Fターム[5F044EE01]の内容
ボンディング (23,044) | ボンディングパッド電極 (1,310) | パッドの形状 (114)
Fターム[5F044EE01]に分類される特許
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半導体装置
電界効果トランジスタ
半導体装置
半導体装置およびその製造方法
【課題】 素子領域の金属電極層上を保護膜で覆い、該保護膜を開口して電極パッド部を形成し、電極パッド部に導電性接着材を供給して金属接続板を接続する半導体装置において、金属接続板の固着時に溶融した導電性接着材が電極パッド部から外側に広がり、半導体基板(チップ)の端部に達してショートする問題があった。
【解決手段】 一主面に素子領域2が設けられた半導体基板1と、素子領域2上に設けられた金属電極層4と、金属電極層4上を覆う保護膜5と、保護膜5の一部を開口して設けられた電極パッド部8と、電極パッド部8と電極パッド部8に直近の半導体基板1の端部との間の保護膜5に設けられた溝部9とを具備する。電極パッド部8に供給された導電性固着材11が溶融し電極パッド部8から外側に広がった場合であっても、導電性固着材11は溝部9に埋め込まれることで溝部9の外側への広がりが規制され、半導体基板1の端部に達することを防止できる。
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半導体装置及び半導体装置の製造方法
半導体チップ及び半導体装置の製造方法
半導体装置
半導体チップおよびその製造方法
能動集積回路上のボンディングのためのシステム及び方法
【課題】全体の回路設計のために消費されるシリコン領域を減少させることにより集積回路チップのコストを減少させる。
【解決手段】補強されたボンドパッド241を有する集積回路のための構造と製作方法がボンドパッド241の下に配置される集積回路の少なくとも1つの部分を含み、この少なくとも1つの回路部分が少なくとも1つの誘電層とこの少なくとも1つの誘電層に配置されるパターン形成された電導性補強構造とを含んでいる。
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半導体装置
【課題】兼用パッドのサイズを専用パッドよりも大きくするとともに、半導体装置のサイズ増大を抑制する。
【解決手段】半導体装置は、第1の方向に延伸された第1のエッジE1と、第1の方向と実質的に直交する第2の方向に延伸された第2のエッジE2とを含む半導体チップ10と、半導体チップ上に形成され、互いに第2の方向に沿った長さが実質的に等しい複数の第1グループパッドGP1と、半導体チップ上に形成され、第2の方向に沿った長さが、複数の第1グループパッドの第2の方向に沿った長さよりも長い、第2グループパッドGP2と、を備える。複数の第1グループパッドと第2グループパッドとは、第2グループパッドと第2のエッジとの間に複数の第1グループパッドのいずれをも含まずに、第1の方向に沿って一列に並んで配置されている。
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半導体装置、半導体装置の検査方法、及び、半導体装置の製造方法
半導体素子、半導体装置および半導体装置の製造方法
半導体装置、及びその製造方法
半導体装置
半導体装置、それを用いた電子部品およびそれらの製造方法
【課題】エレクトロマイグレーション現象の発生を抑制して高い接続信頼性を確保すると共に、従来技術と同等以上の放熱性および導電性を確保したフリップチップ接続部を有する半導体装置およびそれを用いた電子部品を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、球状の金属コアを内蔵したはんだボールが配設されたフリップチップ接続部を備えた半導体装置であって、前記半導体装置は前記はんだボールと電気的接続されるランドおよび前記ランドと電気的接続される引出配線を有しており、前記金属コアは前記はんだよりも高い熱伝導率と電気伝導率とを有する材料からなり、前記ランドには前記はんだボールと接続する表面に球面状の窪みが形成されており、前記窪みの中心と前記引出配線との距離が前記ランドの中心と前記引出配線との距離よりも長いことを特徴とする。
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半導体素子の製造方法及び半導体素子
【課題】少ない工程でパッド電極に段差を設けた半導体素子を製造することができる半導体素子の製造方法及び半導体素子を提供する。
【解決手段】半導体基板12上に中間絶縁膜14、下層メタル配線16、層間絶縁膜18を形成し、層間絶縁膜18上にパッド電極20を形成し、パッド電極20上に最終保護膜22を形成し、最終保護膜22上に、パッド電極20の一部に対応した第1領域に開口部を備えるレジスト22を形成し、最終保護膜22をエッチングすると共に、パッド電極20の一部の第1領域を予め定めた深さまでエッチングすることにより凹部20Aを形成し、パッド電極20の第1領域を囲う第2領域上の最終保護膜22をエッチングし、レジスト22を除去することにより、半導体素子10を製造する。
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半導体装置及びその製造方法
半導体素子
【課題】高周波特性を損なうことなく、チップ単体又はウェハレベルでプローブ検査を可能とする半導体素子を提供する。
【解決手段】EAM領域12に電界を印加又は電流を注入するEAM部電極14と、EAM部電極14と接続されたワイヤボンディング用のパッド電極15とを有するEAM付き半導体レーザにおいて、パッド電極15を複数のメッシュ穴16を有するメッシュ形状に形成した。
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ワイヤボンディング方法、ワイヤボンディング構造、半導体装置の製造方法
半導体装置およびその製造方法
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