【課題】 電子ビームを試料上で傾斜させて走査した場合でも、主ビームが常に円環状の暗視野走査像検出器の中心を通るようにすることができる走査像観察機能を有した透過型電子顕微鏡を実現する。
【解決手段】 第１の偏向手段２５により、電子ビームを試料７に対して斜めに入射させ、斜め照射の状態を保ったまま２次元走査を行うようにした。したがって、試料７を透過した主ビームは、点線で軌道を示すように、暗視野走査像検出器１０の環状の検出面の中心から外れた位置を通過する。本実施の形態では、試料７と暗視野走査像検出器１０との間に、試料に照射される電子ビームの傾斜角に応じた電子ビームの振り戻しのための走査信号を制御部１２が作成し、第２の偏向手段２８による２段偏向により、主ビームの軌道は振り戻され、暗視野走査像検出器１０の環状の検出面の中心を必ず通過することになる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は電子顕微鏡に関し、電子線を照射した際に発生するＸ線を安全かつ確実に遮蔽することができる電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料に電子線を照射する電子顕微鏡において、鍵を用いて高圧のオン／オフを行なう第１のスイッチと、前記鍵を共通に用いて操作室のオン／オフを行なう際に動作する第２のスイッチと、操作室の開閉を行なう際に動作する第３のスイッチとを設け、これら第１のスイッチから第３のスイッチまでは論理積動作により高圧電源又はフィラメントを制御するようにした構成において、前記第１のスイッチから第３のスイッチまでのうち、少なくとも２個のスイッチを用いて前記高圧電源又はフィラメントを制御するように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高精度な制振性能を有する荷電粒子線装置を提供することを目的とする。
【課題手段】本発明は、定盤および試料室の振動を検知する第１の検知センサーと、鏡体の振動を検知する第２の検知センサーと、定盤に抑制振動を加えるアクチュエーターと、抑制振動の駆動量を計算する演算制御部とを有する荷電粒子線装置において、演算制御部は第１の検知センサーおよび第２の検知センサーの検知信号に基づいて、鏡体の振動と定盤および試料室の振動とを抑制する抑制振動の駆動量を状態フィードバック制御則により求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は透過電子顕微鏡試料位置検出方法及び装置に関し、激しいノイズやシェーディングを含むような画像においても、ＴＥＭ試料の金属部分と孔の部分を正確に識別することができる透過電子顕微鏡位置検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 ＴＥＭ１と、該ＴＥＭ１をコンピュータ３から制御するインターフェイス、と、ＴＥＭ像を撮影するディジタルカメラ４と、該ディジタルカメラ４からの信号を取り込むインターフェイスからなる透過型電子顕微鏡において、ＴＥＭ１を制御するインターフェイスと、ＴＥＭ１の像を撮影するディジタルカメラ４からの信号を取り込むインターフェイスを持つコンピュータ３と、ＴＥＭ試料中の電子線が透過可能な位置を検出する透過可能位置検出手段６とを具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】撮像した視野が目的とする形態の検索に適する視野であるか、適さない視野であるかを自動的に判定し、必要な視野のみを効率的に抽出する。
【解決手段】撮像した視野のラインプロファイルを作成し明るさ（階調）を測定する方法、電子光学的条件を変えて撮影した同一視野の２枚の透過像の相互相関を求め、この一致度（相関関数）を見る方法、あるいは条件を変えて撮影した２枚の透過像の位相限定相関を求め、その一致度を見る方法等によって、視野の状態を判定し（Ｓ１７）、観察・検索に適さない場合は次の視野に移動する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、細かい欠陥を高スループット、高信頼性で検査を行う手段を提供し、そのような装置でマスク検査を行う事によりデバイス製造の歩留りを向上させるデバイス製造方法を提供する事を目的とする。
【解決手段】本発明は、上記課題を解決すべく電子銃７１０から放出された電子線をステンシルマスク８００に照射し、ステンシルマスク８００を透過した電子線を電子レンズで拡大して複数の画素を有する検出器で検出して試料の画像を形成する電子線装置である。 （もっと読む）

