【課題】 荷電粒子線顕微装置において、任意倍率における幾何歪みを高精度に測定し、補正する。
【解決手段】 周期構造を持つ標準試料を基準にした絶対歪みとして第1の倍率における幾何歪みを測定する。幾何歪み測定済の第1の倍率と、幾何歪み未測定の第２の倍率で微細構造試料を撮影する。第1の倍率の画像を第2の倍率まで等方的に伸縮した伸縮画像を生成する。第2の倍率における幾何歪みを、伸縮画像を基準とした相対歪みとして測定する。第1の倍率における絶対歪みと第2の倍率における相対歪みから 、第2の倍率における絶対歪みを求める。以後、第2の倍率を第1の倍率に置き換えて相対歪み測定を繰り返すことにより、任意倍率における幾何歪みを測定し、補正する。 （もっと読む）

【課題】近接場光学顕微鏡の構造観察の分解能が低いという問題を解決することを目的とするものであり、原子を識別できる透過型電子顕微鏡の構造観察のもとで、近接場光学顕微鏡による観察を可能とする複合型顕微鏡を実現する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡３４の試料室３５に近接場光学顕微鏡３６が組み込まれて成り、制御・画像表示用コンピュータ９によって制御され、近接場光学顕微鏡３６は、光源３８と、試料２を保持する基板６を有する試料保持器２３と、光源に接続され試料２に光を照射する手段と、試料２からの近接場光の受光手段及び分光手段と、試料２に対して相対的に受光手段を走査する手段と、を備えており、透過型電子顕微鏡によって試料２の格子像を観察可能とするとともに、該格子像に対応して近接場光学顕微鏡によって試料２の分光分析を可能とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料を透過した電子を用いて観察するＴＥＭやＳＴＥＭ、或いはＳＥＭにおいて、画像のサブミクロンから数１０μｍの微小寸法を高い精度で測定可能にする荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明では、上記目的を達成するために、倍率、或いは寸法校正のための異なる２つの試料が含まれている荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】オートフォーカスを動作させても、画像の明るさが変化することがない透過電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】オートフォーカスによって対物レンズの電流値が変化しても画像の明るさが変化しないように、収束レンズの電流値、電子銃のエミッション電流値、又はＣＣＤカメラのゲインもしくは露光時間を調整することにより画像の明るさを調整する。 （もっと読む）

【課題】ヒステリシスの影響で、視野探しで決めた撮影場所を正しく再現できないという問題を解決するため、モードのループを予め実行してヒステリシスを除去する操作を手動で行うことなく、自動遷移ボタンを用いて行うことのできる、ヒステリシス除去方法を提供する。
【解決手段】ステップＳ２にて、コンピュータ３が本発明のソフトウェアを起動する。具体的に、操作者は、透過型電子顕微鏡１をサーチモード、フォーカスモード、フォトモードのいずれかにした状態で、コンピュータ3上で本発明のソフトウェアを起動する。ステップＳ３にて、ソフトウェアは、現在のモードの読み取りを行う。具体的に、ソフトウェアは透過型電子顕微鏡１から現在のモードを読み取り、「次のモードに遷移」と書かれたボタン、「確認作業開始」と書かれたボタン、「終了」と書かれたボタンを表示する。 （もっと読む）

【課題】粒子−光学機器における試料の映像の繰り返し形成方法である。
【解決手段】一連の実測的映像が結像パラメータ（例えば、焦点距離）の異なる設定で記録され、比較可能な映像群が前記試料における電子波に基づいて計算（評価）される。これら２つの群は比較され、電子波が計算（フィードバック）され、前記実測的映像群により近い新しい映像群が計算される。この繰り返し工程は、前記実測的映像群と前記計算された映像群との間の対応関係が満足行くまで繰返される。この後、これに関連する電子波が、前記試料の所望の映像であると考慮される。ＦＦＴにより処理を実行することにより前記評価工程とフィードバック工程の計算時間を大幅に短縮できる。これは、両工程において計算されるべき相関式を、ＦＦＴにより計算可能な純相関積分として生じるように書くことで可能となる。計算時間を、５０，０００程度の大きさの係数により減少することが出来る。 （もっと読む）

