Fターム[5F157BB01]の内容
半導体の洗浄、乾燥 (54,359) | 液体による洗浄形態(又は方式) (4,470) | 浸漬 (933)
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Fターム[5F157BB01]に分類される特許
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水性クリーニング溶液のためのフッ素化スルホンアミド界面活性剤
アニオンN−置換フッ素化スルホンアミド界面活性剤ならびにクリーニング溶液および酸エッチング溶液中での該界面活性剤の使用が記載されている。クリーニング溶液およびエッチング溶液は、例えば、酸化シリコン含有基材のクリーニングおよびエッチングにおいて多様な基材と合わせて用いられる。 (もっと読む)
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