【課題】記録マーク全体の形状の測定が可能な原盤検査方法を提供する。
【解決手段】ディスク原盤に記録マークを形成する。そして、スピンドルを回転させ、スライダを一定幅ごとに移動させながら、ピックアップユニットにより記録マークをディスク原盤の内側から外側又は外側から内側まで走査させて再生信号を読み出す。信号取得部において上記再生信号から再生データを取得し、演算部において再生データが適正であるか判断する。適正でないと判断された場合に、ディスク原盤への記録マークの形成条件の最適化を行う。 （もっと読む）

【課題】 スタンパーの偏心量を正確に測定する。
【解決手段】 押し当て具１５を用いて、スタンパーＳＴをホルダー１３に一方向から押し当てた状態で、ホルダー１３をクランプ１２にセットして、スピンドルモータ１１を駆動することによりスタンパーＳＴを少なくとも１回転させる。このとき、コントローラ１００はスタンパーＳＴの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を取得する。径方向ずれ量とは、スタンパーＳＴの回転時における回転中心に対するスタンパーＳＴの中心の所定の径方向におけるずれ量である。コントローラ１００は、この回転角度及び径方向ずれ量に基づき、スタンパーＳＴの偏心ベクトルを計算する。そして、この偏心ベクトルから、スタンパーＳＴのホルダ１３への押し当てベクトルを減算する減算処理により、スタンパーＳＴ自身の偏心量を求める。 （もっと読む）

【課題】被検査対象であるパターンドメディアからなる磁気記録媒体の微細なパターンの形状欠陥を高速で検査できるようにする。
【解決手段】パターンドメディアの欠陥検査方法において、検出された分光波形データをデータベースに記憶しておいたパターン形状が既知の標準試料の分光反射率波形データと比較して、欠陥を検出し、この検出した欠陥の分光波形データと標準試料の分光反射率波形データとの検出波長ごとの差異に基づいて欠陥の種類を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】製造効率を下げることなく、記録信号に符号間干渉が生じ得るか否かを高精度に評価することが可能な露光状態評価装置を提供する。
【解決手段】光ディスクの記録信号に対応させてレーザ光を照射したレジスト層１０１に、感光しないレーザ光を照射して反射光を検出するディテクタ１４と、検出信号から、記録信号の各符号長を判定する符号長判定部と、判定結果に基づいて、スライスレベルと交差する検出信号の傾き角度の累積分布を算出する算出部と、算出された傾き角度の累積分布に対して、複数の凸部を有するように変化する第１の条件、分布幅が所定の幅以上である第２の条件、ピーク値が所定値未満である第３の条件を満たすか否かを判定する判定部と、少なくとも１の条件を満たすと判定したとき、微細加工されて得られる凹凸パターンには符号間干渉が生じると評価する評価出力部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光ディスクの原盤にコーティングされた光透過膜を簡単に剥がす。
【解決手段】 紫外線の照射により固化し、固化すると光透過膜ＲＥ１１と一体化する剥離膜用レジン液ＲＥ２を光ディスクの原盤ＯＤＫ上の光透過膜ＲＥ１１上に滴下する。次に、原盤ＯＤＫを回転させて剥離膜用レジン液ＲＥ２を光透過膜ＲＥ１１上にて原盤ＯＤＫの外周側に移動させるとともに原盤ＯＤＫの外周端から外側に飛散させながら、滴下した剥離膜用レジン液ＲＥ２に紫外線光を照射して、原盤ＯＤＫの外周端から外側に張出した張出し部分Ａ１１，Ａ１２を有するように剥離膜用レジン液ＲＥ２を固化させて光透過膜ＲＥ１１上に剥離膜ＲＥ２１を形成する。そして、張出し部分Ａ１１，Ａ１２を摘んで剥離膜ＲＥ２１を原盤ＯＤＫから剥がし取ることにより、剥離膜ＲＥ２１と共に光透過膜ＲＥ１１を原盤ＯＤＫから剥離する。 （もっと読む）

【課題】２Ｐ法による基板成形の量産性に優れ、スタンパからの剥離性が特に良好で、高温多湿化でも反射膜層又は誘電体層に対する密着力の強い光ディスク用基盤を提供すること。
【解決手段】
樹脂組成物中に、（Ａ）１分子中に２個以上のイソシアネート基を有する有機イソシアネートと水酸基を有する３官能以上の（メタ）アクリレートを反応させて得られる６官能以上のウレタン（メタ）アクリレート、（Ｂ）３官能以下の（メタ）アクリレートモノマー、及び（Ｃ）光重合開始剤を含有する多層光ディスク用紫外線硬化型樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】スタンパーへの埋め込み特性に優れ、粘着剤成分がスタンパーに残留することが無く、かつ、粘着力に優れ、スタンパー保護用シートとしても有用なスタンパー検査用粘着シートを提供する。
【解決手段】基材シート１と、該基材シート表面に形成されたエネルギー線硬化性粘着層２とを有するスタンパー検査用シートであって、前記エネルギー線硬化性粘着層が、（メタ）アクリル酸エステル共重合体９０〜６５質量％、および分子内に重合性二重結合を有するエネルギー線硬化性化合物１０〜３５重量％を含有するエネルギー線硬化性組成物から形成されたものであることを特徴とするスタンパー検査用粘着シート。 （もっと読む）

