【課題】物体の位置ずれや落下等の不具合の発生を抑制しつつ処理速度を向上する搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送アームによる物体の保持の有無を例えば吸着圧により検出し、保持無しと検出された場合における前記搬送アームが速度零から所定の移動速度Ｍａｘに到達するまでに要する時間ｔ１が、保持有りと検出された場合における前記搬送アームが速度零から当該所定の移動速度Ｍａｘに到達するまでに要する時間ｔ２よりも短くなるように、該搬送アームの移動を制御する。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の搬送及び搬出入の時間を短くし、処理能力を高めることのできる真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空容器５０に、第１のロードロック機構１と第２のロードロック機構２とが設置され、真空容器５０の外に、処理対象物５２を一時的に保持するバッファ６が配置されている。真空容器５０の外に配置された第１の外部アーム１７が、バッファ６に保持された処理対象物５２を、第１及び第２のロードロック機構１、２に搬入することができる。第２の外部アーム１８が、処理対象物５２を、第１及び第２のロードロック機構１，２から受け取る。真空容器５０の外にロボットアーム３，４が配置されている。ロボットアーム３、４は、真空容器外の保管場所５１からバッファ６へ処理対象物５２を搬送し、かつ第２の外部アーム１８に保持された処理対象物５２を受け取り、真空容器外の保管場所５１へ搬送する。 （もっと読む）

【課題】 ワーク搬送システムのスケールダウンおよび装置の小型化を図ることができ、かつ、ゴミなどの付着を防止しつつワークをスムーズに受け渡しすることができるトランスファロボットを提供する。
【解決手段】 トランスファロボットＡ１は、上下方向に開放したオープンスペース４０をもつフレーム部材４と、オープンスペース４０を跨いでフレーム部材４に梁状に設けられているとともに、ワークＷの下面を支持しながら水平方向に伸縮する複数のスライドアーム機構５と、複数のスライドアーム機構５と上下方向に干渉することなくオープンスペース４０内に収まるように設けられているとともに、フレーム部材４が下降移動して所定の位置にある状態では、相対的にオープンスペース４０よりも上方に位置し、その際、ワークＷを空気圧により浮上させて保持するエアベントステージ６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 構造簡単で安価であり、省スペース設計が容易なワーク収納装置。
【解決手段】 クランパー２０で平板状ワーク１の側端部を把持して長さ方向前方に搬送してマガジン３に挿入するワーク収納装置で、クランパー２０にワーク１をマガジン３の奥へと押し込む押込部材２１を設ける。ワーク１を上下から把持する一対の第１クランパー２０ａと第２クランパー２０ｂの少なくとも一方に押込部材２１をワーク搬送方向前方に突出させて一体に形成し、クランパー２０でワーク１をマガジン３に挿入した後、クランパー２０を閉じて押込部材２１の先端でマガジン３から突出するワーク後端部を押してマガジン３内に挿入する。 （もっと読む）