【課題】収差補正器を搭載した走査透過電子顕微鏡において、従来よりも簡便で取り扱いやすい収差補正器の調整方法、および当該機能を備えた走査透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】球状の標準試料を用いてロンチグラム像を取得し、得られたロンチグラムから調整に必要なパラメータを取得する。
【効果】ユーザフレンドリーな装置を実現できる。 （もっと読む）

【課題】真空容器において塵埃が残留または混入しても耐電圧性能を損なうことなく運転できるようにする。
【解決手段】本発明による直流高電圧真空装置は、絶縁壁によって形成されたケーシングと、該ケーシング内に形成された真空排気された密閉空間と、該密閉空間内に配置され直流が印加される電極と、上記密閉空間内の塵埃を捕捉する塵埃捕捉容器と、を有し、該塵埃捕捉容器は上記電極によって形成される電界の影響を受けない位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】収差補正器を備えた走査透過電子顕微鏡の電子光学系の調整を容易に行えるようにする。
【解決手段】電子線源１、収束レンズ３、スキャンコイル１０、暗視野像検出器１６、明視野像検出器１７、Ａ/Ｄコンバータ２１、情報処理装置２４等を備えて構成される走査透過電子顕微鏡装置において、対物前磁場レンズ１１前段に球面収差補正器７及び偏向コイル９ａ、９ｂを搭載し、暗視野像検出器１６もしくは明視野像検出器１７により取得した走査透過像からフーリエ変換像を作成し、偏向コイルの偏向比９ａ、９ｂのイメージシフトにより生じる収差補正状態のずれを評価することで、適切な偏向比をフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】極めて薄い液体層を形成することにより電子顕微鏡の観察に適応することが可能である電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスとの組合を提供する。
【解決手段】板体を備える電子顕微鏡用の超薄液体制御板であって、板体は、少なくとも一つの観察孔を有し、観察孔の孔壁は上から下まで少なくても上下二段に分けられ、そのうちの一段孔壁の親水性が別の一段孔壁の親水性より高く、かつ親水性が比較的高い一段孔壁の高さは５０μｍ以下であり、観察孔から液体を注入した後、親水性が比較的高い一段孔壁は液体を吸引して極めて薄い液体層を形成し、別の一段孔壁は親水性が比較的低く液体の吸引が低減される。 （もっと読む）

【課題】 対物レンズのような粒子光学レンズは収差に悩まされる。すでに数十年前から知られているように、ロンキーテストが、粒子光学レンズにおけるこれらの収差の決定に使用することが可能である。そのような方法はたとえば、一又は一組のロンキーテストにおいて、局所的拡大に基づく収差関数の2次導関数の決定に依存する。2次導関数に依存することで、これらの方法の数学的な解決法は、ロンキーテスト間で、（限りなく）小さくシフトするときのみ可能となる。しかしこのことはたとえば、ロンキーテストを記録するカメラの空間量子化雑音が大きなエラーを発生させることを意味する。これらの矛盾する要求は精度、つまり既知の方法の有用性を制限する。
【解決手段】 本発明は、一組のロンキーテストを用いることによって、レンズ収差係数を定量化する方法を改善する一組のアルゴリズムについて説明する。 （もっと読む）

【課題】試料の厚さや材料種類などに依存することなく、前記試料の内部欠陥や内部構造を十分な精度で観察することができる新規な方法及び装置を提供する。
【解決手段】所定の陽電子源から陽電子を放出し、所定の試料に対して照射し、前記陽電子の、前記試料を透過して得た像を透過画像として得る。この透過画像は前記試料の内部構造などを反映しているので、この透過画像を分析することにより、前記試料の内部構造などを知ることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、暗視野信号に基づく画像が、適正な原子番号コントラストを備えているか否かを判断するのに好適な荷電粒子線装置、それに用いられるコンピュータプログラム、及び試料観察方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上記目的は、入力された参照情報，明視野像或いは後方散乱電子像と、暗視野像を比較し、その相関値、或いは暗視野像が所定のコントラストを有しているか否かを判定することで実現される。このような構成によれば、暗視野像が適正な原子番号コントラストを備えているか否かを判断する情報を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【目的】電子波は、物体を透過したとき、電場や磁場中を通過したとき、ならびに、電磁レンズによって曲げられたときなどに、その位相を変化させる。この位相変化を計測することで、吸収コントラストの小さな位相物体や、電場・磁場の強度、さらには、電磁レンズの収差などを知ることができる。これら各種の情報を得るために、電子波の位相分布を高速に計測する装置を提供する。
【解決手段】計測対象の計測面を高速かつ自動的に選択する機構及び、電子波強度分布を高速に読み書きのできる画像計測機構を備え、当該画像計測機構に記録された複数の画像から、自由空間を伝搬する波の位相変化と強度変化の関係を表した一般式である強度輸送方程式に基づいて、電子波の位相分布を高速に計測表示する演算機構を備えることで実現する。 （もっと読む）

