【課題】フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源として線狭帯域化用途に使用されるＤＵＶガス放電レーザシステムにおける帯域幅の能動制御の技術を提供する。
【解決手段】光源により生成されたレーザ出力光パルスビームパルスの帯域幅を測定して帯域幅測定値を供給する帯域幅測定モジュールと、帯域幅測定値及び帯域幅設定値を受信して帯域幅誤差信号を供給する帯域幅誤差信号発生器と、帯域幅誤差に応答して細かい帯域幅補正アクチュエータ信号及び粗い帯域幅補正アクチュエータ信号を供給する能動帯域幅コントローラとを含むことができる、線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】 遠隔地において、レーザ装置の状態を示す情報を、予め設定されるイベント毎にデータ収集することにより、消耗部品の寿命の予測やレーザ装置のトラブルの事前予測を行うことのできるレーザ装置管理システムを提供すること。
【解決手段】 レーザ装置２を制御しているレーザ制御装置１０は、例えば一定の放電パルス数発生など予め設定された特定のイベントが発生する毎に、当該レーザ装置２の状態を示す状態情報をレーザ装置２から取得して、監視端末２０へ送信する。監視端末２０は、受信した状態情報を通信回線５０を介してサーバ装置３０へ転送する。サーバ装置３０では、転送された状態情報を基に、自己内のデータベースを変更すると共に出力情報を生成する。この出力情報は、通信回線５０を介して表示端末４０に入力され、ここで表示される。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御が行える狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅Ｅ９５をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅Ｅ９５が、目標スペクトル純度幅Ｅ９５_０の許容幅Ｅ９５_０±ｄＥ９５内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】ファイバレーザ加工装置において、アイソレーション・アンプを要することなく小規模で低コストの装置構成によって励起用レーザダイオードのオープン故障およびショート故障を確実に検出すること。
【解決手段】このポンプＬＤ電源回路５０において、スイッチング制御部６６は、ポンプＬＤ３６（３８）と直流電源５２との間に接続されるスイッチング素子５４をパルス幅変調（ＰＷＭ）制御方式によってスイッチング制御し、ポンプＬＤ３６（３８）に流れる駆動電流Ｉ_dの電流値を設定値に一致または近似させるようにしている。デューティ監視部６８は、スイッチング素子５４のスイッチング動作のデューティを監視し、デューティに基づいてポンプＬＤ３６（３８）のオープン故障またはショート故障を検出する。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＡ方式ファイバレーザ加工装置に用いる励起用レーザダイオード電源装置において、電流リップルが無くて応答性に優れ、しかも十分大きな駆動電流を励起用レーザダイオードに安定に供給する。
【解決手段】このポンプＬＤ電源回路３２は、直流電源５２に対して、互いに並列に接続され、ポンプＬＤ３６（３８）とは直列に接続される複数の駆動トランジスタ５４(1)，５４(2)，５４(3)および複数の出力抵抗５６(1)，５６(2)，５６(3)を有している。駆動トランジスタ５４(1)，５４(2)，５４(3)のエミッタ端子は、モニタ抵抗５４(1)，５４(2)，５４(3)を介して出力測定回路６４の入力端子に接続されている。制御部５８は、出力測定回路６４からの出力測定値ＭＩが設定値に一致するように、駆動トランジスタ５４(1)，５４(2)，５４(3)のベース端子に与える制御電圧Ｖ_C（または制御電流）を可変制御する。 （もっと読む）

