データ記憶装置のデータ変換器に使用するための三次元（３Ｄ）微細構造コイルを含むがこれに限定されない、多次元微細構造を形成するための方法を提供する。いくつかの実施例に従って、本方法は概して、第１の誘電材料に埋込まれた第１の導電性経路を有するベース領域を設けるステップと、各々が、埋込まれた第１の導電性経路に接触する第１のシード層で部分的に充填された複数のビア領域を、第１の誘電材料にエッチングするステップと、複数のビア領域の各々に導電性支柱を形成するように第１のシード層を使用するステップとを含み、各導電性支柱は、ベース領域の上方の第１の距離まで延在する実質的に垂直の側壁を有する。
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【課題】パターン幅の狭い、逆台形状の主磁極を形成することが可能な磁気記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る磁気記録ヘッドの製造方法は、基体上に、媒体対向面側端面が逆台形状の溝を有するレジスト層を形成する工程と、前記レジスト層の第１のアッシング処理を行う工程と、前記溝のコア幅方向の寸法が小さくなるように、前記レジスト層のシュリンク処理を行う工程と、前記溝内に記録用の磁極となる磁性材料層を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドに形成される傾斜面を精度良く作製することができる磁気ヘッドの製造方法、磁気ヘッド及びこれを用いた磁気ディスク装置を提供すること。
【解決手段】まず、第１材料膜１とそれよりも研磨速度の低い第２材料膜２を隣接して形成する。次に、第１材料膜１と第２材料膜２の上面を露出させた状態で研磨を行う。これにより段差が生じる。さらに第１及び第２材料膜の実効的な研磨速度が等しくなるまで研磨すると、第１及び第２材料膜１、２の研磨速度の比によって定まる一定の段差Ｄ及びスロープ長さの傾斜面が得られる。このときの傾斜面の段差Ｄ及びスロープ長さＴは、研磨量に依らないため、基板内の研磨量に多少のバラツキがあっても傾斜面の形状（段差Ｄ及びスロープ長Ｔ）のバラツキは少なく、精度良く作製できる。 （もっと読む）

【課題】サイドシールドを備えた記録用の磁極を高精度に形成することができる磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ワークの表面に第１の磁性層２３を形成する工程と、前記第１の磁性層２３の頂部及び側部を、研磨加工の際のストッパとして作用し、またサイドギャップを構成するストッパ層２４により被覆する工程と、前記ストッパ層２４の前記第１の磁性層２３の頂部を被覆する部位を薄厚にする工程と、前記第１の磁性層２３の側方が凹部２６ａとなるレジストパターン２６を形成する工程と、前記凹部２６ａに、サイドシールドとなる第２の磁性層２７を形成する工程と、前記第２の磁性層が形成されたワークの表面を、前記ストッパ層よりも研磨レートの高い絶縁層により被覆する工程と、前記ワークの表面を研磨し、前記ストッパ層が前記第２の磁性層から露出するまで研磨する工程と、前記第２の磁性層の表面に露出するストッパ層を除去する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】垂直記録ヘッドの主磁極の記録磁界の広がりを抑え、高品質の記録動作を実現するためには、ヘッドを構成する部材の形成精度を極めて高く設定する必要がある。市販されている製造装置にて垂直記録ヘッドを製造した場合、製造歩留まりが低く安価なヘッドを大量に製造することはできない。
【解決手段】記録ヘッド２００の主磁極１１は、媒体対向面となる浮上面９８に伸張し、その断面は逆台形である。主磁極１１の両側には、非磁性膜５１を介してサイドシールドと呼ばれる第１の軟磁性膜１０が分離されて配置される。第１の軟磁性膜１０の浮上面側端部は、浮上面９８から後退して設けられる。第１の軟磁性膜１０は主磁極１１と同一層に形成される。主磁極１１の浮上面側の上部には非磁性膜１４を介してトレーリングシールドとよばれる第２の軟磁性膜１２が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録ヘッドの磁極部を絶縁層に設けた凹部に埋設した磁性材料のめっきとダマシン法によって製造してもボイドが発生する不具合を防ぐ。
【解決手段】 基板１上に設けた絶縁膜２に、ホトリソグラフィによってパターニングしたレジスト膜３をマスクにして、エッチングによって凹部４を設け、該凹部４の内壁面にリフトオフ法によって第一のめっき下地層５１を被着して該レジスト膜３を剥離し、該基板１の全面に第二のめっき下地層５２を被着して該凹部４の内壁面の該第一のめっき下地層５１の上に重層し、該基板１上に磁性材料からなる磁性めっき層６を設け、該磁性めっき層６をＣＭＰによって研磨し、該凹部４に埋設した磁極部７を製造するように磁気記録ヘッドの製造方法を構成する。 （もっと読む）