【課題】 ナノオーダーでの生物現象を高時間分解能で計測する。
【解決手段】 反射型電子顕微鏡４は、バイオセル１２の表面に入射線１５を照射し、その反射散乱線２１の二次元強度分布である連続画像を撮影する。透過型電子顕微鏡５は、反射型電子顕微鏡５による撮影終了後に、静止したバイオセル１２の表面１２ａの三次元形状と、静止した生体試料１１の三次元形状を撮影する。解析装置は、反射型電子顕微鏡４及び透過型電子顕微鏡５の撮影した画像に基づいて、反射型電子顕微鏡４の撮影開始時刻から撮影終了時刻までの生体試料１１の変形及び運動を計算する。 （もっと読む）

【課題】積層薄膜の極微小領域での測長を高精度に行う。
【解決手段】本発明は、測定条件を入力するステップ、電子線源から電子線を発生し、収束レンズにより電子線を試料に収束するステップ、結像レンズ系により試料を透過した電子線を拡大して試料の拡大像を結像するステップ、元素分析器により上記試料の元素分布像を取得し、取得した元素分布像を表示するステップ、元素分布像を測長するステップ、及び上記測定条件を補正するステップを含む薄膜評価方法に関する。更に、この評価方法を実施するための評価装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】 電子線回折像の観察領域を重複及び欠落なしに、見つけ出すことができる透過型電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 電子線回折モードにて、視野絞りの孔径を視野絞りの孔における像の拡大率によって除算した値を単位として、試料ステージを移動させる。電子線回折象に、回折スポット像が出現したら、周期構造であると判定し、目的とする視野を見つけ出したことになる。周期構造であると判定したら、電子線回折像、及び、制限視野像を、試料ステージの位置を含む観察条件、Ｘ線スペクトル等と共に１つのデータ群として保存する。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも像質の良い３次元像像を得ることができる３次元像構築方法および透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 各試料傾斜角度においてＴＥＭ像を撮影する際、デフォーカス量Δｆが複数のデフォーカス量Δｆ_１，Δｆ_２，Δｆ_３に変えられて像撮影が行われる。これらのデフォーカス量は予め求められて、デフォーカス量記憶回路１２に記憶されている。３次元像構築にあたっては、画像メモリ１５に記憶された画像データがＣＲＴ２０に送られ、デフォーカス量Δｆ_１，Δｆ_２，Δｆ_３のもとで撮影されたＴＥＭ像がＣＲＴ２０上に表示される。各試料傾斜角度につき１枚の最適なＴＥＭ像がオペレーターの目視判断によって選択され、３次元像構築回路１６は、その選択されたＴＥＭ像に基づいて３次元像を構築する。 （もっと読む）

電子エネルギー損失画像および／またはスペクトルを得るための本発明デバイスは、画像センサー（１７）、画像センサーの少なくとも二つの感光部分を交互に露光するための少なくとも二つの偏向器（４８ａ，４８ｂ）のための制御装置（３１）、画像センサーの各感光部分によって捕捉された画像を表わす信号を発生するためのセンサー読取り手段、前記感光部分の露光と各感光部分のために他の感光部分の読取りを連続制御するための偏向器と前記読取り手段を同期化する手段（３１）、およびスペクトルが形成されるように二つの画像部分を合成するための手段（３５）を備えている。
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【課題】 試料上での電子線照射位置に関係なくＥＥＬＳプロファイルを得ることができる電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 スペクトラム位置補正信号供給回路２３は、スペクトラム（Ｓｐ_１，Ｓｐ_２，…Ｓｐ_ｎ）をＣＣＤカメラ１３の中央に投影させるためのスペクトラム位置補正信号Ｈを駆動アンプ１８に供給する。このスペクトラム位置補正信号Ｈは、スキャンジェネレータ１９から駆動アンプ１５に供給される電子線偏向信号Ａ’、中間レンズ励磁信号供給回路２１から駆動アンプ１６に供給される励磁信号Ｂ’、および投影レンズ励磁信号供給回路２２から駆動アンプ１７に供給される励磁信号Ｃ’に対応した信号である。投影レンズ１１を通過した電子線はスペクトラム位置移動用偏向コイル１２により偏向され、スペクトラム（Ｓｐ_１，Ｓｐ_２，…Ｓｐ_ｎ）は常にＣＣＤカメラ１３の中央に投影される。 （もっと読む）

【課題】 吸収コントラストの小さい試料を３次元画像として観察可能とする透過型電子顕微鏡を得る。
【解決手段】 対物レンズ６の後焦点を含む所定の領域を通過する電子線と、前記所定の領域外の領域を通過する電子線との間に位相差を生じさせる位相板８を備える。 （もっと読む）