【課題】ＲＲＯの良好な磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】ダミー領域の凹凸パターンは、そのリピータブルランアウトが回転周波数を基準の１次とした場合に１５次から４０次の間で１ｎｍ以下であるスタンパ。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、被検査体全面において短時間で不良領域を検出でき、かつ検出結果を検査工程以降の工程に反映することのできる検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】
本発明は、基体の表面に微細な凹凸パターンを形成した被検査体に放射波を照射する照射機構と、被検査体を透過した放射波を検出する検出機構を備えた検査装置、検査方法において、前記照射機構は前記被検査体の表面または裏面のいずれか一方に配置され、前記検出機構は被検査体を介して照射機構とは相対する面に配置されており、検出機構で得られた被検査体の面内の透過率分布から凹凸パターンの不良領域を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 中心に孔が形成されているスタンパーに均等な膜厚の光透過膜を形成し、且つ洗浄などの余計な工数が発生しない光ディスクの原盤の検査方法を提供すること。
【解決手段】 スタンパー１０の円孔１１を塞ぐようにスタンパー１０の記録面１０ａ側にシール３１を貼り付け、記録面１０ａの中心付近に固化すると光透過膜になる液体を供給し、スタンパー１０を回転させて液体を記録面１０ａの全体に塗布し、塗布した液体を紫外線照射により固化させて透明薄膜５０を形成し、その後シール３１を除去する。シール３１で円孔１１を塞ぐことにより、供給される液体が円孔１１から流れ落ちず、記録面１０ａに均一な透明薄膜５０が形成される。また、シール３１は安価で使い捨て可能であるので、シールを洗浄するような余分な工程を省くことができる。 （もっと読む）

【課題】光ディスク等の情報記録媒体の製造に使用するスタンパにおいて、どのような物理形状の影響がディスクドライブでの記録再生時に支配的であるか十分把握できているとはいえない。また、スタンパの凹凸やうねり等は、裏面研磨が主要因のひとつであるが、研磨の途中で抜き取り、物理形状を測定するのが煩雑であるため、スタンパの凹凸やうねり等の時間変化やメカニズムが把握されてない。
【解決手段】スタンパ裏面の高さを測定する第一の変位センサと、第一の変位センサよりもビーム径が小さく、スタンパ表面の高さを測定する第二の変位センサとを、スタンパの厚さ方向に、スタンパに対して対称となるように配置する。 （もっと読む）

【課題】簡易な手段で、スタンパのメンテナンスを確実に行うことができ、高品質の製品の量産性に優れた転写装置及び転写方法を提供する。
【解決手段】製品用基板Ｐ１及びこれとは別の清浄用基板Ｐ２を供給する供給部４と、製品用基板Ｐ１及び清浄用基板Ｐ２に樹脂を塗布する塗布部２と、製品用基板Ｐ１及び清浄用基板Ｐ２側の樹脂Ｒに、スタンパＳの凹凸面を押し付ける押圧装置３３と、スタンパＳと樹脂Ｒを剥離させるピン３１ｂと、樹脂Ｒを硬化させる紫外線照射装置３４とを有する。清浄用基板Ｐ２は、製品用基板Ｐ１よりも径が大きく、供給部４は、制御装置５からの指示に従って、所定のタイミングで清浄用基板Ｐ２を供給する。 （もっと読む）

【課題】原盤カッティング機への設置が容易で、且つ光ディスク原盤の凹凸パターンに生じたディフェクトの位置及び大きさを情報量の少ないデータで取得、格納、及び処理することが可能な原盤ディフェクト測定装置、及び原盤ディフェクト測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によれば、原盤カッティング機１０で用いられているフォーカスエラー信号及びインデックス信号を利用してディフェクトの検出を行うため、大幅な改造を行わずとも原盤ディフェクト測定装置５０を原盤カッティング機１０に容易に設置することができる。また、ディフェクトデータは信号のカウント値であるため情報量が少なく、短時間に多数のディフェクトが検出されても、ディフェクトデータの導出や伝送に不具合が生じることがない。 （もっと読む）

