単一の質量流量を少なくとも二つの流れライン（１２２ａ、１２２ｂ）に分割するための流量比率制御装置（１０６）を含むガス送出システム用の反対称最適制御アルゴリズムを提供する。各流れラインは、流量計（１２４）及びバルブ（１２６）を含む。流量比率制御装置の両バルブは、単一の入力信号出力ＳＩＳＯ制御装置と、インバーターと、二つの線型飽和器とを含む反対称最適制御装置によって、比率フィードバックループを通して制御される。ＳＩＳＯ制御装置の出力を、二つのバルブに加えられる前に分割し変更する。二つのバルブ制御コマンドは、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置に対し、実際上、反対称である。これらの二つのバルブコマンドが、夫々の線型飽和器を、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置で二つの飽和限度の一方として通過するため、一方のバルブが、任意の時期に、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置に保持されると同時に、他方のバルブが、流量比率を維持するように能動的に制御されるという正味の効果が得られる。
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【課題】蒸発材料の移送管において、管内の流れをスムースにするとともに、弁開閉時においても、蒸発材料の濃度が変化するのを抑制し得る蒸発材料の流量制御装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料移送管６内の途中に配置されて且つ連通用開口穴１２が形成された中段鉛直部１１ｂを有する仕切部材１１と、上記中段鉛直部の連通用開口穴に対して水平方向で移動自在に設けられて当該連通用開口穴を開閉し得る円錐状部１５ｂが先端に形成されたニードル弁体１５と、このニードル弁体を上記連通用開口穴に対して移動させてその円錐状部により当該連通用開口穴を開閉させる開閉手段１８と、上記ニードル弁体を挿通されて先端部が円錐状部の中心から外方に突出するように設けられるとともに先端部にガス放出穴１６ａが形成されたガス放出管１６と、上記ニードル弁体側と蒸発材料移送管側との間に設けられた密封用のベローズ２１とから構成したもの。 （もっと読む）

本発明は、サーモスタット混合栓の動作形態を安定化するために用いられる水流の動的制御をする装置に関する。この装置は、ピストン（８）と、ピストンを第１の位置へ強制連行する復帰ばね（１７）とを備えるバルブを有しており、そのピストンは流れに依存して２つの位置へ動くことができる。流れが閾値を下回っているとき、ピストンは第１の位置にあり、流量制限手段（１０）が流れを制限している。流れがこの閾値を上回っているとき、ピストンは第２の位置へ動き、流量制限手段が橋渡しされる。
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【課題】１次側の圧力変動だけでなく、２次側の圧力変動に対して優れた流量制御の応答性を発揮し、高精度の流量制御が可能になる液体用レギュレータを提供すること。
【解決手段】液体用レギュレータ１０は、空気等の気体による操作圧力を第１ダイアフラム１４に受けて弁開度の調整力を発生させる第１のダイアフラム室１６と、２次側から導入した液体の圧力変動を第２ダイアフラム１５に受けて弁開度の調整力を発生させる第２のダイアフラム室１７と、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７で各々発生した調整力を受けて軸方向へスライドする軸部１２と、軸部１２と一体に動作して弁開度の調整を行う弁体１３と、第１のダイアフラム室１６と第２のダイアフラム室１７との間でお互いに干渉しないように遮断する仕切壁１１ａと、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７間で流体の流通を遮断するベローズ２２とを具備して構成した。 （もっと読む）

非対称性ボリュームブースタ組立体は、第一の方向および第二の方向に移動可能な差動アクチュエータ（24）と、アクチュエータと連通している第一のブースタ（44）と、アクチュエータと連通している第二のブースタ（48）とを備えている。第一のブースタは、第一の供給流路（60）と、第一の排出流路とを備えており。第一の供給流路は、第一の流体流抵抗を生じるように構成されている。第二のブースタは、第二の供給流路（58）と、第二の排出流路とを備えている。第二の供給流路は、流体をアクチュエータに供給し、第二の排出流路はアクチュエータからの流体を排出する。第二の排出流路は、第二の流体流抵抗を生じるように構成されている。第一の流体流抵抗は、第二の流体流抵抗よりも大きくなっているので、アクチュエータは、第一の方向および第二の方向に対して略対称に移動するようになっている。 （もっと読む）

流路に差圧を発生させ、半導体デバイスに用いられるガスの流量を制御する差圧式流量制御器が提供される。差圧発生要素は半導体デバイスの製造に用いられるガスの流路に差圧を発生させ、流路上のバイパスに設置される圧力センサは差圧を検出し、中央処理装置（ＣＰＵ）はガスの流量を測定および制御する。その結果、本発明は、ガスの流量を精密かつ迅速に制御することができるとともに、差圧発生要素自体のフィルタリング機能によってガスの純度を高めることができる。

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