【課題】レーザチャンバ内の全ガス交換の回数を抑制する。
【解決手段】このエキシマレーザ装置は、ハロゲンガスを含む第１レーザガスを収容した第１容器と、第１レーザガスよりもハロゲンガス濃度の低い第２レーザガスを収容した第２容器と、に接続され、第１レーザガス及び第２レーザガスのレーザチャンバの内部への供給を行うガス供給部を含んでもよい。そして、ガス供給部による第２レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気のいずれかを行うガス圧制御と、ガス供給部による第１レーザガス及び第２レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気の両者を行う部分ガス交換制御と、を選択的に行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ装置の内外の環境要因に大きく左右されるレーザおよびレーザパワーモニタを備えたレーザ装置であっても、該環境要因の影響を効果的に減じて、定格出力から低出力まで、精確にレーザ出力を補正できる高出力レーザ装置の提供。
【解決手段】レーザ装置１０は、レーザ出力値を測定するレーザパワーモニタ１２と、レーザパワーモニタ１２により測定された出力測定値とレーザ出力指令値とが合致するように、レーザ電源１４への励起エネルギー注入量を補正する出力補正機能を備えたレーザ制御装置１６とを有し、レーザ制御装置１６は、レーザ出力指令を作成するレーザ出力指令部１８を有し、レーザ出力指令は、補正する必要がない場合は励起エネルギー指令に換算されてレーザ電源１４に送られるが、補正の必要がある場合はレーザ制御装置１６の出力補正部２４がレーザ出力指令を補正する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を効率的に増幅する。
【解決手段】ＥＵＶ光源装置は、レーザ装置と、前記レーザ装置から出力されたレーザ光を入力して所定のターゲット物質に集光し、該レーザ光の集光によって励起した前記所定のターゲット物質から放射した極端紫外光を集光しつつ出力するチャンバと、を備える。レーザ装置は、スラブ型増幅装置と、前記光を出力するマスタオシレータと、前記スラブ型増幅装置から出力された光を増幅する増幅器と、を備える。スラブ型増幅装置は、自由空間軸と導波軸とを有する第１スラブ型増幅器と、前記第１スラブ型増幅器の入力段に配置され、該第１スラブ型増幅器に入力する光の偏光方向および断面形状の少なくとも一方を変換する第１ビーム調節部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御が行える狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅Ｅ９５をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅Ｅ９５が、目標スペクトル純度幅Ｅ９５_０の許容幅Ｅ９５_０±ｄＥ９５内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができる極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザは、発振によりレーザ光を生成して出力する発振器と、発振器から出力されるレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを有する。増幅器は、レーザ光を入力するための第１のウィンドウ及びレーザ光を出力するための第２のウィンドウを有し、放電により励起された媒体のエネルギーを用いて、第１のウィンドウに入力されるレーザ光を増幅して第２のウィンドウから出力する放電部と、発振器から出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウに出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウにもう１度出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を所定の方向に出力する光学系とを含む。 （もっと読む）

【課題】短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するＥＵＶ光源装置用ドライバーレーザを実現する。
【解決手段】このドライバーレーザは、（ｉ）短パルスレーザ光を出力するレーザ装置と、レーザ装置から出力される短パルスレーザ光を光パラメトリック発振により広帯域化する光パラメトリック発振装置とを有するレーザ発振器と、（ii）レーザ発振器から出力されるレーザ光を入力し、該レーザ光を櫛状の利得スペクトルで増幅して出力する少なくとも１つのＣＯ_２レーザ増幅器とを具備し、レーザ発振器が、ＣＯ_２レーザの再生増幅器を用いてレーザ光を櫛状のスペクトルを有する光パルスに変換することにより、光パラメトリック発振装置によって広帯域化されたレーザ光を少なくとも１つの増幅器の利得スペクトルに整合させるスペクトル整合器をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】常に安定にレーザ光の出力を検出可能な紫外線レーザ装置用エネルギー測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光の出力を検出する光検出器(37)と、光検出器(37)の前方に配置され、光検出器(37)に入射するレーザ光を拡散させる拡散板(36)とを備えたレーザ装置用エネルギー測定装置において、紫外線光を予め照射し、拡散板(36)の透過率の変化を略飽和させた拡散板を用いることを特徴とする、レーザ装置用エネルギー測定装置。 （もっと読む）

