒸気送出通路を兼ねる円筒状の熱シールド部を有し、高周波コイルは、熱シールド部の外周に、円筒の長さ方向に沿って螺旋状に巻付けられていることを特徴とする蒸発源。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易で、操作性及び保守性に優れ、電離度が高く、ビーム強度の大きい多価イオン発生源とそれを用いた荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】 多価イオン発生源は、電子源４とイオン閉じ込め領域となるドリフトチューブ５とコレクタ６とからなるイオン源電極３と、イオン閉じ込めのための超伝導磁石１１と、イオン導入手段２０，２２と、さらにイオン源電極３を収容した第１の真空容器２と、超伝導磁石１１を収容した第２の真空容器１０と、第１の真空容器及び第２の真空容器にそれぞれ配設した真空排気装置１５，１６とで成る。第１の真空容器２と第２の真空容器１０は着脱可能であり、極高真空が必要なイオン源電極３のみを容易にベーキングできる。 （もっと読む）

【課題】 完全電離したイオンやＨ、Ｈｅ様の高イオンを生成できるジャイラック加速電子型ＥＣＲイオン源を提供する。
【解決手段】 プラズマを収容するプラズマチェンバー２２と、該プラズマチェンバー２２の軸方向にプラズマを閉じ込めるためのミラー磁場を発生するソレノイドコイル２４と、径方向にプラズマを閉じ込める多極磁場発生磁石２６と、プラズマチェンバー２２の外周に配置され、ミラー磁場のピーク部分を一時的に減衰させるパルス磁場を生成し、電子をジャイラック加速するパルスコイル２６と、プラズマチェンバー２２に高い高周波を供給する高い高周波電源４０と、高い高周波導波管４２と、プラズマチェンバーに低い高周波を供給する低い高周波電源５０と、低い高周波導波管５２とを備え、ジャイラック加速の原理により電子を加速し、多価のイオンを生成するように構成した。 （もっと読む）

【課題】所定の価数に制御された低速多価イオンビームを効率よく発生する。
【解決手段】多価イオンを発生させる多価イオン生成手段と、多価イオン生成手段により発生された多価イオンのなかで所定の価数の多価イオンのみをトラップするとともに、トラップした多価イオンを所定の運動エネルギーで所定の方向に出射するトラップ制御手段とを有し、多価イオン生成手段は、高強度レーザーによってプラズマを発生させて低速多価イオンを生成するようにした。 （もっと読む）