説明

Fターム[5F172NP01]の内容

レーザ (22,729) | 制御のための検知・検出 (880) | 対象 (680)

Fターム[5F172NP01]の下位に属するFターム

Fターム[5F172NP01]に分類される特許

21 - 23 / 23


【課題】 高効率で安定してEUV光を発生させることができるEUV光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。
【解決手段】 MOPA(master oscillator power amplifier)方式に従って構成されたレーザシステム3であって、レーザ光を発生し、該レーザ光のパルス幅が所定の値まで短くなるようにレーザ光のパルス幅を制御して、並列して配置された複数のレーザ増幅系304(1)及び304(2)並びに305(1)及び305(2)において該レーザ光を増幅するレーザシステムと、複数のレーザ増幅系からレーザ光が順次出射するようにレーザシステムの動作タイミングを制御するレーザシステム制御装置4とを含む。 (もっと読む)


超短レーザパルスを使用したレーザシステムが提供される。本発明の別の態様において、本システムは、レーザと、パルス整形器と、検出機器とを含む。本発明の更なる態様では、フェムト秒レーザ及び分光計を利用する。本発明の更に別の態様では、レーザビームパルスと、パルス整形器と、SHG結晶とを使用する。本発明の更に別の態様においては、多光子パルス内干渉位相走査システム及び方法によって、フェムト秒レーザパルスのスペクトル位相の特徴づけをする。光ファイバ通信システム、光力学療法、及びパルス特性試験において、本発明の付加的態様を備えたレーザシステムを使用する。
(もっと読む)


開示されるレーザーシステムは、ビームパスに沿ってレーザービーム(12)を発するためのレーザー光源(10)と、レーザービームの周波数を安定させる手段(26,28,30)と、使用時に後方散乱光を生じさせる光学部品(134)の少なくとも1つと、後方散乱光の位相を変調するための位相変調器(120)と、を含む。光学部品は、平面鏡や光ファイバーでもよい。位相変調器は、モータ(126)によって任意に駆動される振動ガラスブロック(124)でもよい。位相変調器は、圧電素子によって周期的に圧縮されるガラスブロックであってもよい。
(もっと読む)


21 - 23 / 23