【課題】電子線を走査して試料を観察するにあたって、高い分解能を有するとともに、電子線の走査に要する時間を短くできる試料観察装置を提供する。
【解決手段】ステージに載置された試料ＳＭに電子線ＩＢを照射して、試料ＳＭからの電子線を検出することにより試料を観察する電子線検査装置に於いて、１つの電子筒体５０は、試料ＳＭに照射される複数の電子線ＩＢ及び試料ＳＭからの電子線が通る電子線路を形成する複数の電子線照射検出系により構成される。ここで、複数の電子線照射検出系を同時に用いることで、検査の高速化を実現する。 （もっと読む）

【課題】電気的絶縁性を保持しつつ、高い真空度で配管などを接続可能な真空接続装置を提供する。
【解決手段】対向するフランジ３、４は、これらの間に絶縁スペーサ１２を挟み、ボルト９とナット１０で締結することにより真空シールされる。座金７は絶縁性の樹脂からなり、ボルト９は絶縁性の樹脂１１で被覆されている。フランジ３、４の各対向面には、エッジ１３、１４が設けられており、エッジ１３、１４からフランジ３、４の各外周部に向かってテーパ部１５、１６が形成されている。テーパ部１５、１６によって挟まれた空間には、樹脂ガスケット５が介装されている。樹脂ガスケット５は、エッジ１３、１４より外周部側の空間内に留まっているようにする。樹脂ガスケット５は、テフロン（登録商標）からなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】大量に保持体を形成できる試料保持体、同保持体を用いた試料観察・検査方法、及び、試料観察・検査装置を提供する。
【解決手段】開口１５０ｂが形成された本体部１５０ａと、開口１５０ｂを覆う試料保持膜１５０ｃとを備える試料保持体１５０を用い、支持手段３１１への接触により支持された状態で、試料保持体１５０の試料保持膜１５０ｃにおける開放された第１の面に保持された試料３１５に、試料保持膜１５０ｃにおいて真空雰囲気に接する第２の面側から、試料保持膜１５０ｃを介して、試料観察又は検査のための一次線３２０が照射可能である。 （もっと読む）

【課題】従来の高真空型荷電粒子顕微鏡の構成を大きく変更することなく、被観察試料を大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子顕微鏡を提供する。
【解決手段】真空雰囲気と大気雰囲気（ないしガス雰囲気）を仕切る薄膜を採用する構成の荷電粒子線装置において、上記薄膜を保持でき、かつ内部を大気雰囲気あるいはガス雰囲気に維持可能なアタッチメントを高真空型荷電粒子顕微鏡の真空試料室に挿入して使用する。当該アタッチメントは、上記真空試料室の真空隔壁に真空シールされて固定される。アタッチメント内部をヘリウムや窒素あるいは水蒸気といった大気ガスよりも質量の軽い軽元素ガスで置換することにより、更に画質が向上する。 （もっと読む）

【課題】 観察対象物に加工を施すことなく現状状態そのままでの観察を可能とする走査型電子顕微鏡の提供。
【解決手段】 鏡筒の開口先端部に観察対象物と接触させるシール部材を設け、真空ポンプにより鏡筒内が真空に引かれた場合にシール部材を介して当該鏡筒に観察対象物を吸着させ、鏡筒を観察対象物に直接接触させた状態で密着固定するようにした。すなわち、試料室がないかわりに吸着により観察対象物と鏡筒とが相対的に移動しないように密着固定させる。こうすると、試料室がないにも関わらず、鏡筒内を真空状態に確保することができ、また振動により鏡筒と観察対象物とは相対的に移動しないことから観察時の悪影響が生じない。こうして鏡筒を観察対象物に対し直接マウントすることで、従来では試料室に入りきらない観察対象物であっても加工を施すことなく現状状態そのままで観察を行うことができるようになる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルを提供すること。
【解決手段】荷電粒子ビーム・システム用の環境セルは、Ｘ−Ｙステージ上に取り付けられたセルと集束カラムの光軸との間の相対運動を可能にし、それによってセル内に副ステージを配置する必要性を排除する。後退可能な蓋などの柔軟なセル構成は、ビーム誘起プロセスおよび熱誘起プロセスを含むさまざまなプロセスを可能にする。荷電粒子ビーム・システム内において光電子のガス・カスケード増幅を使用して実行される光子収率分光法は、セル内の材料の分析およびセル内の処理の監視を可能にする。後退可能な鏡を使用してルミネセンス分析を実行することもできる。 （もっと読む）

【課題】封止リングの劣化を検知する。
【解決手段】封止リング１１は、環状の本体部１５と、本体部１５に埋設された導線１３と、を有し、導線１３の両端部１３ａ、１３ｂがそれぞれ本体部１５外に引き出されている。導線１３の導通状態を検出し、この検出結果を判定することにより、封止リングの劣化を検知することができる。 （もっと読む）

