【課題】 製造時に圧電素子にかかる荷重を低減可能な構成からなる製造容易な磁気ヘッド用アクチュエータ素子を提供する。
【解決手段】 フレキシャ接合部、スライダ接合部、及びスライダ接合部及びフレキシャ接合部の両側部に配置される一対の側部からなる略枠状の金属板の、一対の側部を金属板の同一面側に折り曲げてなるアクチュエータ本体と、側部各々に対して固定される一対の圧電素子とを有し、側部とフレキシャ接合部との連結部分と、側部とスライダ接合部との連結部分との少なくともいずれかの強度が低下されている。 （もっと読む）

第１のエッチングプロセスによってエッチングできるばね金属層上の導体を有するタイプの一体型リードヘッドサスペンションたわみ部の製造方法である。本方法には、ばね金属層の主面上において、誘電体材料の１つまたは複数のフライングリード領域にギャップを有するパターン層を形成することと、誘電体材料上、および各フライングリード領域のギャップにおける露出したばね金属の上を始めとして、たわみ部上に１つまたは複数の導電性リードを形成することと、が含まれる。少なくとも導電性リードのフライングリード部は、第１のエッチングプロセスに耐性がある導電性材料から形成される。本方法にはまた、ばね金属層のフライングリード領域をエッチングし、フライングリード領域におけるばね金属層の一部を除去し、かつ導電性リードのフライングリード部を露出することが含まれる。
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