【課題】
レーザ装置の製造時の機差によるＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきや、レーザ装置の交換やメンテナンスに伴うＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきを抑制し、半導体の露光装置が形成する集積回路パターンの品質を安定させる。
【解決手段】
先ず予め複数の狭帯域化レーザ装置に共通するスペクトル幅の上限値と下限値とを設定しておく。そして、狭帯域化レーザ装置のメンテナンス時や出荷時など、狭帯域化レーザ装置を半導体露光の光源として使用する前に、狭帯域化レーザ装置をレーザ発振してスペクトル幅を検出する。この際、スペクトル幅が予め設定した上限値と下限値との間の値になるように、狭帯域化レーザ装置に備えられたスペクトル幅調整部を調整する。 （もっと読む）

【課題】高出力レーザであっても微小なレーザを安定して出力する。
【解決手段】レーザ装置（１）は、互いに直列に配置された第一および第二のレーザ励起領域（２１、２２）と、第一のレーザ励起領域に第一のエネルギを注入する第一電源ユニット（ＰＳＵ１）と、第二のレーザ励起領域に第二のエネルギを注入する第二電源ユニット（ＰＳＵ２）と、を具備し、第一電源ユニットは、レーザ発振が開始される臨界注入エネルギ以上の所定の励起エネルギを第一のエネルギとして第一のレーザ励起領域に注入し、第二電源ユニットは、放電管が予備放電するのに必要とされる予備励起エネルギと臨界注入エネルギとの間で第二のレーザ励起領域に注入されるエネルギを第二のエネルギとして第二のレーザ励起領域に注入し、それにより、レーザ出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】比較的短いパルス幅のパルスレーザ光を小型且つ簡素な構成で、安定して増幅して出力することを可能にする。
【解決手段】再生増幅器は、光共振器を形成する一対の共振器ミラーと、一対の共振器ミラー間に配置され、所定波長のレーザ光を増幅するスラブ増幅器と、スラブ増幅器内をレーザ光が往復通過するマルチパスを形成するよう配置され、レーザ光の第１の位置における光学像をレーザ光の第２の位置における光学像として転写する、光学システムと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光出力を安定化する。
【解決手段】ドライバレーザから出力されたレーザ光をもとに極端紫外光をバースト出力する極端紫外光生成装置であって、過去にバースト出力された極端紫外光のパラメータログをもとに、バースト出力される極端紫外光の少なくとも１パルス目を含む１パルス以上の先頭側パルスエネルギーのエネルギー制御を行うエネルギー制御部を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能なレーザ装置および極端紫外光生成装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、回折格子と、出力されるレーザ光が前記回折格子に入射し、かつ前記レーザ光それぞれの前記回折格子による異なる次数の回折光の少なくとも１つが所定の方向に進行するように配置される複数の半導体レーザと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低コヒーレンス化と高強度とを実現する。
【解決手段】固体レーザ１０から出力されたシード光Ｌｂをシード光Ｌｂよりも短波長のレーザ光Ｌ１に変換した後、レーザ光Ｌ１を増幅して出力するレーザ装置１は、シード光Ｌｂを短波長のレーザ光Ｌ１に変換する前に、シード光Ｌｂを低コヒーレンス化する低コヒーレンス機構２０を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体露光装置の２ステージシステムの紫外ガスレーザにおいて、出力エネルギーを減少させることなくレーザ光の偏光純度を高くすること。
【解決手段】レーザ光を出力する発振段レーザと、前段のレーザから出力されたレーザ光を増幅して出力する一以上の増幅段レーザと、少なくとも一つの前記増幅段レーザのレーザ光軸上に設けられ、レーザ光に含まれ互いに直交する二つの直線偏波状態の成分のうちの一方を高反射率で反射し、他方を高透過率で透過する偏光子と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】放電時のノイズで過電流と誤判断し、高電圧電源４を構成するスイッチング素子のゲート信号などを誤って停止させ、レーザ発振装置およびレーザ加工機の継続使用を阻害するという課題を有していた。
【解決手段】放電電流比較器１１の比較結果において放電電流検出器９の検出値Ｃが放電電流下限設定器１０の設定値Ｄ以下の場合で、かつ出力電流比較器７の比較結果において出力電流検出器５の検出値Ａが出力電流上限値設定器６の設定値Ｂ以上の場合に、高電圧電源の出力を停止する。 （もっと読む）