【課題】回転、開閉する真空チャンバを、気密性を維持しつつ回転動作をスムーズに行えるようにする。
【解決手段】減圧可能な試料室２１を構成する胴部２４の開口端を開閉自在に閉塞する蓋部２７と、胴部２４を回転させるための回動手段とを備えており、蓋部２７は、胴部２４の開口端を閉塞する閉塞板２８と、閉塞板２８を開放位置、閉塞位置に切り替えるための蓋開閉手段と、閉塞板２８の円盤状の略中心を回転軸として、蓋開閉アーム２９上で閉塞板２８を回転自在に支承する蓋回転軸１４２と、閉塞板２８が開放位置にあるとき、閉塞板２８の回転軸が胴部２４の回転軸と閉塞位置において略一致させる位置となるように閉塞板２８の姿勢を保持すると共に、閉塞板２８が開放位置から閉塞位置に切り替えられると、該保持状態を解除するよう、蓋回転軸１４２を保持する保持機構１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】真空シール部および配管接続部が簡単な構造であって、配管接続部のシール強度が大きく、メンテナンス容易である真空シールおよび配管接続機構を提供する。
【解決手段】真空容器１に挿通する第一のパイプ２の大気側端部に、流体を供給するための第二のパイプ２０をＯリング５２とともに接続し配管接続部を形成する。そして、第一のパイプ２をハウジング２１を介して真空容器１に固定し、Ｏリング５０、５１を用いて真空シール部を形成する。さらに、第二のパイプ２０の鍔部２４とハウジング２１とをスタッド２６により連結する。 （もっと読む）

【課題】 一定のユーセントリックポイントを維持しつつシステム操作中にもかかわらずカラム傾斜角度の範囲に亘ってカラムを傾斜できるシステムと方法を提供する。
【解決手段】 カラム傾動装置（２０００）は、第１のサブアセンブリ（２１００）と第２のサブアセンブリ（２２００）を装備する。第１のサブアセンブリ（２１００）は据え置きにされるが、一方、モーター（２２２０）とギアユニット（２２４０）によって第２のサブアセンブリ（２２００）は、ビームが一定のユーセントリックポイントをいつも通るように、第１のサブアセンブリ（２１００）に対して移動する。ビームカラムは、第２のサブアセンブリ（２２００）と共に動くように、それに取り付けられる。真空を維持しながら、両サブアセンブリ（２１００）と（２２００）間の動きを可能にするために蛇腹アセンブリ（２３００）が取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】２個のＯリングからなる二重シール構造のＯリング間の真空引きを低コストに行うことのできる電子線装置を提供する。
【解決手段】電子銃部１６を排気するための第１の真空ポンプＲＰ２と、試料室１２を排気するための第２の真空ポンプＤＰとを設けると共に、電子銃部１６の開閉箇所をシールする二重シール構造の二重Ｏリング空間Ｓ１と第１の真空ポンプＲＰ２を繋ぐ第１の排気経路Ｄ７、Ｄ４と、二重Ｏリング空間Ｓ１と試料室１２を繋ぐ第２の排気経路Ｄ６とを設け、電子銃部１６を開放する際には、第２の排気経路Ｄ６を遮断し、電子銃部１６の閉鎖直後は、第１の排気経路Ｄ７、Ｄ４を連通させて二重Ｏリング空間Ｓ１及び電子銃部１６を第１の真空ポンプＲＰ２で粗引きし、その後、第１の排気経路Ｄ７、Ｄ４を遮断して第２の排気経路Ｄ６を連通させ、二重Ｏリング空間Ｓ１を試料室１２経由で第２の真空ポンプＤＰにより排気する。 （もっと読む）

