【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御が行える狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅Ｅ９５をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅Ｅ９５が、目標スペクトル純度幅Ｅ９５_０の許容幅Ｅ９５_０±ｄＥ９５内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】 共振器を備えた高出力ガスレーザ発振器・増幅器において、共振器を構成するミラーで表面損傷及び歪みが発生しないように照射するピークエネルギ密度を減少させ、レーザの中心波長が変化したとしてもレーザ出力が減少しないようにする。
【解決手段】 リア側ミラー１と出力側ミラー２とからなる共振器と、その共振器中に配置されレーザガスが封入されたレーザチャンバー３と、レーザチャンバー３内のレーザガスを励起する励起手段４、５とを備えたガスレーザ装置において、レーザチャンバー３とリア側ミラー１の間、及び、レーザチャンバー３と出力側ミラー２の間の少なくとも一方に、ミラー側のレーザビームの径あるいは幅を広げるビーム拡大光学系６１、６１’を介在させた高出力ガスレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】冷却液の漏洩を防ぐことができるガスレーザ発振装置を得る。
【解決手段】内部にレーザガスが封入される風洞容器５０と、風洞容器５０内に対向して設けられ、一部に電極がそれぞれ形成された一対の誘電体電極１ａ，１ｂを有する放電電極１００と、誘電体電極１ａ，１ｂ内部に埋設された冷却路８とを備え、一対の誘電体電極１ａ，１ｂの電極に電圧を印加してそれぞれの電極形成部間の空間に放電を発生させると共に、冷却路８内に冷却液を通し誘電体電極１ａ，１ｂを冷却するように構成し、誘電体電極１ａ，１ｂの冷却路８は、電極形成部の誘電体部と、電極形成部間の放電空間よりレーザガスの下流側に対応する誘電体電極の誘電体部とに、それぞれ埋設すると共に、冷却路８を樹脂又は金属で形成したものである。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー化を促進するとともに、装置の小型化を促進することができるガスレーザ装置用温度調節装置を提供すること。
【解決手段】精度の高い温度調節を必要とする放電部１１ａ〜１４ａと放電部１１ａ〜１４ａに比して低い精度の温度調節を必要とし放電部１１ａ〜１４ａに比して高い温度の温度調節を許容する電源部１１ｂ〜１４ｂとを有した複数のレーザ装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、各放電部１１ａ〜１４ａを温度調節する冷却水を生成するチラー３２と、各電源部１１ｂ〜１４ｂを温度調節する冷却水を生成するチラー３１と、チラー３２と各放電部１１ａ〜１４ａとを並列接続する配管Ｌ２と、チラー３１と各電源部１１ｂ〜１４ｂとを並列接続する配管Ｌ１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真鍮や銅からなる配管の冷媒による腐食を防止し、長期に渡って安定した性能を維持できるレーザ発振装置の製造方法および保存方法を提供する事を目的とする。
【解決手段】放電管３と、放電管３にレーザガスを流すための送風手段１５と、送風手段１５と放電管３の間に位置してレーザガスを冷却する熱交換器１３、１４と、熱交換器１３、１４へ冷却水を送る銅または真鍮からなる配管を備えたレーザ発振装置の製造方法であって、配管を接続する前に、非アンモニア系化合物および非尿素系化合物からなる洗浄剤で洗浄するものである。 （もっと読む）

