【課題】電子レンズの球面収差による制約を受けることなく高散乱角の散乱電子を検出し、深さ分解能を向上させることができる透過型電子顕微鏡及び試料観察方法を提供する。
【解決手段】試料５に電子線２を照射する電子銃１と、試料５を透過して散乱する散乱電子を検出する電子検出器１３と、この電子検出器１３と試料５との間に位置し試料５からの散乱電子の通過範囲の内径及び外径を制限するリング状のスリットを有する第１の検出側環状絞り１５と、この第１の検出側環状絞り１５と電子検出器１３との間に位置し第１の検出側環状絞り１５を通過した散乱電子の通過範囲の内径及び外径をさらに制限するリング状のスリットを有する第２の検出側環状絞り１６とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ナノスケールの高分解能画像を得る。
【解決手段】１以上の試料を特徴付けるための超高速システム（および方法）である。特徴付けられる試料を有するステージ組立部を含む。持続時間が１ピコ秒未満の光パルスを放射することができるレーザー源を有する。レーザー源に接続されたカソードを有し、特定の実施例において、カソードは１ピコ秒未満の電子パルスを放射することができる。ステージ上の試料に電子パルスの焦点を合わせられる電子レンズ組立部を有する。試料を通過する電子を捕らえる検出部を有する。検出部はプロセッサを有し、試料の構造を代表する試料を通過する電子に関連付けられた信号（たとえば、データ信号）を供給する。プロセッサは、試料の構造に関連付けられた情報を出力するために、試料を通過する関連付けられたデータ信号を処理し、出力デバイスに出力する。 （もっと読む）

【課題】重イオンビームを収束することができるキャピラリーを製造する装置を提供する。
【解決手段】室内を真空にする手段を有する製造室１０を備え、前記製造室内１０に、管状金属１２の端部に、前記管状金属１２の長手方向に対して外向きに荷重を加える荷重装置と、前記管状金属１２の一部を加熱する加熱装置とを備え、室内を真空にした前記製造室１０内で、荷重を加えた前記管状金属１２の一部をクリープ温度まで加熱し、前記管状金属１２の加熱された部分が、前記管状金属１２の長手方向に対して外向きに伸延されて、破断することによって、破断した端部に向かって先細となるような形状の金属キャピラリーを形成する金属キャピラリー製造装置。 （もっと読む）

【課題】プラズモンロス像を、計算で簡単に算出することが可能な試料解析装置を提供する。
【解決手段】入力部１１がＳＴＥＭ−ＥＥＬＳ法における実験条件と試料情報を取得し、損失関数演算部１２が試料情報をもとに損失関数を算出し、吸収ポテンシャル演算部１３が損失関数と、実験条件の１つでありプラズモン吸収領域に設定されるエネルギースリットをもとに、エネルギースリットを考慮するか否かで２種類の吸収ポテンシャルを算出し、全散乱電子強度演算部１４が２種類の吸収ポテンシャルをもとに、第１及び第２の全散乱電子強度を算出し、プラズモンロス像生成部１５が第１の全散乱電子強度と第２の全散乱電子強度との差分からプラズモンロス像を生成する。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ短時間で結晶格子像と相似のモアレパターンを得ることを可能にする。
【解決手段】走査型顕微鏡を用いて、結晶構造の結晶格子モアレパターンを取得する方法であって、前記結晶構造の走査面において、前記結晶構造と方位に対応して、複数の仮想格子点を周期的に配置する工程と、入射プローブを用いて複数の前記仮想格子点からの信号を検出する工程と、検出した前記信号に基づいて、前記結晶構造の結晶格子モアレパターンを生成する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）三次元像構築画像処理方法のアライメントに関する技術において、従来よりも簡便なＴＥＭ三次元像構築画像処理方法を提供する。
【解決手段】
透過型電子顕微鏡で針状試料を回転軸を中心として数度ステップずつ回転させて撮影した連続回転シリーズを、画像輪郭抽出と位置ずれ量の検出工程、回転軸の方向の検出工程、回転軸の平行移動量の検出工程、及び前記位置ずれ量と回転の補正を行うことにより、アライメントを行い、その後ＣＴ法により三次元像構築画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は共焦点像取得装置に関し、構成を簡単にした共焦点ＳＴＥＭ像取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームを試料１０に照射し試料から放出される信号を検出する検出器６'と、該検出器で検出した信号を記憶するメモリ２２と、前記検出器を制御すると共にメモリに記憶した画像を読み出して所定の演算処理を行なう演算制御手段２１と、を具備し、前記演算制御手段２１は、メモリ２２に記憶した画像からその場所に対応する回折像を引き出し、ピクセル毎に回折像中心位置を選択して中心位置の補正を行ない、中心位置の補正を行なったピクセル毎の回折画像の中心位置を合わせた回折情報を有する画像セットを作成し、作成した画像セットのピクセル毎に中心位置の更に中心部のみを選択して回折画像からＳＴＥＭ画像を再生して共焦点ＳＴＥＭ像を得る、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、大電流が得られ、高安定なガス電界電離イオン源、及び高分解能でかつ大焦点深度のイオン顕微鏡を提供することに関する。
【解決手段】本発明は、ガス電界電離イオン源を備えたイオン顕微鏡において、ガス電界電離イオン源を冷却する冷凍機をイオン顕微鏡本体とは独立に設置し、ガス電界電離イオン源と冷凍機の間で冷媒を循環させる冷媒循環回路冷却機構を設けることに関する。本発明により、ガス電界電離イオン源に伝播する冷凍機の機械振動を低減でき、イオン源輝度の向上と、イオンビームの集束性能向上と、を両立できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は磁区観察装置に関し、試料に強い磁場を印加することができる磁区観察装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 透過型電子顕微鏡の対物レンズ上極内に磁性体試料３を配置し、該試料３を透過した電子線を画像化して表示手段に表示させるようにした磁区観察装置において、試料３に磁場を印加するための磁場印加コイル４と、試料３に印加した磁場により偏向される電子線を光軸に振り戻すための偏向コイル９，１０とを対物レンズ上極内に配置して構成される。 （もっと読む）

