【課題】本発明の目的は、電子顕微鏡を用いた厚膜試料のＳＥＭ観察において、原子レベルの像分解能で、かつ高い倍率精度で行うための電子顕微鏡装置、試料作製方法および観察方法にある。
【解決手段】走査透過電子顕微鏡において、前記電子線経路上に前記電子線の収差を補正する収差補正器と、前記試料の電子線回折像及びロンチグラムを観察するカメラを備え、前記カメラにより取得されたロンチグラムを用いて、前記収差補正器を調整し、前記カメラにより取得された電子線回折像を用いて前記電子線の試料に対する照射方向を調整し、当該調整された電子ビームを試料に照射して当該電子線の照射位置から発生する二次電子を検出し、当該二次電子の信号に基づき試料像を形成する走査透過電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡像の観察時に試料が受ける磁場の影響を低減することができる透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡１００は、電子線源２と、照射レンズ４と、対物レンズ６と、第２対物レンズ８と、制限視野絞り１６と、投影レンズ１０と、検出器１２と、少なくとも照射レンズ４、第２対物レンズ８、および投影レンズ１０を制御する制御部と、を含み、第１面１７は、第２対物レンズ８と投影レンズ１０との間に位置し、制御部２２は、試料Ｓに電子線Ｌが照射されるように照射レンズ４を制御し、試料Ｓの回折パターンが第１面１７に結像されるように第２対物レンズ８を制御し、第２対物レンズ８で結像された試料Ｓの透過電子顕微鏡像が第２面（受光部１３）に結像されるように投影レンズ１０を制御する第１処理を行う。 （もっと読む）

【課題】正確で精度の高いＳＴＥＭ像を得ることのできる電子顕微鏡の観察方法を提供する。
【解決手段】電子線を試料に照射し、前記試料を透過または散乱した電子線を検出器において検出し、前記試料を観察する電子顕微鏡の観察方法において、前記検出器により前記試料の画像を取得する工程と、前記取得された画像に最も近い画像を、前記検出器の位置がずれた状態において観察される複数の画像より選択し、前記選択された画像の位置情報に基づき、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程と、算出された前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量に基づき、前記検出器を移動させる工程と、を有することを特徴とする電子顕微鏡の観察方法により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】重い原子及び軽い原子を同時に観察可能な電子顕微鏡像を生成する画像処理の方法を提供する。
【解決手段】方法は、走査透過型電子顕微鏡により試料を撮像した暗視野像であって、走査透過型電子顕微鏡の光軸からの第１角度と、第１角度よりも大きい第２角度との間に散乱した電子を検出して得られた暗視野像を取得し、この暗視野像と共に撮像された明視野像であって、第１角度よりも小さい第３角度以内に散乱した電子を検出して得られた明視野像を取得し、暗視野像の明暗を反転して反転像を生成し、反転像の各画素の輝度と、反転像の各画素に対応する明視野像の画素の輝度との差を、各画素の輝度とする差分像を生成する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、（ａ）走査（透過）電子顕微鏡において、０.１ｎｍ原子サイズ構造の３次元観察を可能とすること、（ｂ）走査（透過）電子顕微鏡において、試料中の原子の３次元構造と材料の特定を可能とすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、０.１ｎｍ原子サイズ構造の３次元観察を可能とするために、球面収差係数が小さい電子レンズシステムを有し、照射角の変更が可能な絞り、電子線プローブのプローブサイズおよび照射角度を変更することが可能な照射電子レンズ系、二次電子検出器、透過電子検出器、前方散乱電子線検出器、フォーカス可変装置、画像のコントラストを識別する画像演算装置、画像鮮鋭度を演算する画像演算装置、画像の３次元構築を行う演算装置、二次電子信号と試料前方散乱電子信号を混合するミキサー、を有する走査透過電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 電子線の遮断による像情報の欠落の問題を低減し、かつ電位分布が異方的となる問題を改善した、電子顕微鏡に用いる位相板を提供する。
【解決手段】 一つにつながった開口部２３を持ち、開口部に、開口部の外郭部から開口部中心へ向かう複数の電極１１を配置する。それぞれの電極１１の断面は、導体もしくは半導体でなる電圧印加層２４を、絶縁層２５を介して導体もしくは半導体からなるシールド層２６で覆った構造とする。これにより、電極１１による電子線遮断を低減し、さらに電位分布が異方的となる問題を改善する事が可能な位相板を構成する。 （もっと読む）