【課題】送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を実現し、且つ高品質なレーザビームを得る。
【解決手段】励起用放電空間に対して重力方向の上部に配置されたレーザ媒体加熱部と、前記レーザ媒体加熱部に対して重力方向の上部に配置された熱交換器と、前記熱交換器と励起用放電空間とレーザ媒体加熱部とを環状に接続したレーザガス経路と、前記レーザガス経路中に配置され、前記熱交換器と励起用放電空間との間に設けられたレーザガス過冷却部とを備えた事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】送風機、熱交換器、ガス配管は、ガスレーザ発振装置を構成する部品の多くを占めていて体積の小型化ならびに材料費の低コスト化の大きな障害になっていた。
【解決手段】内部にレーザガスを配置した筐体１９と、前記筐体１９の内部に対向配置した放電電極２３、２４と、前記放電電極２３、２４よりも筐体１９の外側でレーザの光軸２０方向に対向配置した部分反射鏡２６と反射鏡２５を備え、前記筐体１９は、その内部に前記放電電極２３、２４によるレーザガスへの放電空間２１よりも大なる直径の空間を有し、前記放電空間２１の方向に延びる冷却フィン２７を前記レーザの光軸２０方向に間隔を開けて複数設け、かつ冷却媒体の通路を設けたことにより、放電によるガス温度上昇ならびに冷却による温度降下でガスの対流を発生させ、レーザガスの循環を可能にした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真鍮や銅からなる配管の冷媒による腐食を防止し、長期に渡って安定した性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供する事を目的とする。
【解決手段】放電管３と、放電管３にレーザガスを流すための送風手段１５と、送風手段１５と放電管３の間に位置してレーザガスを冷却する熱交換器１３、１４を備え、熱交換器１３、１４へ冷却水を送る配管として、銅または真鍮を用い、配管の接合部分を非アミン系化合物の接着剤で接着したもので、非アミン系化合物の接着剤を配管の接合部分に用いるので、銅や真鍮を腐食せず、長期に渡って水漏れ事故による装置の故障を防止できる。 （もっと読む）

【課題】送風手段より発生するオイルミストのガス経路内混入およびガス消費量の増加を防止し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】送風手段１０、１１のギアー室の圧力を検出するギアー室圧力検出手段４２と、ガス循環経路１２のレーザガス２を排気する第１ガス排気通路３１と、第１ガス排気通路３１にガス排気量調整手段３３を設け、ギアー室圧力検出手段４２で検出した圧力が所定の圧力より上昇した時に第１ガス排気通路３１からのレーザガス２の排気量を減少させるガス排気量調整手段３３を設けた。 （もっと読む）

【課題】ベーキング時に電気系統が損傷するのを防止する共に消費電力を低減する。
【解決手段】レーザガスを循環路（１３）に循環させる送風機（１４）と、循環路内のレーザガスを冷却する熱交換器（１２ａ、１２ｂ）とを具備するガスレーザ発振器（２）のベーキング方法において、ガスレーザ発振器の放電管（９）に電圧を印加せず、非放電状態で、熱交換器を冷却する冷却水の流量をガスレーザ発振器の放電運転時において熱交換器を冷却する冷却水の流量よりも低下させ、送風機の送風時に生じる送風熱のみによってガスレーザ発振器をベーキングする。さらに、循環路におけるレーザガスの温度を検出し、検出されたレーザガスの温度が所定の温度範囲内にあるように、熱交換器を冷却する冷却水の流量および／または送風機の送風量を調節してもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガス流方向の温度分布に伴う光軸の曲がりを抑制しつつ、鏡の角度調整を容易に精度良く行うことを目的とするものである。
【解決手段】第１の筐体内確認用窓２とそれに対向する第２のアパーチャ部材１８との間に位置する第２のダクト１２の光軸方向の端部には、第１の開口が設けられており、この第１の開口には第１の透明部材２１が設けられている。第２の筐体内確認用窓３とそれに対向する第１のアパーチャ部材１７との間に位置する第１のダクト８の光軸方向の端部には、第２の開口が設けられており、この第２の開口には第２の透明部材２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】
レーザの高出力化及び高繰り返し化を実現する２ステージレーザのパルスエネルギー制御を高精度に行い、パルスエネルギーを安定化させる。
【解決手段】
制御部は、今回パルスで動作させる増幅段の励起強度（充電電圧）を、今回パルスで目標とするパルスエネルギーと、前回パルスまでにその増幅段を動作させて出力したパルスエネルギーと、そのパルスエネルギーを出力したときにその増幅段に供給された励起強度と、を用いて求め、求めた励起強度が今回パルスで動作させる増幅段に供給されるように制御する。 （もっと読む）