【課題】基板と位置規制部との接触を防止することにより、フラッシュランプによる熱処理時における基板の破損を防止する。
【解決手段】熱処理装置は、基板９を保持する保持部７、保持部７を昇降する保持部昇降機構、基板９にフラッシュランプからの光を照射して加熱する光照射部、および、保持部７の上方にて基板９を支持する３本の支持ピン７０を有する基板支持部７００を備える。保持部７のサセプタ７２は、基板９が載置される載置面７２２、および、載置面７２２の周囲に設けられた傾斜した側面７２３を備える。熱処理装置では、基板支持部７００から保持部７への基板９の移載時に、極めて低速（秒速１ｍｍ以下）にて基板９を上昇させることにより、載置面７２２上における基板９の横滑りを防止して基板９と側面７２３との接触を防止し、熱処理時における基板９の破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】カセットからのウェーハの飛び出しを、簡略な構造にて、高精度に検出できるウェーハ検出装置を提供する。
【解決手段】開口部１１を画定する壁部１０に、ウェーハＷを収納するカセットＣを密着させ、開口部１１を通してウェーハＷの出し入れを行う際に、カセットＣ内の収納位置から飛び出したウェーハの有無を検出するために、壁部１０に形成された開口部１１の側部において、ウェーハの主面と平行な方向においてウェーハの外周部に検出用の光を照射するための透過型又は反射型の光センサ１０１、１１１と、光センサをウェーハの配列方向に走査させる駆動機構としてのシャフト１０３、１１３、連結バー、リードスクリュー及びモータを設けた。これにより、装置を小型化しつつ、高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】
プロセステーブル等、気密容器に収納される基板載置台に傾斜が発生しない様にした昇降機構を具備する半導体製造装置を提供する。
【解決手段】
基板処理室３０と、該基板処理室内に設けられ基板２５を保持する基板載置台３１と、該基板載置台に連結され昇降可能な昇降ベース６４と、該昇降ベースを昇降させる昇降駆動部６６，６７，６８と、該昇降駆動部と前記昇降ベースを連結する連結部材６９とを具備し、該連結部材は前記昇降ベースに少なくとも傾斜方向の自由度を有する様に連結された。
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【課題】 オープンループ制御により、精確な動作が可能な駆動装置及び駆動装置の制御方法を提供する。
【解決手段】 駆動制御部１０から出力される制御信号に基づいて、ドライバ１１から所定の駆動信号が出力されて駆動源１５を動作させる。駆動制御部１０による制御動作が終了すると、振動制御部１２が駆動源を一定期間に正逆方向に交互に駆動させるような駆動制御信号を発生する。これにより駆動源１５は微振動する。駆動源の微振動による駆動力方向の力が、摩擦力等の負荷により抑制され最後まで動作できずに残存している駆動力と合算されて、駆動方向の力が摩擦等の負荷よりも大きくなると、動作部は残存駆動力に応じた距離だけ移動する。これにより、駆動制御部１０の制御信号に基づく動作が精確に実行される。 （もっと読む）

【課題】回転用モータの回転駆動力を搬送用アームに正しく伝達させるとともに回転駆動軸の回転角度を正確に検出することにより、搬送部における搬送対象物を正しい位置に搬送可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置１は、気密構造を有するハウジング６１内に、所定の同心回転軸を中心として互いに独立して回動可能に構成された第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃと、第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃの所定の部位にそれぞれ取り付けられた永久磁石３２ａ〜３２ｃと、永久磁石３２ａ〜３２ｃと対応して設けられた電磁コイル３４ａ〜３４ｃとが配設されている。電磁コイル３４ａ〜３４ｃに対し所定の情報に基づいて駆動電流を供給して第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃを駆動し、第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃに固定された第１及び第２リンケージ１２ａ、１２ｂによって搬送対象物を搬送する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は搬送構造を改善した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 本発明による基板搬送装置は、ベース部２０と；ベース部２０上に直線運動ができるように設置されて、回転体３２が備わっている運動部３０と；運動部３０の両側に並立設置されて、高さ調節が可能な一対のフレーム部４０ａ、４０ｂと；一対のフレーム部４０ａ、４０ｂの間に連結されて、フレーム部４０の高さ調節動作に連動して、上下直線運動する搬送部５０と；を含んで構成される。これにより、構造的な安全性を確保した状態で、簡便で精密に基板、特に大型基板を搬送させることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ方向又はＹ方向の移動に際する基板の位置ずれを抑制することができ、かつ小型化を可能とする基板ステージ装置を提供する。
【解決手段】昇降駆動されるプッシャ部材２ａ，２ｂが基板ステージ１２５の少なくとも５箇所に設けられ、基板１２６の四隅部及び中央部を支持してロボットとの間で基板１２６の授受を行う基板ステージ装置において、基板１２６の中央部を支持するプッシャ部材２ｂが、基板１２６を支持するプッシャ部２２と、先端部にプッシャ部２２を有し、可撓性を有して押力及び引力を伝達する伝達具２０と、伝達具２０に押引力を付与する押引力付与装置１７とを有し、プッシャ部２２を、伝達具２０に押力を与えて上昇させ、伝達具２０に引力を与えて下降させる。 （もっと読む）