【課題】 試料に電子線を照射して線分析を行なうとき、同じ線分上で任意の間隔と任意の点数で分析点を簡易に設定する方法を提供する。
【解決手段】 マウス等のポインティングデバイスを用いてＨＡＡＤＦ像上の線分析位置を指定する。たとえば結晶粒界に直角となるように線分析の始点Ｐ１と終点Ｐ６を指定し、キーボード等により分析点数６を指定する。例えばＸ線検出器１３により粒界に直角な線分上に注目元素のＸ線強度を測定し分析結果をグラフに表す。Ｘ線強度の高い注目点を中心とした線上に、はじめに設定した間隔よりさらに細かく分割する分析点Ｓ１からＳ６を自動的に指定する。 （もっと読む）

【課題】緊張した微細な空中配線を形成する技術を提供する。
【解決手段】原料ガスを供給した領域に収束した第１の荷電粒子ビームを照射することにより空中配線５３０を形成し、第１の荷電粒子ビームの照射により形成された空中配線５３０に、第２の荷電粒子ビームＩＢを照射することにより空中配線５３０を緊張させる。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡の自動試料傾斜装置に関し、試料傾斜角を自動で調整することができる電子顕微鏡の自動試料傾斜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料移動機構７及び試料傾斜機構８の動作を制御する制御装置と、試料３を透過した透過電子を多段の電子レンズと偏向器を用いて結像させる結像電子光学系６と、結像した像を像信号化する像取得手段９と、前記像信号を記憶する記憶手段１１と、該記憶手段１１に記憶された像信号を読み出して解析するコンピュータ１０と、該コンピュータ１０は、試料傾斜軸別に、異なる複数の試料傾斜角で試料の現在の結晶方位で得られる電子回折図形を取得して前記記憶手段１１に記憶し、取得した電子回折図形別に電子回折スポット座標を算出し、電子回折スポット座標を基に、電子回折スポットを円近似することにより、近似円の中心と半径を算出し、円の半径が最小となる試料傾斜角を最適傾斜角とするように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡のアライメント装置に関し、高精度でかつ自動的にアライメントを行なうことができる透過型電子顕微鏡のアライメント装置を提供することを目的としている。
【解決手段】透過型電子顕微鏡において、透過電子線が蛍光板１４に投影された場合、その像を取り込む像取得装置１６と、該像取得装置１６を回転させる回転手段と、前記像取得装置の回転を制御する回転制御手段と、像取得装置１６で得た像信号を記憶する記憶手段２１と、該記憶手段２１に記憶された像情報を演算処理する演算手段２０とを有し、自動でアライメントを行なう際、前記像取得装置１６を予め決められた回転角に回転させることにより、アライメント偏向器の移動方向と像の移動方向を一致させ、得られた像を取得・演算処理し、全てのアライメント偏向器の適切な設定値を自動で算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】画像コントラストをさらに改善し、しかもその際に許容できないエラーの原因とならないようにすることである。
【解決手段】少なくとも１つの歪像（６、６’）を形成および補償するために、当該歪像（６、６’）の前方および後方に配置された四重極場（Ｑ_２’、Ｑ_４’、Ｑ_１２’、Ｑ_１４’）を用い、該四重極場の光軸（１０）方向における拡がりがそれらの焦点距離の少なくとも２倍に相当するようにし、前記軸光線（ｘ_α、ｙ_β）の少なくとも１つが、中間画像（５）の倍率Ｍの相応の選択によって四重極場（Ｑ_２’；Ｑ_１２’）に、前記少なくとも１つの歪像（６、６’）の前方で１／Ｍの勾配で入射し、当該歪像（６、６’）の長さ（７）は許容可能なエラー範囲内に留まるようにする。 （もっと読む）