【課題】常に安定な出力及び波長を得ることが可能な、注入同期式又はＭＯＰＡ方式のレーザ装置を提供する。
【解決手段】このレーザ装置は、オシレータ放電によってレーザガスを励起するオシレータ放電回路を有するオシレータと、増幅放電によってシードレーザ光を増幅する増幅放電回路を有する増幅器と、シードレーザ光の発光から出射レーザ光の発光まで、或いは、オシレータ放電の開始から増幅放電の開始までの遅れ時間を設定する遅延回路と、オシレータ及び増幅器にそれぞれ設けられ、オシレータ放電回路及び増幅放電回路にそれぞれ印加される充電電圧に基づいてトリガ信号からオシレータ放電及び増幅放電の開始までの総所要時間のジッタを補正する複数のジッタ補正回路と、オシレータ放電回路及び増幅放電回路の特性の変化に基づいて複数のジッタ補正回路をそれぞれ補正する複数のドリフト補正回路とを具備する。 （もっと読む）

【課題】複数の励起用レーザダイオードの負荷を均一化すること。
【解決手段】光ファイバを用いてレーザ光を発生または増幅するファイバレーザ装置１において、光ファイバ１１，２１に対して励起光を供給する複数のレーザダイオード１６，１７，２４，２５と、複数のレーザダイオードを駆動する駆動手段（駆動部１８，１９，２６，２７）と、光ファイバから出射されるレーザ光が所望の強度になり、かつ、複数のレーザダイオードのそれぞれの負荷が等しくなるように駆動手段を制御する制御手段（制御部３０）と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】放電負荷の負荷変動による過電流検出保護回路の誤動作、および、高電圧スイッチング電源の半導体制御素子の過電流による損傷を防止し、高信頼性のレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】インバータ部６の出力電流を１次電流検出部で検出し、検出電流値が所定の電流値を超えた場合にインバータ部制御素子のゲートパルス幅を縮小させて、インバータ部６の出力電流値を制限するパルス幅制限手段３７の保護回路によりインバータ部制御素子で発生する電力損失を減少させて熱破壊より防止する。 （もっと読む）

【課題】すなわち送風手段を用いずにレーザガスを冷却する事、および良質なレーザビームを取り出せる安定型共振器を両立させる事が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを循環するレーザガス流路１のチャンバー２に、電極５、６と直流の電源７からなる放電手段を設け、この放電手段による直流電流方向１３と直行方向に磁界を印加するための磁界発生手段１２を設け、チャンバー２内の放電手段によりレーザガスに流れる電流と、この電流に直角方向に磁界を掛けたので、放電によりプラズマ化したレーザガスが電磁力によって移動するので従来のような送風手段を廃止できるものである。 （もっと読む）

【課題】
エラーが発生したレーザ装置を早急に復旧し、またモジュール交換の労力及びコストを低減する。
【解決手段】
故障診断時に所定のレーザ発振を行うことでエラー状態を再現し、そのレーザ発振の動作結果を用いることによって被検査モジュールの故障診断をする。 （もっと読む）

出力エネルギのターゲット値に比較されたレーザシステムの出力エネルギの値に関連する誤差信号に基づく第１のレーザ作動パラメータ制御信号を提供するレーザシステムエネルギコントローラ、及びレーザシステム出力エネルギの値をターゲット値に変えるのに必要な第１のレーザ作動パラメータの値のエネルギコントローラモデルと、ターゲット値に出力エネルギの値を変えるのに必要な第１のレーザシステム作動パラメータの値に及ぼす第２のレーザシステム作動パラメータの影響のコントローラ信号修正モデルに基づいて、第１のレーザシステム作動パラメータ制御信号に対する修正を提供する第１のレーザシステム作動パラメータ制御信号修正器とを含むことができるガス放電レーザシステムエネルギコントローラを含むことができる方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】
レーザの高出力化及び高繰り返し化を実現する２ステージレーザのパルスエネルギー制御を高精度に行い、パルスエネルギーを安定化させる。
【解決手段】
制御部は、今回パルスで動作させる増幅段の励起強度（充電電圧）を、今回パルスで目標とするパルスエネルギーと、前回パルスまでにその増幅段を動作させて出力したパルスエネルギーと、そのパルスエネルギーを出力したときにその増幅段に供給された励起強度と、を用いて求め、求めた励起強度が今回パルスで動作させる増幅段に供給されるように制御する。 （もっと読む）