【課題】 絞り部材の絞り孔の位置合せを効率良く行うことのできる荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム装置における絞り調整方法を提供する。
【解決手段】 荷電粒子ビーム源１と、荷電粒子ビーム源１から放出された荷電粒子ビーム１１の一部を通過させる孔が形成された絞り部材を有し、この絞り部材の孔を通過した荷電粒子ビーム１１を試料１２に照射させる照射系１９と、荷電粒子ビーム１１が照射された試料１２の画像データを形成する画像データ形成手段１３と、形成された画像データに基づく画像を表示するための表示手段１７と、絞り部材を移動させて絞り部材の孔の移動を行う移動機構と、表示手段に表示された当該孔の像の表示画像内での移動方向を指定する指定手段１８とを備える荷電粒子ビーム装置において、当該表示画像内での当該孔の像の指定移動方向に合うように移動機構によって当該孔の移動が行われる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置のオペレーションに際して、光学顕微鏡などで確認された試料の外観を常時確認識別しながら、荷電粒子線による観察・加工を可能とすること。
【解決手段】荷電粒子線装置の制御用コンピュータの表示装置に試料の外観を含む試料画像を表示し、この試料画像に荷電粒子線の照射位置、及び観察・加工操作の軌跡を重畳して表示する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのレンズ電極を含む多層静電レンズアレイを作成するための方法に関し、より詳細には、位相板を生産するための方法、ならびに、前記レンズアレイ、前記位相板、および、前記位相板を含む透過電子顕微鏡に関する。レンズアレイまたは位相板は、目視可能なチップ内に搭載される一方、追加の層が堆積される薄い支持されていないシリコン窒化物膜から作成されている。中央孔および開口開口部はイオンビームによりミリングされる。
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【課題】従来の検出手法では、位相情報の再生において、（１）実時間観察が困難。（２）スループットが低い。という問題があった。
【解決手段】干渉縞を、検出器の上方に配置した１次元周期的なスリットを透過／不透過させて検出する。あるいは試料を電子線の通路から外した状態の干渉縞画像をメモリに記憶しておき、試料を電子線の通路に入れた状態の干渉縞画像と積算する。あるいは検出器から連続して逐次入力した試料を電子線の通路に入れた状態の干渉縞の画像を入力した順にそれぞれ別々の２個以上の数値演算器によって逐次処理した画像を入力した順に逐次出力する。 （もっと読む）

【課題】実像と電子回折像を測定する際の微小径かつ平行な電子線を、明るくかつ均一な強度分布にする位相回復方式の電子顕微鏡による観察技術を提供する。
【解決手段】位相回復方式の電子顕微鏡にあって、前記実像を観察する際には、収束電子線を試料３の注目領域２に走査しながら照射し、撮像素子１１で検出した透過電子線の強度を前記収束電子線の走査と同期させてモニター１７に表示することによって前記注目領域２を画像化し、前記電子回折像を観察する際には、前記注目領域２の形状と面積に一致する孔を有する制限視野絞り１５を前記試料３の直上に挿入し、静止した平行電子線を前記制限視野絞り１５を通して前記試料３の注目領域２に照射し、前記試料３を透過した電子線が作る電子回折像を前記撮像素子１１により検出する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線の光学系の光軸に垂直な平面内、もしくは少し傾斜した平面内における回転機構をもった装置の回転操作に伴って発生する観察・加工位置の移動の補正を簡便かつ高精度に実現すること。
【解決手段】荷電粒子線装置における試料ホルダー、絞り装置、バイプリズムなどの、当該回転機構の２次元位置検出器とコンピュータ制御による駆動機構を利用し、さらにコンピュータの演算能力を利用することによって該平面内の回転に伴う移動量を演算によって求め、これを相殺させる様に駆動、制御を行なう。また、ひとつの入力によって複数の回転機構を互いに関連をもって操作させる。 （もっと読む）