【課題】高温環境下における配線層内でのボイドの発生を抑制して配線層の導通不良を抑制し、半導体装置の信頼性を向上しうる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】層間絶縁膜３４に、配線溝３８を形成する工程と、配線溝３８内に、Ｃｕを主材料とする配線層４４を形成する工程と、配線溝３８内に埋め込まれた配線層４４の表面に、アンモニア及び水素が溶解された純水を含ませた布２を摩擦させる布摩擦処理を行う工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 磁気ヘッドの上部磁極と記録用のコイルとを確実に電気的に絶縁でき、コイルの電気抵抗等のばらつきを抑えて信頼性の高い磁気ヘッドを製造することを可能にする。
【解決手段】 ライトヘッドの磁極端をイオンミリングによりエッチングして所定のコア幅に形成する加工工程を備える磁気ヘッドの製造方法において、前記ライトヘッドの記録用のコイル１４ｂを形成した後、ライトヘッドの下部磁極１２の先端磁極１２ａを除き、前記コイル１４ｂが形成された領域の表面を、前記イオンミリングにより前記コイルが侵食されることを防止する保護層４０により被覆する工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型磁気ヘッド向けのローバーの反りを矯正し、一回の露光処理に各々の磁気ヘッド向けのABS用レジストパターンの露光処理を可能とする。
【解決手段】ローバーを保持するボンディングヘッドを複数個備えることとし、各々のボンディングヘッドを反り状態に応じて同一平面内にて所定の方向に対して駆動可能とし、ボンディングヘッドを各々稼動することによってローバーの反りを矯正することとする。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰの侵食から保護された垂直磁気記録用のＰ３磁極端構造、およびＣＭＰプロセスによる侵食から垂直磁気記録用のＰ３磁極端を保護する方法を提供する。
【解決手段】磁気ヘッドは、Ｐ３磁極端５２を含む、封止された被保護磁極構造８８を備えた書き込みヘッドを有する。保護層８２はＰ３磁極端５２の少なくとも一部を取り囲み、封止材料層７４は保護層８２の一部を取り囲む。この被保護磁極構造８８の作製に際し、イオンミリングを施した後または磁極のイオンミリングの後であるが、封止材料層７４を形成する前に、非磁性保護層８２を形成してＰ３磁極の側壁を包み込むことによって、ＣＭＰプロセスの間の化学的作用から磁極構造８０を保護する。 （もっと読む）

【課題】正確な厚さと正確な逆台形断面を有するめっき磁性膜からなる磁極を有する磁気ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に逆台形断面の磁性膜６からなる磁極部１０を形成し、ＣＭＰ研摩のストッパ膜７で被覆する。次いで、埋込み層９で埋め込み、磁極部１０上面のストッパ膜７が表出するまで埋込み層９を除去する粗研摩工程と、次いで、表出したストッパ膜７を除去した後、磁極部１０及び埋込み層９を所定の厚さまで平坦に除去する仕上げ研摩工程とを行う。粗研摩は、磁極部１０上面のストッパ膜７により停止し、正確に磁極部１０の厚さに研摩される。仕上げ研摩では、その正確な厚さを基準として除去すべき研摩量を定めるので精密に目的とする厚さに仕上げることができる。 （もっと読む）

【課題】高温環境下における配線層内でのボイドの発生を抑制して配線層の導通不良を抑制し、半導体装置の信頼性を向上しうる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】層間絶縁膜３４に、配線溝３８を形成する工程と、配線溝３８内に、Ｃｕを主材料とする配線層４４を形成する工程と、配線溝３８内に埋め込まれた配線層４４の表面に対して、アンモニア及び水素が溶解された純水と窒素ガスとを同時に吹き付ける窒素二流体処理を行う工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ヘッド・スライダの研磨において、スクラッチの発生を抑制する。
【解決手段】本発明の一形態において、ロー・バー２１の浮上面仕上げ研磨工程は、停止した研磨定盤６１上において、ロー・バー２１の浮上面の揺動することによって研磨する。揺動研磨において、ロー・バー２１が研磨定盤６１上で停止する前に、研磨定盤６１からロー・バー２１をリフト・アップする。これによって、ヘッド素子部１２２にスクラッチが発生することを防止する。さらに好ましくは、ロー・バー２１が研磨定盤６１上で減速する前にロー・バー２１をリフト・アップする。 （もっと読む）

