【課題】本発明は、部品数が少なく、構造が簡単で低コスト化できる電子顕微鏡の真空排気装置を提供することを目的とする。
【解決手段】電子銃や電子線の偏向制御手段が備わる高真空部側の鏡体と電子線が照射される試料を置かれる低真空部側の試料室を有する電子顕微鏡と、電子線を通過させ、試料室から鏡体に向かう気体の流れを抑えて鏡体と試料室の差動排気圧力を保つオリフィスと、高真空用吸込口と低真空用吸込口と排気口を有するターボ分子ポンプと、鏡体と高真空用吸込口を連通する高真空排気路と、試料室と低真空用吸込口を連通する低真空排気路とを有する電子顕微鏡の真空排気装置。 （もっと読む）

【課題】スループット良く且つ高精度で試料の欠陥の検出が可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、真空状態のワーキングチャンバ３０と、Ｌ_aＢ_６電子源を備えた電子光学装置７０と、ワーキングチャンバへウェーハを搬出入するローダハウジング４０と、ワーキングチャンバに接続され、内部が雰囲気制御されているミニエンバイロメント装置２０と、を備える。ローダハウジング４０は、ミニエンバイロメント装置２０に接続する第１のローディングチャンバと、ワーキングチャンバに接続する第２のローディングチャンバと、第１及び第２のローディングチャンバの間の連通を選択的に阻止する第１のシャッタ装置２７と、第２のローディングチャンバとワーキングチャンバとの間の連通を選択的に阻止する第２のシャッタ装置４５と、を備え、第１及び第２のローディングチャンバには各々真空排気配管と不活性ガス用のベント配管とが接続される。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、最小限のポンプで、電子銃室の高真空排気と低真空排気を可能とする真空排気システムを備えた電子顕微鏡の提供にある。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、電子顕微鏡の電子銃室を高真空排気する第１のポンプと、当該第１のポンプの背圧排気と試料室の低真空排気を併せて行う第２のポンプを設けた。このような構成によれば、高真空排気を行うポンプと、高真空排気を行うポンプの背圧排気を行うポンプによって、従来３台で行っていた真空排気を実行することが可能となるため、省電力，省スペース化を実現することが可能となる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子線を細く絞って試料に照射しつつ平面走査し、放出された２次電子あるいは反射された反射電子を検出して画像を生成する走査型電子顕微鏡の試料室差動排気装置に関し、小さな排気系で差動排気性能を有効活用し、試料室の真空を低真空にしても２次電子や反射電子を検出する検出器の寿命を大幅に向上させることを目的とする。
【構成】 試料を配置する試料室と試料室に配置した試料に電子線ビームを照射して放出された２次電子あるいは反射された反射電子を検出する検出器との間に設けた、差動排気するための複数段のオリフィスと、複数段のオリフィスの部分に直接に接続した排気系と
からなる試料室差動排気装置である。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを放出中であっても高真空を維持可能で小型の荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の電子光学系の差動排気の上流に非蒸発ゲッターポンプを配し，下流に必要最小限のイオンポンプ配して，両者を併用する。さらに，磁界重畳型電子銃では取り外し可能なコイルを電子銃部に実装することにより，小型化と簡便な保守を可能にする。
【効果】カラム内の真空度を１０^−８Ｐａ台の高真空で維持できる小型荷電粒子線装置，例えば，小型の走査型電子顕微鏡，複数のカラムを有する荷電粒子ビーム装置を得ることができる。さらに，半導体の電気特性を直接計測するプローバ装置の探針の位置をモニタする小型ＳＥＭカラムを容易に内蔵できる。その他にも，半導体素子検査用のミラープロジェクション方式の電子線検査装置の電子線照射カラムの小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 チャンバ内に塵埃が発生しないビーム装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
一面が開放面７ａとされ、開放面７ａに向かってビームが照射される試料チャンバ（第１のチャンバ）７と、試料チャンバ７の開放面７ａを覆うように配置され、試料チャンバ７の開放面７ａより大きな形状で、開放面７ａと対向する面側に試料が載せられるステージ７０と、試料チャンバ７外に設けられ、試料チャンバ７の開放面７ａ側の端面７ｂと平行な平面上で、ステージ７０を移動させるステージ駆動手段２００と、ステージ７０を試料チャンバ７の開放面７ａ方向に付勢する排気手段（付勢手段）と、試料チャンバ７の開放面７ａ側の端面７ｂに設けられ、空気圧によりステージ７０と試料チャンバ７の端面７ｂとの間隔を一定に保持する静圧パッド（第１の静圧パッド）８とを有する。 （もっと読む）

【課題】 炭素系材料に対してナノメートルレベルの超微細加工を、その場で確実に確認して加工操作を行い得るようにした、炭素系材料の信頼性に富んだ超微細加工方法を提供する。
【解決手段】 走査型電子顕微鏡を用い、電子顕微鏡を差動排気機構によって、真空度、雰囲気ガスを自在に調整可能とし、電子線を照射することによって被検体炭素材料を高真空下で高分解能に観察することができるとともに、加工の際には、高真空を低真空に切換えて、炭素材料に電子線を照射し、プラズマイオンによって電子線照射された限定された帯電領域をスパッターあるいは酸化燃焼させ、加工領域をナノメートルからミクロンの広範な領域に適宜調整することによって、超微細加工を行い得るようにした。 （もっと読む）

【課題】高真空用メインポンプと補助真空ポンプの真空度が大きく低下することによる、両ポンプの排気機能低下や性能劣化などの問題が生じない電子顕微鏡分析装置を提供する。
【解決手段】この試料室ＳはバルブＶ６を介してガスまたは空気が導入されるとともに並列に接続された三本の排気管Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３を介して前記補助真空ポンプＲＰと連結されている。これらの排気管Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３にはそれぞれバルブＶ１、Ｖ２、Ｖ３が介設されていて、それらの開閉によって選択される。排気管Ｄ１にはオリフィスＣ１が介設され、排気管Ｄ３にはオリフィスＣ３が介設されている。他方排気管Ｄ２にはオリフィスは介設されていない。これらのいずれかの排気管Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３を介して排気できるよう構成されている。それぞれのポートにバルブとコンダクタンスの異なるオリフィスなどを設けて、バルブで使用するポートを選択して、低真空部の真空度を切替えて制御する。 （もっと読む）

【課題】磁気レンズよりも真空条件が厳しい静電レンズでも差動排気が可能な電子線装置を提供する。また、差動排気装置を組み込んでも対物レンズと検査対象との距離を短くできて、対物レンズの色収差を小さくできるようにする。
【解決手段】電子銃２及び前記電子銃から放出された一次電子線を検査対象に照射する静電レンズより成る対物レンズ７を有する電子光学系と、前記対物レンズの外側に配置された差動排気系の排気ヘッド１２と、を備えた電子線装置１に関する。その電子線装置において、前記対物レンズ７の検査対象Ｗに最も近い電極と前記検査対象との間の間隔は、前記差動排気系の排気コンダクタンスを制限する前記排気ヘッドの部材と前記検査対象Ｗとの間の距離ｄ１〜ｄ３と同程度、或いはそれより小さくした。 （もっと読む）