【課題】ヒートモードの無機レジストにおいて、原盤のレジストに凸凹の溝を形成する際に、原盤の現像終点をリアルタイムで検知することで、上記溝深さを正確に制御する。
【解決手段】原盤を回転させながら現像を行い、現像と同時にレジスト面側からレジスト表面に検出光をフォーカス制御し、レジスト面からの反射光から凹凸のプッシュプル信号振幅を検知することで、現像終点を検知する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光の使用により、コントラストが高い可視画像を効率よく記録可能な光ディスクを提供する。
【解決手段】光学フィルム上に、粘着剤を含有する粘着層が形成されたスタンパー検査用粘着シートであって、前記粘着剤の粘着力が、３（Ｎ／２５ｍｍ）以下であることを特徴とするスタンパー検査用粘着シートである。スタンパーにレーザ光を照射してその反射光により検査を行うスタンパー検査方法であって、前記スタンパーの被検査面に本発明のスタンパー検査用粘着シートを貼り合わせて前記レーザ光を照射することを特徴とするスタンパー検査方法である。 （もっと読む）

【課題】より短時間で精度の良い芯出し調整を実現する。
【解決手段】芯出しに使用する基準原盤１０３Ｒとして、半径ｒ0の基準リング９１、ドーナツリング９２，９４，９６を形成する。そして原盤製造装置では、基準原盤１０３Ｒを用いて、レーザ光の戻り光をモニタしながらレーザ光照射位置を、少なくとも基準リングの半径ｒ0より内側に位置するように調整する。この場合、レーザ光の戻り光の波形を観測することで、レーザ光照射位置を直接確認できる。即ちスライダやピックアップヘッドの調整によって、レーザ光照射位置が基準リング内となることを直接確認しながら調整を進めることができる。そしてレーザ光照射位置が基準リング内にあれば、芯出し調整精度は、必ず基準リングの半径ｒ0未満となる。 （もっと読む）

【課題】 露光された無機レジストを長時間現像する際に、現像工程を自動化し、現像液を再使用し、精密な制御を可能にする。
【解決手段】 被処理原盤２１がスピンテーブル２２に取り付けられてからプリリンス工程Ｓ１がなされる。次に、現像工程Ｓ２において第１段階の現像がなされる。現像が終了すると、リンス工程Ｓ３がなされる。そして、スピン乾燥工程Ｓ４がなされる。スピン乾燥工程Ｓ４が終了した段階で、モニタリング工程Ｓ５において、現像の進行度合いが測定される。モニタリング工程Ｓ５の測定結果から追加現像が必要か否かが判定工程Ｓ６で判定される。この判定結果に基づいて、工程Ｓ１（プリリンス）から再び追加現像処理がなされる。追加現像後に、現像が設定した段階となると、現像終了と判定される。その場合には、ポストリンス工程Ｓ７がなされる。 （もっと読む）

【課題】 光ディスクフォーカスサーボにおいて、高精度フォーカスサーボを行うことが可能な光ディスクフォーカスサーボ装置および光ディスクフォーカスサーボ方法を提供する。
【解決手段】 サーボループ設計で最大ゲインは従来通り６０dB程度とし、ゲイン、位相余裕を大きく設定する。また、このままではフォーカスサーボ偏差が１２dB残ってしまうので、請求項に述べたように、フォーカス引き込み後のフォーカスサーボ偏差を光ディスクの角度位置及びスライドステージ位置情報と共にメモリーに記憶し、フォーカス再引き込み後に、このメモリーに記憶したデータを光ディスクの角度位置及びスライド位置と同期させ光ピックアップ駆動手段で光ピックアップ全体をフォーカス方向に制御してフォーカスサーボ偏差を小さく制御しようとするものである。この結果、基本波周波数成分を７２dB以上減衰できる高精度フォーカスサーボが行われることになる。 （もっと読む）

【課題】変調されたウォブル信号の正確な性能を評価する指標を用いる情報記録媒体の評価方法、評価装置、及び情報記録媒体とその製造方法を提供する。
【解決手段】 一定の周波数でウォブルした案内溝のアドレスが、前記案内溝のウォブルを変調することで記録されている情報記録媒体の評価方法において、ウォブル信号の振幅変動量と信号対ノイズ（SＮＲ（Signal to noise ratio））量との両方の値からアドレス再生の誤り率を推定し、誤り率の少ない所定範囲を設定し、誤り率が前記所定範囲内にあるかどうかを判定する。 （もっと読む）

【課題】マスターディスクより塵埃や繊維くず等の異物を容易に除去でき、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができ、密着転写作業の生産性を向上させることができる磁気転写方法、装置及びマスターディスクのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】一対のホルダ部２２によって保持された一対のマスターディスクの間に被転写用の磁気ディスク４６を供給し、被転写用の磁気ディスクの両面にマスターディスクをそれぞれ圧接させ、圧接された被転写用の磁気ディスクとマスターディスクとに磁界を加えて一対のマスターディスク上の磁気パターンをそれぞれ被転写用の磁気ディスクの両面に転写させる磁気転写に使用されるマスターディスクのクリーニング方法。マスターディスク表面の汚染状態を検査する検査工程と、検査工程において検出されたマスターディスク表面の汚染箇所を選択的にクリーニングするクリーニング工程とを具備する。 （もっと読む）