半導体素子の化学機械研磨に使用される研摩パッド（１２０）と定盤（１３０）からなるアセンブリは、溝またはチャネルの付いた表面（１３６）を有する定盤（１３０）を備え、同表面（１３６）定盤（１３０）の周辺の溝無し部分（１３１）により処理環境から密閉される。さらに、定盤（１３０）は大気環境または準大気環境への経路を提供する１または複数の通路（１３２）を備えている。密閉領域（１３１）と通路（１３２）の組み合わせにより液体、蒸気または他の望ましくない汚染物質がパッドと定盤の間に浸入することが防止されると共に、パッドと定盤の間に捕捉されたエアポケットが排出される。
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【課題】 研磨加工時に加工変質層が発生することを抑え、研磨加工時間を短縮して高品質でかつ量産性のよい薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気センサ部を成膜して形成したウエハ基板を短冊状に切り出ししたロウバー２２の端面を、前記磁気センサ部の端面が浮上面に露出するよう研磨加工を施す薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法において、前記ロウバー２２を研磨加工する研磨加工工程の初期においては、加工レートを速く設定し、研磨加工工程のより後期においては、より遅い加工レートに設定して加工することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
狭トラックで高周波特性に優れた垂直磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】
コイル導体と、それを挟む磁極を有する記録ヘッドにおいて、主磁極を平坦な構造とし、それと磁気的結合に接続された磁性膜を膜厚方向に湾曲させる構成とする。また、主磁極近傍に設けたシールド材を再生シールドの材料より高抵抗の材料とする。 （もっと読む）

【課題】磁気記録ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】メインポール及びリターンポールを備える積層物が備わった磁気記録ヘッドにおいて、積層物は、グルーブが形成された第１磁性体と、グルーブ表面を覆う絶縁層と、前記絶縁層で覆われたグルーブに満たされた第２磁性層と、を備えることを特徴とする磁気記録ヘッド及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】垂直記録用単磁極ヘッド主磁極の絞り込み部分や絞り位置、主磁極前面
や側面の配置を考慮することで、それらの部分からの漏洩磁界の影響を回避し、
ヘッド磁界垂直成分のプロファイルにおいて、記録層にビットセルの境界を記録
する部分における磁界勾配を向上する。
【解決手段】主磁極の絞り込み部分２６と絞り位置３９を、主磁極浮上面のトレ
ーリング端部を含むトラック幅方向に平行な鉛直平面３６よりもリーディング側
２５に配置し、さらに、主磁極のトレーリング側の前面を同鉛直平面よりリーデ
ィング側に、主磁極のトラック幅方向と交わる主磁極側面を主磁極浮上面のトレ
ーリング側の端部におけるトラック端部を含むトラック幅に垂直な鉛直平面より
もトラック中心側に配置する。
【効果】主磁極のトレーリング側やトラック両端部側での磁界垂直成分の磁界勾
配を急峻にすることができより高い面記録密度が実現できる。 （もっと読む）

【課題】スライダの凸部（レール部）の平滑度のばらつきを抑える。
【解決手段】スライダの記録媒体対向面に仮保護膜を形成するステップ（ステップ５４）と、仮保護膜が形成された記録媒体対向面の表面の一部を除去して、薄膜磁気ヘッド素子部が記録媒体に読み込みまたは書き込みをおこなう際のスライダの記録媒体に対する浮上量を制御する凹凸部を記録媒体対向面に形成する凹凸部形成ステップ（ステップ５５）と、凹凸部が形成された記録媒体対向面から仮保護膜を除去する仮保護膜除去ステップ（ステップ５６）とを有している。 （もっと読む）

【課題】 単磁極ヘッドのスロートハイトを高精度に狭小化する。
【解決手段】 記録ヘッドのスロートハイトを浮上面加工のときに制御するための加工検知パターン１５を設けたヘッドを作製し、その加工検知パターンを用いて浮上面加工を行う。このとき、再生ヘッドの加工については、再生ヘッド自身または再生ヘッド用加工検知パターン１６を用いて加工することにより、記録ヘッドのスロートハイト及び再生ヘッドの素子高さの両方を制御したヘッドを得る。 （もっと読む）