【課題】５次球面収差Ｃ５の補正を簡単かつ高精度に行う機能を備えた走査透過電子顕微鏡、及び収差補正方法を提供する。
【解決手段】電子光学系と、前記電子光学系の収束レンズと対物レンズの間に配置され、該対物レンズの球面収差を補償するための６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器と、前記球面収差補正器と前記対物レンズの間に配置された少なくとも一枚の調整レンズと、試料のロンチグラムを観察するロンチグラム検出手段と、情報処理装置とを備え、前記情報処理装置は、前記調整レンズの焦点距離を変化させて前記試料のロンチグラムを検出し、該焦点距離の変化に伴い前記ロンチグラムに現れる六角形状パターンの変化を検出し、５次球面収差Ｃ５の補正条件を判定する。 （もっと読む）

【課題】 電磁レンズにおける色収差係数測定方法及び走査透過電子顕微鏡に関し、電子の加速電圧を変化させることなく、一枚の高分解能電子顕微鏡像を取得するだけで簡便に且つ精度良く色収差係数を測定する。
【解決手段】 球面収差補正された電磁レンズを通過した収束電子線を結晶構造及び格子定数が既知の単結晶試料に入射して、分解能が０．３ｎｍ以下の高分解能走査透過電子顕微鏡像を取得する際に連続的に前記電磁レンズの焦点ずれ量を変化させた顕微鏡像を実測により取得し、前記顕微鏡像を走査方向に平均化した強度プロファイルから回帰曲線を求め、前記顕微鏡像と同じ条件で理論計算で求めた理論顕微鏡像の計算結果から得られる色収差係数と前記回帰曲線のパラメータを比較することによって、前記電磁レンズの色収差係数を算出する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における高分解能像観察時など、電子光学系上に存在する浮遊磁場は像を劣化させる直接的な要因の一つであり、その影響の程度を評価し対策を採ることが必要である。しかし、従来の電子線のスポットを評価・観察する方法では、感度・精度共に十分ではなく、しかも、像観察光学系とは異なる光学条件での測定であるため、測定結果が正しく像観察条件を評価できない場合もあった。
【解決手段】本発明では例えば高分解能像観察光学系において、試料位置を電子光学系の光軸上に変化させて格子像を観察し、格子像のコントラストとそのときの試料位置との関係より、結像に影響を与えている浮遊磁場を定量的に評価する。 （もっと読む）

【課題】
電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成されスペクトル像において、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成される二次元の電子線位置像から算出される電子線位置を基準電子線位置と比較し、各電子線位置の相違点に基づき、歪み量を算出することにより、分析対象試料のスペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する。
【解決手段】
エネルギー損失量と位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する方法および装置を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】検出能力が向上したＸ線検出器を提供すること。
【解決手段】試料室内に環状に配置された複数の検出器が大きな捕集立体角を提供する。これらの検出器は、検出器の表面での氷の形成を低減させるシャッタおよびコールド・シールドを含むことが好ましい。サンプルを取り囲む検出器を提供することによって、検出を向上させる大きな立体角が提供され、サンプルの傾斜方向にかかわらずＸ線が検出される。 （もっと読む）

【課題】 分割検出器を用いなくても任意の磁化方向の磁化分布像を得る。
【解決手段】 試料上の各観察点において、電子回折図形Ｄ_ｘｙがＣＣＤカメラで撮像される。取得した電子回折図形Ｄ_ｘｙ毎に次の処理が行われて、１つの電子回折図形Ｄ_ｘｙに対して１つの磁化分布像データＭ_ｘｙが求められる。まず、電子回折図形上の所定範囲の像が、複数の部分像Ｓ_１〜Ｓ_３２に分割される。次に、部分像Ｓ_１〜Ｓ_３２毎に画像強度信号が求められる。そして、磁化方向として例えばｙ方向が指定されると、直線Ｌ_１より左側に存在する部分像Ｓ_１７〜Ｓ_３２のトータル画像強度信号と、直線Ｌ_１より右側に存在する部分像Ｓ_１〜Ｓ_１６のトータル画像強度信号の差がとられ、その観察点における磁化分布像データＭ_ｘｙが求められる。磁化分布像は、電子回折図形Ｄ_ｘｙ毎に求められた磁化分布像データＭ_ｘｙに基づいて得られる。 （もっと読む）