【課題】本発明はイオンポンプに関し、漏れ磁場の影響を受け難く、排気速度を向上させ、また残留ガスのイオン化を促進することができるイオンポンプを提供することを目的としている。
【解決手段】その一端に真空室と接続するためのフランジ１４が、他端に電極導入端子２１が取り付けられた円筒状のポンプチェンバ１０と、該ポンプチェンバ１０の内部中央に配置され、その一端が前記電極導入端子２１を介して高電圧と接続される金属棒１３と、前記ポンプチェンバ１０の外周面に間隔を空けてリング状にかつ表面磁極の方向が同じになるように取り付けられたリング状磁石と、該リング状磁石の外側に巻回された磁性体ヨーク２４とを具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】複数のスパッタイオンポンプを備えた真空ポンピングシステムであって、公知のポンピングシステムよりも全体の軸方向寸法および重量がかなり低減された真空ポンピングシステムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、ポンピングシステムPS；PS'は、複数の軸方向に重なったスパッタイオンポンプ1'、1''；1'、1''、1'''を備えており、当該ポンピングシステムPS；PS'の軸方向両端に配置された1対の外部磁石11a、11bと、スパッタイオンポンプ1'、1''；1'、1''、1'''と交互に配置された1つ以上の中間磁石15；15a、15bと、外部磁石11a、11bおよび1つ以上の中間磁石15；15a、15bを内部に包囲する強磁性ヨーク13；13'とを備えた共通の磁気回路MC；MC'を備えている。 （もっと読む）

【課題】 小型で排気効率が高く、磁界シールド特性の向上したスパッタイオンポンプを提供する。
【解決手段】 スパッタイオンポンプ１は、真空外囲器１０と、第１陰極２１及び第２陰極２２と、陽極３０と、永久磁石４０と、ヨーク５０とを備えている。ヨーク５０は、蓋部５１を有し、真空外囲器１０、第１陰極２１、第２陰極２２、陽極３０及び永久磁石４０を囲んで設けられ、真空外囲器の他端側を全周に亘って挟持し、閉磁路を形成している。
真空外囲器１０の厚みＷ１は、０．５乃至１．０ｍｍである。蓋部５１の厚み及び真空外囲器１０を挟んで蓋部５１と対向した領域のヨークの厚みは一定である。 （もっと読む）

複合排気システム（１０）は、ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）を具備する。ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）は、同じフランジ（１１）に取り付けられ、前記フランジ（１１）の同じ側の２つの異なる箇所に配置される。
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【課題】低圧でも満足なポンピング速度を提供できるとともに、限られた全体的な寸法および重量を有するスパッタ・イオン・ポンプを提供する。
【解決手段】スパッタ・イオン・ポンプ１は、陽極のポンプ・セルの両端部に配置された主磁石９ａ、９ｂと、ポンプ・セルの片側のみに配置された補助磁石１１；１１’、１１”とを含む改良された磁石アセンブリを有し、これにより、アセンブリは非対称構成となっている。改良された磁石アセンブリを有するスパッタ・イオン・ポンプは、ポンプ自体の寸法、重量、および製造コストを抑えつつ、低圧でも高いポンピング速度を達成できる。 （もっと読む）

【課題】 超高真空を保持することが必要な空間に容易かつ簡単に取り付けることができるスパッタイオンポンプを提供すること。
【解決手段】 外周側を広幅、内周側を狭幅とした楔形の３個の凸部２ｆを１２０度間隔に配置した輪郭形状の壁によって画成され、底面が開口された本体２と、その内壁に同一形状に形成されたカソード電極３と、カソード電極３内に配置され、両端の開口がそれぞれカソード電極３の面に平行に切断された輪切りパイプ体４ｂとされ、その内周側がカソード電極３の内周側とほぼ同一の円周上にあるアノード電極４と、円周内の中心部に天井面側から垂下されアノード電極４の引出部と取付部とを兼ねる支持棒７と、凸部２ｆの外側の間に形成される凹部に接して設置された横断面がほぼ扇形で柱状の３本の磁石８とからなり、磁石８のＳ極が隣り合う磁石８のＮ極と対向して配置されているスパッタイオンポンプ。 （もっと読む）

【課題】改良されたスパッタイオンポンプ、およびスパッタイオンポンプ用磁石アセンブリを提供する。
【解決手段】イオンポンプは１つ以上の陽極ポンプセルと、該１つ以上の陽極ポンプセルに近接して位置する陰極と、該１つ以上の陽極ポンプセル内に磁界を発生させる磁石アセンブリとを含む。該陰極と該１つ以上の陽極ポンプセルとの間に電界が印加される。磁石アセンブリは、該陽極ポンプセルの両端に配置された互いに反対の極性を有する一次磁石と、該陽極ポンプセルの両側方に配置された二次磁石とを含む。磁石アセンブリには、磁束帰還経路を構成する磁石ヨークを更に含んでもよい。磁石アセンブリは該１つ以上の陽極ポンプセル内に実質的に一様な軸方向の磁界を発生する。
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【課題】画像表示装置の表示面側におけるキャビネットの出っ張りを抑制できるスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】ＳＩＰ５０は、一端が閉塞されたポンプ容器５１と、ポンプ容器内で一端に設けられた第１陰極５２ａと、ポンプ容器内で第１陰極に間隔を置いて対向配置された第２陰極５２ｂと、第１陰極と第２陰極との間に設けられた陽極５３と、ポンプ容器外で第１陰極に対向配置された第１永久磁石５４と、ポンプ容器外で第２陰極に対向配置され、第１永久磁石よりも薄く形成された第２永久磁石５５と、第１永久磁石の外面および第２永久磁石の外面に接触して設けられ、閉磁路を形成した磁性体５６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型で排気効率が高く、磁界シールド特性の向上したスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】ＳＩＰ５０は、ポンプ容器５１と、永久磁石５４と、第２陰極５５ｂと、陽極５６と、磁性体５９と、ポンプ容器に形成された開口部５２と、給電端子５７ａと、絶縁体５３と、を備えている。
給電端子５７ａは陽極５６に接続されているとともに開口部５２に挿通されている。絶縁体５３は開口部５２に充填され、給電端子５７ａを囲んでいるとともに開口部を気密に封止している。 （もっと読む）

【課題】薄型のスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】ＳＩＰ５０は、ポンプ容器５１と、第１磁性体５４と、第１陰極５５ａと、第２陰極５５ｂと、第２磁性体５６と、陽極５９と、永久磁石６０と、を備えている。
永久磁石６０は、陽極５９の径方向外側でその陽極に対向して設けられているとともに、第１陰極５５ａの周縁と対向し磁極を有した端部Ｎと、第２陰極５５ｂの周縁と対向し磁極を有した他の端部Ｓと、を備えている。永久磁石６０は、第１磁性体５４および第２磁性体５６とともに閉磁路を形成している。 （もっと読む）