【課題】より精度の高い液面制御が可能となり、無駄な調整を低減することができる液面制御装置及び液面制御方法を提供する。
【解決手段】液が貯留される容器２０と、供給路１０と、払い出し路３０と、供給路１０及び払い出し路３０の流量を調節するコントロール弁１２及び払い出しポンプ３２と、容器２０の液面がＨ，Ｌに達しているかを検知するレベルスイッチ２０Ｈ，２０Ｌとを備える液面制御装置１において、制御部４０が、レベルスイッチ２０Ｈ，２０Ｌの検知結果から供給量と排出量との差であるΔＷを演算し、ΔＷが０に収束するように供給路１０及び払い出し路３０の流量を調節することにより、容器２０の液面の高さを制御する。このため、供給量及び排出量の変化等の外乱に対する追従性がより良く、より精度の高い液面制御が可能となり、無駄な調整を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】ポンプを用いて基台内を循環させる液体を貯留するタンク内の液面が変化してもタンク内の液面を一定の範囲に維持してポンプに起因する脈動を常に確実且つ安定的に軽減することができる脈動軽減装置及び検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の脈動軽減装置１６は、循環配管１２に接続されて空間部を残して冷媒を貯留する第２タンク１６Ａと、第２タンク１６Ａ内の冷媒の液面を検出する第１、第２液面センサ１６Ｂ、１６Ｃと、第１、第２液面センサ１６Ｂ、１６Ｃに電気的に接続され且つこれらのセンサ１６Ｂ、１６Ｃからの検出信号に基づいて作動する空気制御装置１６Ｄと、を備え、第２タンク１６Ａの空間部を満たす空気等の気体がポンプ１３から冷媒を吐出する際の脈動を軽減する緩衝体として働くように構成されている。 （もっと読む）

【課題】電極の本数に関わらず設置可能で安価な給水装置を提供する。
【解決手段】受水槽４の水を需要側に供給するポンプ７−１，７−２と、受水槽の液位を検出する液位検出手段３−１，３−２と、を備えた給水装置において、液位検出手段が検出する液位の数に応じた複数の液位制御パターンを記憶する記憶部と、記憶部に記憶された液位制御パターンを決定する決定手段と、決定手段に応じて決定した液位制御パターンと液位検出手段により検出された液位に応じて前記ポンプを回転駆動するポンプ制御手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】固形分を含有する流体の流量が設定値からズレないように流量計の測定値をオンラインで校正すること。
【解決手段】固形分を含有する流体を貯蔵するタンク１と、タンク１へ流体を送るポンプ８と、流体の貯蔵レベルがタンク１の上限／下限レベルに到達した際にポンプ８を停止／稼働するタンクレベル制御手段６と、タンク１から流体配管３を通って流出する流体の流量を測定する流量計４と、流量計４の測定値を校正する校正手段６と、流量計４の測定値に基づいて流体配管３を流れる流体の流量を調節する流量調節手段５とから構成される流量制御装置１５において、前記校正手段６は、タンク１内の流体の貯蔵レベルが上限レベルから下限レベルまで低下するまでの期間内に、流体の貯蔵量の変化量を求め、当該貯蔵量の変化量に基づき前記期間の少なくとも一部の時間内の流体の平均流量を計算し、当該平均流量の計算値により流量計４の測定値を校正する。 （もっと読む）

化学溶液浴を所望の濃度で維持するブレンダーシステムを提供する。ブレンダーシステムは、少なくとも２つの化合物（例えば、アンモニアおよび過酸化水素）を受けて、ブレンドし、化合物の混合物を選択された濃度で含む溶液を、化学溶液浴の選択された体積を維持するタンク（２）に送達するように構成されたブレンダーユニット（１００）を含む。さらに、ブレンダーシステムは、化学溶液浴中で少なくとも１つの化合物を選択された濃度範囲内に維持するように構成されたコントローラー（１１０）を含む。コントローラーは、タンクに送達される溶液内で、化合物の濃度を選択された濃度範囲内に維持するようにブレンダーユニットの少なくとも１つの動作、および、化学浴内の化合物の濃度が目標範囲から外れる場合は、タンクに入る溶液およびタンクから出る溶液の流速の変更を制御する。 （もっと読む）

複数の物質を流れの中に組み合わせるための装置（１０）および方法。複数の物質には、多量の方の物質および一つ以上の少量の方の物質の両方が含まれてもよい。少量の方の物質は、入口管（１４１）を使用して加えられる。多量の方のおよび少量の方の物質は、制御信号からの指令次第で、過渡または定常状態の流量にて加えられる。本装置および方法は、流れ制御弁、流れ制御フィードバックループ、または動的混合タンクを有さない、制御システムを利用する。実流量は、指令された流量に追従するが、誤差による逸脱がある。特許請求された構成は、従来技術では得ることができないと考えられる時間基準の誤差を提供する。
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複数の物質を組み合わせるための装置と方法である。複数の物質には、主要物質および一つ以上の副次的物質の両方が含まれてもよい。主要および副次的物質は、制御信号からの指令次第で、過渡または定常状態の流量にて加えられる。実流量は、指令された流量に追従するが、誤差による逸脱がある。本請求された構成は、先行技術では得ることが不可能であった瞬間誤差及び時間をベースとする誤差を得る。
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【課題】特許文献１に記載の脈動軽減装置の場合には、メインチャンバーを補助チャンバーの高い位置に配置し、メインチャンバー内で空気が溶け込んで増量した液体を補助チャンバーへオーバーフローさせ、その液分を補助チャンバー内の空気で置換するため、例えば、半導体ウエハ等の被処理体の検査装置のように被処理体を載置体上で冷却する場合には、載置体内を循環させる冷媒がメインチャンバー内で気化し易く、液体の気化容量が液体への空気等の溶解容量を上回り、メインチャンバー内の気体の圧力が上昇し、脈動軽減機能を損なう。
【解決手段】本発明の脈動軽減装置１０は、空間部を残して冷媒を貯留する第１タンク１５Ａと、第１タンク１５Ａにこれより高い位置に配置された状態で接続され且つ第１タンク１５Ａ内に冷媒を補充する補充タンク１５Ｂと、第１タンク１５Ａと補充タンク１５Ｂの空間部とを接続する気体抜き配管１５Ｃとを備えている。 （もっと読む）

【目的】運転立ち上がり時において、制御量を迅速に任意の目標値に収束させることができるインライン混合装置及びその制御方法を提供すること。また、制御運転中に制御量が変動した際及び目標値を変更した際にも制御量を迅速に目標値に収束させることができるインライン混合装置及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】運転開始前において、流量調節器の操作量に対する制御量の特性を表す特性データを基に、設定された目標値に対する運転開始時の流量調節器の操作量を算出し、運転開始から所定時間は、運転開始時の操作量で流量調節器を運転し、所定時間後に流量調節器を自動制御する。自動制御運転中に偏差が大きくなった場合は、偏差の大きさに応じて制御定数を可変させるか、又は当該運転開始時の操作量に操作量を一時的に固定させる。 （もっと読む）