【課題】ノイズなどを含む不完全な回折パターンに対しても、オリジナルに近い実像を再構成することができる、フーリエ反復位相回復法を提供する。
【解決手段】フーリエ反復位相回復法の基本アルゴリズムによって得られる複数の計算結果をもとに、フーリエ空間の振幅に対して平均操作を行い、得られた振幅平均を新たな振幅とし、この新たな振幅をもとにして前記基本アルゴリズムを適用し、位相を求める。 （もっと読む）

【課題】球面収差補正器を備えることにより副次的に生じる２回対称３次スター収差（Ｓ３）と４回対称３次非点収差（Ａ３）とを独立して補正することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】第１と第２の多極子レンズ９、１３と、その間に伝達レンズ１０、１２を含む球面収差補正装置を備えた荷電粒子線装置において、第１の多極子レンズ９へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ１に対し、第２の多極子レンズ１３へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ２が連動して変化するように、第１の偏向手段８と第２の偏向手段１１とを制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、TEMにおける直接電子検出器の保護方法に関する。
【解決手段】 本発明は、新たなビームパラメータの設定前に、検出器上での電流密度を予測する手順を有する。ビームパラメータとはたとえば、収束レンズ(104)と投影レンズ(106)の励起、及び/又はビームエネルギーの変化である。予測は、光学モデル又はルックアップテーブルを用いることによって行われる。前記検出器の予測された露光が所定値未満であるとき、所望の変化が行われ、さもなければ、警告メッセージが発生して、設定の変更は延期される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡において、電子線の光軸調整を容易にし、高コントラストな暗視野像を容易に観察できるようにする。
【解決手段】電子源１０３からの電子線１０４を照射系レンズ１０５及び偏向コイル１０６，１０７を介して試料１１０に照射し、該試料１１０を透過した電子線を結像レンズ１０８を介して暗視野検出器１１１及び明視野検出器１１４で検出する電子顕微鏡において、電子線像を蛍光板１１２に形成し、この蛍光板１１２の電子線像をカメラ１１３で撮影し、このカメラ１１３の画像データから前記電子線の重心座標を求め、前記暗視野検出器１１１の中心と合わせるように、前記電子線又は前記暗視野検出器の位置を偏向コイル制御装置１１８又は暗視野検出器制御装置１１８を用いて制御することで、光軸調整を容易にし、高コントラストな暗視野像観察を実現する。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ法によって得られる３次元像の像質を向上させることが可能な、電子顕微鏡および３次元像構築方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡試１００は、像取得部２４は、マーカーが形成される前の試料Ｓの透過電子顕微鏡像を、傾斜角度ごとに取得することにより、第１傾斜像シリーズを取得する第１処理と、マーカーが形成された試料の透過電子顕微鏡像を、傾斜角度ごとに取得することにより、第２傾斜像シリーズを取得する第２処理と、を行い、３次元像構築部２６は、第２傾斜像シリーズに基づいて、第１傾斜像シリーズを構成する複数の透過電子顕微鏡像間の位置あわせを行うアライメント処理を行い、位置合わせされた第１傾斜像シリーズを構成する複数の透過電子顕微鏡像に対して、３次元構築処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ法によって得られる三次元像の画質を向上させることが可能な、電子顕微鏡及び三次元像構築方法を提供すること。
【解決手段】試料を複数段階に傾斜させる試料傾斜手段と、前記試料傾斜手段によって設定された各傾斜角度θにおいて得られる透過電子顕微鏡像ＴＩを取得する像取得手段と、取得した傾斜角度θ毎の透過電子顕微鏡像ＴＩに基づき試料の三次元像を構築する三次元像構築手段とを含み、試料の三次元像の構築に用いる透過電子顕微鏡像ＴＩの領域の幅ｂを、傾斜角度θに応じて傾斜軸に垂直な方向に変化させる。 （もっと読む）

【課題】燃料電池の触媒層についての透過型電子顕微鏡による観察において、視野内に含まれる触媒粒子のうち、一定数の触媒粒子を選んで粒子径評価を行うことでは、相対的な粒子径分布は得られるものの、触媒粒子に関する定量的な解析を行うことは困難であった。
【解決手段】燃料電池触媒層から切り出した試料の厚さを、燃料電池触媒層の導電性担持体である炭素粒子の直径と同等の10nm以上200nm以下の一定の厚さまで薄くし、透過型電子顕微鏡像で炭素粒子に担持した触媒粒子の重なりが少なくなるので、個々の触媒粒子を区別して評価できる。透過型電子顕微鏡観察用試料を作製する際に、厚さを測定し、試料の厚さと透過型電子顕微鏡で観察した視野とを乗じた体積で規定される触媒層中に含まれる触媒粒子の粒子径および個数を求めることができるため、一定体積中に含まれる白金量を定量的に評価できる。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡おいて、光学素子をセンタリングする際にコントラスト向上素子の汚染や損傷を防止する方法の実現。
【解決手段】透過型電子顕微鏡５００の複数の光学素子を用いることにより非散乱電子ビームを偏向して、回折平面に配置されたコントラスト向上素子５１８に該電子ビームが照射されないように調節する。更に、該電子ビームを逆戻りに偏向する事により再び光軸に戻すように調整して光学素子のセンタリングを行う。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ加工装置による加工で生じた試料のダメージ層の除去の精度は作業者の技量に依存する。
【解決手段】イオンビームにより発生したダメージ層の除去加工中に、電子ビーム光学システムで形成された電子ビームを試料に照射することにより発生する透過電子を二次元検出器で検出し、当該二次元検出器で得られたディフラクションパターンのぼけ量に基づいてダメージ層の除去加工を終了するタイミングを判定する。 （もっと読む）