【課題】予期せぬ箇所にレーザが照射されることを防止する。
【解決手段】レーザ発振装置は、発振器２０と、シャッタ２２と、制御装置３０とを含む。発振器２０は、レーザ光６０を発振する。シャッタ２２は、発振器２０が発振したレーザ光６０を遮断する。制御装置３０は、レーザ光６０を遮断する状態とレーザ光６０を放出させる状態との間の状態にシャッタ２２がある期間を含む移行期間はレーザ光６０の発振を停止するよう制御すると共に、移行期間以外の期間は発振器２０によるレーザ光６０の発振と停止とを制御する。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源として線狭帯域化用途に使用されるＤＵＶガス放電レーザシステムにおける帯域幅の能動制御の技術を提供する。
【解決手段】開示内容の実施形態の態様により、光源により生成されたレーザ出力光パルスビームパルスの帯域幅を測定して帯域幅測定値を供給する帯域幅測定モジュールと、帯域幅測定値及び帯域幅設定値を受信して帯域幅誤差信号を供給する帯域幅誤差信号発生器と、帯域幅誤差に応答して細かい帯域幅補正アクチュエータ信号及び粗い帯域幅補正アクチュエータ信号を供給する能動帯域幅コントローラとを含むことができる、線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御方法及び装置を開示する。細かい帯域幅補正アクチュエータ及び粗い帯域幅補正アクチュエータは、各々、帯域幅誤差を低減する光源挙動のそれぞれの修正を誘導することができる。粗い及び細かい帯域幅補正アクチュエータは、各々、複数の帯域幅補正アクチュエータを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】分解することなく、レーザ出力の低下原因を判定可能なレーザ発振器を提供する。
【解決手段】励起光源１０と、励起光源１０に電流を供給する電源３０と、複数の光学部品で構成され、励起光源１０から照射された励起光によってレーザ光を出力するレーザ発振部２０と、レーザ光を受光し、その強度に対応した信号を出力するパワーセンサ４０と、連続発振時において、レーザ光の強度が予め定められた第１の強度である場合に電源３０から励起光源１０に供給される第１の電流値、及びパルス発振時において、レーザ光の強度が予め定められた第２の強度である場合に電源３０から励起光源１０に供給される第２の電流値の何れかが所定の基準値よりも大きく、且つ第１の電流値と第２の電流値の差が所定の閾値よりも小さい場合、励起光源１０が劣化していると判定するプロセッサ５０とを有するようにレーザ発振器１００を構成する。 （もっと読む）

【課題】変調信号パターンに依存せずに比較的安定して出力の変調が可能な和周波方式の光波長変換装置及びその制御方法を提供することである。
【解決手段】光波長変換装置は、ＤＦＢレーザなどの第1、第2の光源11、19と、第1、第2の光源11、19から夫々発せられる第1、第2の光を入射してその和周波光を出力する非線形光学素子31を有する。第1、第2の光源11、19に夫々注入される第1、第2の駆動電流を制御する制御手段が、第1の駆動電流を高電流状態と低電流状態の間で選択的に変調すると共に、それと同期して第2の駆動電流を低電流状態と高電流状態の間で選択的に変調する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】光源における出力異常の検知漏れを抑制し得、従来に比べて信頼性の高い安全システムを備えた光線治療器を提供する。
【解決手段】光源となる半導体レーザ３ａと、半導体レーザ３ａに駆動電流を供給する駆動回路１と、光源の出力制御及び出力異常の検知を行うコンピュータ制御装置７とを備え、コンピュータ制御装置７は出力異常を検知したときに駆動電流の供給を制限する光線治療器において、コンピュータ制御装置７から独立して、出力異常を検知し、且つ、駆動電流の供給を制限する出力異常検知回路２１を備えさせる。 （もっと読む）