レーザ制御システムは、発振器ガスチャンバ及び増幅器ガスチャンバを収容する。第１の電圧入力は、発振器ガスチャンバ内の電極の第１の対及び増幅器ガスチャンバ内の電極の第２の対に電気パルスを送出するように作動的に接続される。ガスチャンバの出力は、台形ウィンドウにより計算されたエネルギ線量である。制御回路は、第１の電圧入力を変更するために第１の電圧入力に接続される。フィードバック制御ループは、第１の電圧入力を変更するために制御回路にガスチャンバの出力を通信する。 （もっと読む）

【課題】共振器内に複数対の電極を配置して、放電の周期をずらして交互に発振させるツインチャンバ方式の電源装置において、スイッチング素子のターンオン時間の変化により発振段レーザと増幅段レーザ間の同期ずれが生ずるのを防止すること。
【解決手段】発振段レーザ用の高電圧パルス発生器１２に２個のスイッチＳＷ１−１，ＳＷ１−２を設けて並列に接続し、スイッチＳＷ１−１と増幅段レーザ用の高電圧パルス発生器３３のスイッチＳＷ２−１、および、スイッチＳＷ１−２と増幅段レーザ用の高電圧パルス発生器３４のスイッチＳＷ２−２とをそれぞれ同じタイミングで動作させ、これらを交互に動作させる。これにより、高電圧パルス発生器１２と高電圧パルス発生器３３，３４のスイッチング周波数を同じとし、スイッチング素子のターンオン時間の遅れの変化をキャンセルすることができる。 （もっと読む）

【課題】
エラーが発生したレーザ装置を早急に復旧し、またモジュール交換の労力及びコストを低減する。
【解決手段】
故障診断時に所定のレーザ発振を行うことでエラー状態を再現し、そのレーザ発振の動作結果を用いることによって被検査モジュールの故障診断をする。 （もっと読む）

出力エネルギのターゲット値に比較されたレーザシステムの出力エネルギの値に関連する誤差信号に基づく第１のレーザ作動パラメータ制御信号を提供するレーザシステムエネルギコントローラ、及びレーザシステム出力エネルギの値をターゲット値に変えるのに必要な第１のレーザ作動パラメータの値のエネルギコントローラモデルと、ターゲット値に出力エネルギの値を変えるのに必要な第１のレーザシステム作動パラメータの値に及ぼす第２のレーザシステム作動パラメータの影響のコントローラ信号修正モデルに基づいて、第１のレーザシステム作動パラメータ制御信号に対する修正を提供する第１のレーザシステム作動パラメータ制御信号修正器とを含むことができるガス放電レーザシステムエネルギコントローラを含むことができる方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】
レーザの高出力化及び高繰り返し化を実現する２ステージレーザのパルスエネルギー制御を高精度に行い、パルスエネルギーを安定化させる。
【解決手段】
制御部は、今回パルスで動作させる増幅段の励起強度（充電電圧）を、今回パルスで目標とするパルスエネルギーと、前回パルスまでにその増幅段を動作させて出力したパルスエネルギーと、そのパルスエネルギーを出力したときにその増幅段に供給された励起強度と、を用いて求め、求めた励起強度が今回パルスで動作させる増幅段に供給されるように制御する。 （もっと読む）