【課題】減厚による歪緩和の影響を補正して、バルクの結晶中の歪を測定する。
【手段】結晶基材を含む被測定試料に集束イオンビームを照射して減厚し、被測定試料薄片とする減厚工程と、減厚工程途中の複数時点で、被測定試料薄片に集束電子線を照射して高角度散乱電子の電子線強度Ｉ１〜Ｉ３を測定する工程と、前記複数時点で、結晶基材の格子定数を電子線回折法により測定し、被測定試料薄片の歪Ｅ１〜Ｅ３を算出する工程と、散乱電子の電子線強度Ｉ１〜Ｉ３及び歪Ｅ１〜Ｅ３に基づき、散乱電子の電子線強度Ｉを変数とする歪の近似式Ｅ＝Ｅ（Ｉ）を作成する工程と、減厚に伴い歪緩和が始まる臨界厚さに等しい厚さの結晶基材に、集束電子線を照射したとき測定される高角度散乱電子の臨界電子線強度Ｉｏを予測する工程と、臨界電子線強度Ｉｏを近似式Ｅ＝Ｅ（Ｉ）に代入して、被測定試料の歪Ｅｏを算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ロンチグラム法の簡易性を備えながら、反射・二次電子走査像を利用するＳＥＭにおいても適用可能な、また特別に撮影用の検出器を必要としない収差測定法、或いは収差測定に供する収差情報の取得方法を提供する。
【解決手段】走査像を得る為のビーム走査を、通常対物レンズ直上に置かれる走査コイルで行うのではなく、収差被測定レンズである収差補正器ならびに対物レンズ上方置かれた走査コイルによって行うことによって、収差被測定レンズの持つ収差を反映した歪走査を試料面上で行い、これによって発生する散乱電子線、透過電位線、もしくは反射・二次電子線から走査像を形成することで、従来のロンチグラムと等価な収差情報パターンを、走査型で得られる手段を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像データのより効率的な取得及び解析を可能にする。
【解決手段】荷電粒子顕微鏡を操作する方法であって、第１設定で対象物の第１領域の第１画像を記録し、第２設定で対象物の第２領域の第２画像を記録する。第２設定は、一次荷電粒子の運動エネルギー、検出器設定、ビーム電流、測定チャンバ内の圧力の少なくとも１つに関して第１設定とは異なる。第１領域及び第２領域を少なくとも部分的に含む第３領域の第３画像を記録する。第３画像の少なくとも一部を表示し、表示した第３画像内に少なくとも部分的に第１画像の表現を表示する。第１画像の表現は第１設定を示す第１インジケータを含む。表示した第３画像内に少なくとも部分的に第２画像の表現を表示する。第２画像の表現は第２設定を示す第２インジケータを含み、表示した第２インジケータは表示した第１インジケータとは異なる、方法。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡に於いて、引出電極や加速電極の電位を固定のままでクロスオーバの位置を自由に調整できる機能を実現する。
【解決手段】光軸に添って配置された、３つの電極により構成される第１電極ユニット２４の第１電極４と第３電極９を所定の第１電位、第２電極８を可変の第２電位とし、更に３つの電極より構成される第２電極ユニット２６を備え、第５電極１６を可変の第３電位とする。また、第１加速装置１７と第２加速装置１８を、それぞれ第４、第５の電位に設定する。 （もっと読む）

【課題】気体電界イオン源を用いたイオン顕微鏡に於いて、試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを実現する。
【解決手段】イオン源の導電性電極先端１８６の材料と形状を最適化して表面に三量体の原子層を形成し、極低温状体で動作させることにより気体ヘリウムとのイオン化効率を向上する。又、電極先端の移動機構２０８や絞り開口径２２４の選択によりビーム径と電流量を制御し、試料１８０上で１０ｎｍ以下のスポットを実現する。 （もっと読む）