【課題】高真空下においても良好なシール性能を達成することができる電子線装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＥＰＭＡ１０は、試料を収容する試料室１２、試料室１２内の試料に対して電子線を照射するための電子銃１４を備えた電子銃部１６、電子銃１４から放射される電子線を制御するコンデンサレンズ１８を備えている。電子銃部１６の容器本体４０１と蓋部４０４との間には直径寸法が異なる２個のＯリング７１，７２から成るシール機構７０が設けられている。これらＯリング７１，７２は、容器本体４０１の周壁部の上端面の段違い面７３と蓋部４０４下面の段違い面７４との間に設けられている。また、容器本体４０１の段違い面７３の下段と上段との間には環状の排気溝７７が形成されている。容器本体４０１の周壁部には前記排気溝７７と外部とを連通する排気通路７８が形成されており、該排気通路７８は排気管７９を介して真空ポンプ８０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】真空容器への適用が可能で、設計自由度及び設置の自由度が高く、メンテナンス性の良い２軸ステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る２軸ステージ装置は、Ｙ軸方向に移動可能なＹテーブル４と、Ｙテーブル４上に載置された中間テーブル１５と、中間テーブル１５上に載置され、該中間テーブル１５上に設けられたＸ方向ガイド１１によってＹ軸方向と直交するＸ軸方向に移動可能なＸテーブル９を有している。Ｙ送りねじ５はＹモータ２の回転をＹ軸方向への直線運動に変換し、Ｙテーブル４をＹ軸方向に移動させる。一方、ボールスプライン軸１４はＸモータ７によりＹ軸方向を回転中心として回転する。スプラインナット１４１には歯車１３が固定されており、この歯車１３とＸテーブル９に固定されたラック１２によってボールスプライン軸１４の回転がＸ軸方向への直線運動に変換され、Ｘテーブル９をＸ軸方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子リソグラフィ装置と、真空チャンバー内の真空を生成する方法を提供する。
【解決手段】内部空間を取り囲む複数の壁パネル（５１０）を備えている真空チャンバー（４００）であり、壁パネルは、所定の配置で壁パネルを設置するための複数の接続部材（５０４，５２４，５２８）を使用してチャンバーに取り外し可能に取り付けられてチャンバーを形成する。真空チャンバーは、壁パネルの端に設けられた一つ以上のシール部材（５２２）をさらに備えている。壁パネルは、内部空間に真空を形成する結果として壁パネルの端に真空密接シールが形成されるように配置される。
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【課題】 真空容器内の汚染を低減させる。
【解決手段】 真空装置の１つである走査型電子顕微鏡において、鏡筒５の外周部の一部Ａと接する孔４ａの周縁部Ｂに形成されたリング状の溝Ｍ１に、表面にイオン液体ＩＬ１が塗布されたオーリングＯ１′が篏入されており、両部材Ａ，Ｂをボルト等によって締結されることにより、オーリングＯ１′は変形し、両部材Ａ，ＢとオーリングＯ１′との接触面の周囲の空隙にイオン液体ＩＬ１を存在させた。 （もっと読む）

【課題】イオン注入装置等に用いられる機械的走査機構のための真空シール装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ２４内のワークピースホルダー１０を支持する可動部材（シャフト）１１を、真空チャンバ壁に設けたシールプレート２１の開口を通じて真空チャンバ外に延在させる。前記開口を真空シールするとともに、前記可動部材１１を注入角（チルト角）の設定のためにＸ軸の周りに回転させること、およびＹ方向の機械的走査のために往復運動させることを可能にする差動排気非接触真空シール（空気軸受）を設け、大気圧が前記可動部材１１に対して作用する方向がＸ軸方向と一致するようにした。 （もっと読む）

【課題】イオン注入装置において、ウエハホルダーを機械的走査するために用いられる真空シール構造を提供する。
【解決手段】ウエハホルダー１８０の走査アーム６０は直交する二方向（ＸＹ方向）に移動される。真空チャンバー壁に取り付けられたロータリープレート５０に対して、摺動部材（スレッジ）がＹ方向に往復移動される。アーム６０はリニアモーター９０Ａ，ＢによってＸ方向に往復移動される。アーム６０はジンバル型エアベアリングを用いてスライド１００に対して片持梁支持される。フィードスルー１３０は真空シール及び摺動のためのガイドとして機能する。 （もっと読む）

【目的】数度の開閉を行なうことが可能なナイフエッジ型のメタルシール機構を備えた光学鏡筒及びその光学鏡筒を用いた方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の光学鏡筒１１２は、耐食材料でめっきされ、めっき後の先端部が半径０．０８〜０．１２ｍｍの曲面に形成された環状のシールエッジ部と、シールエッジ部と一体で形成され、シールエッジ部の外周側に形成されたフランジ部と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、数度の開閉に対して、エッジの変形やめっき膜剥がれを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】外部から真空チャンバ内に引き込まれた移動体に外力を作用させることなく、真空チャンバと移動体との間を気密する。
【解決手段】
ガイド部材５１の一側及び他側と、スライダ６０のバランスプレート６０ｂの一側と他側とに、伸縮可能で相互に外径の異なる第１ベローズ６１及び第２ベローズ６２の一側と他側をそれぞれ固定することで、ガイド部材５１の内部を第１ベローズ６１と第２ベローズ６２とに囲まれる空間Ｖ２、Ｖ３と、その他の空間Ｖ１の相互に気密された３つの空間Ｖ１〜Ｖ３に分割する。そして、空間Ｖ１の内部圧力を調圧ユニット８０によって調圧することで、中空シャフト５２Ａの位置に応じて作用する第１ベローズ６１と第２ベローズ６２の復元力の合力と、空間Ｖ１,Ｖ２相互間の差圧等によって移動体に作用する外力をキャンセルする。 （もっと読む）