【課題】ランプから放射される光子を有効に利用することを可能とし、レーザガスを所望のイオン化状態にするために必要な電力を有効に利用する。
【解決手段】レーザガスをガス放電するための励振手段を設け、レーザガスに光子を放射してレーザガスの解離を促進するランプ７６とを設ける。このランプ７６を保持し内壁がランプ７６の光をレーザガスの放電領域に集光させる凹面状の部分を有するランプハウジング７７を設ける。ランプハウジング７７の凹面状の部分はＡｕなどの光反射材料でコーティングされている。
【選択図】図１５
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【課題】スラブレーザを製造する場合における製品ばらつきを緩和する或いは、調整項目を低減する。
【解決手段】電気的にアースされるとともに光共振器を保持するためのフランジ１２を有する真空容器内に細長い導電性電極１、２が設けられる。この導電性電極１、２を冷却する導電性電極１、２内に冷却媒体を伝送するための冷却パイプ２５、２６が、埋め込まれ或いは張り付けられている。この冷却パイプ２５、２６とフランジ１２とを接続する冷却媒体保持ブロックＡ２０が設けられる。
【選択図】図８
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【課題】レーザ発振器のアライメント変化或いは、レーザ媒質の利得変化を検出し、最適なアライメント状態を維持する。
【解決手段】アライメント調整機構を有するレーザ発振器６５の外部に空間フィルタ６４が設けられ、空間フィルタ６４に取り付けられた複数の温度センサ６６からの出力信号を演算回路６３で処理し、演算回路６３からの出力によってレーザ光が空間フィルタ６４の光軸上を透過するようにアライメント調整機構の調整式鏡保持機構が動作する。
【選択図】図１１
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【課題】
オシレータおよびアンプを備えた多段増幅型レーザ装置でオシレータおよびアンプのチャンバを効率よく利用することによって作業労力や交換部品を低減する。
【解決手段】
一定期間が経過するタイミングでオシレータおよびアンプのチャンバを交換する際に、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所からチャンバを取り外し、そのチャンバをオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所に取り付ける。こうしてオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所で使用したチャンバの劣化度の余裕分を、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所で消費する。 （もっと読む）

出力レーザ光パルスビームのパルスをパルスバーストで生成する、狭帯域ＤＵＶ高出力高繰り返し率ガス放電レーザのための線幅狭小化装置及び方法が開示され、線幅狭小化モジュール内に収容される分散中央波長選択光学部品を含み、分散波長選択光学部品の分散表面上にそれぞれのパルスを含むレーザ光パルスビームの入射角により少なくとも一部が求められる各々のパルスに対する少なくとも１つの中央波長を選択し、分散中央波長選択光学部品に作動的に連結され、第１の方法により、分散表面の曲率を変化させるように作動する第１の分散光学部品曲げ機構と、分散中央波長選択光学部品に作動的に連結され、第２の方法により、分散表面の曲率を変化させるように作動する第２の分散光学部品曲げ機構と、を含むことができる。第１の方法は帯域幅の第１の測定値を変更し、第２の方法は帯域幅の第２の測定値を変更して、第１の測定値と第２の測定値の比率が実質的に変化するようにすることができる。第１の測定値はスペクトルピーク値の選択された割合におけるスペクトル幅であり（ＦＷＸ％Ｍ）、第２の測定値はスペクトル強度の幾つかの選択された割合が含まれる幅（ＥＸ％）とすることができる。第１の分散光学部品曲げ機構は、第１の寸法において分散表面の曲率を変化させ、第２の分散光学部品曲げ機構は、第１の寸法に対して一般に直角である第２の寸法において分散表面の曲率を変化させることができる。レーザシステムは、異なる屈折率と隣接する光学素子とは反対の屈折率の温度勾配とを有する材料を含むビーム経路挿入体を含むことができる。第１の分散光学部品曲げ機構は、第１の寸法における分散表面の曲率を変化させ、第２の分散光学部品曲げ機構は、第１の寸法に対して一般に平行である第２の寸法において分散表面の曲率を変化させることができる。レージングキャビティにおける光学ビームねじり素子は、レーザ光パルスビームを光学的にねじって、ねじられた波面を分散中央波長選択光学部品に提示することができる。曲げは、例えば、バーストにおいて、曲率及び波長の選択を変化させることができ、２つの中央波長ピークを生成して、ＦＷＸ％Ｍ及びＥＸ％を独立して選択することができる。
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【課題】
中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】
増幅用レーザ装置３００から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置１００で放電を開始してから増幅用レーザ装置３００で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。
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