【課題】複数段の基板搬送ラインのそれぞれの搬送基準位置に対して搬送対象となる基板を容易に位置合わせすることができる基板搬送装置および基板処理装置を提供する。
【解決手段】昇降コンベア３０は、上段搬送ラインＵＴと下段搬送ラインＬＴとの間で昇降動作を行う。両搬送ライン間の搬送基準位置のずれに対処するために、上段搬送ラインＵＴおよび下段搬送ラインＬＴにそれぞれ上部位置決め部４０および下部位置決め部５０を設け、昇降コンベア３０が上段搬送ラインＵＴまたは下段搬送ラインＬＴに位置したときに、上段搬送ラインＵＴおよび下段搬送ラインＬＴのそれぞれの搬送基準位置に予め正確に微調整された球面凸状部材４６，５６と昇降コンベア３０に固設された第１円錐ブロック７１および第１Ｖブロック７２とを係合させることによって昇降コンベア３０を各搬送ラインの搬送基準位置に位置合わせするようにしている。 （もっと読む）

【課題】基板を一時的に保管できるようにして、処理装置、或いはキャリアカセットの稼働効率を向上させることのできる基板バッファ装置を提供する。
【解決手段】 キャリアカセットＫに接続して設置される基板受渡し装置Ｒ₁ の奥側に、基板Ｇの搬入出方向Ｐに沿って３台のバッファカセット装置Ｂを連結し、前記各バッファカセット装置Ｂに取付けられた直方体枠状のカセットフレームＦ₂ に、前記搬入出方向Ｐと直交する水平方向及び垂直方向の双方に沿って多数本のワイヤを張力付与状態で連結したバッファカセットＣを配設すると共に、前記各ワイヤと干渉しない位置に基板Ｇを移送させるための基板搬入出ユニットＤを昇降可能に配設し、基板受渡し装置Ｒ₁ によってキャリアカセットＫから引き出された基板Ｇを、前記基板搬入出ユニットＤによって各ワイヤの直上に形成された収容棚Ｓに収容させる。 （もっと読む）

【課題】複数カテゴリのいずれか一つに割り当てられるようにしたデバイスをハンドリングする装置および方法を開示する。
【解決手段】上記装置は、垂直経路に沿ってトレイ群を移動させるようにした昇降機、当該トレイ群のトレイを選択的に固定し、当該固定されたトレイの上方に配置された追加トレイと当該固定トレイを支持するようにしたロッキング機構、および、一定の垂直位置に配置され、単数または複数のトレイを支持するための支持機構を有し、垂直経路の内外を水平移動するようにしたトレイロードアームを有する。 （もっと読む）

本発明のフークハンドリング装置は、ワークを載せるトレイを担持すると共に所定方向に往復動自在な可動テーブル（２１）、ワークに対して所定の処理を施す処理部（３０）を略中央に挟むようにしてトレイと処理部との間で往復動自在に配置され，かつ，ワークを搬送するべく水平方向及び鉛直方向に駆動される関節型アーム（４１０）及びその先端に設けら
れた複数の吸着ヘッド（４２０）をそれぞれ有する一対のハンドラ（４０，４０’）、一対のハンドラ及び可動テーブルを駆動制御する制御ユニット（７０）を備え、制御ユニットは、トレイから処理部への未処理ワークの搬入動作及び処理部からトレイへの処理済みワークの搬出動作の両動作を，一対のハンドラにそれぞれ行わせるように駆動制御する。これにより、装置が完全に停止するのを防止できる。
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【課題】 リニア増幅器とＰＷＭ増幅器を効率よく組み合わせた出力電流制御装置、この出力電流制御装置を使用したステージ装置および露光装置を提供すること。
【解決手段】 出力電流に応じてリニア増幅器１０５とＰＷＭ増幅器１０４とを使い分け、出力電流検出器Ｒ５、１０７と比較器１０６とを共通に使用する。 （もっと読む）

【課題】 ティーチング基準位置における位置合わせを、精度良く且つ効率的に行なうことができる搬送システムの搬送位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 被搬送体Ｗを保持するフォーク４８を有する搬送アーム部２０と、この搬送アーム部を移動させる移動機構３０と、搬送アーム部の移動エリア内に配置された少なくとも１つ以上の容器載置台２４と、被搬送体の偏心量と偏心方向と切り欠き目印６４の回転位置を光学的センサ６２により検出する方向位置決め装置３６と、全体の動作を制御する制御部７２とを備えて位置合わせを行なう搬送システムの搬送位置合わせ方法において、マニュアルにより被搬送体を正確に位置合わせして載置したり、被搬送体を受け取りに行き、これを方向位置決め装置に搬送してその偏心量或いは切り欠き目印の回転誤差を求めることにより真に正しい適正位置座標を得ることができる。 （もっと読む）