【課題】温度制御管理に関する機能性が高く信頼性を向上させる。
【解決手段】反応管及び反応管内部のウェーハを加熱処理するためのヒータと、上記反応管の温度を測定して上記ヒータの温度を調節する温度調節用の複数の第１の温度センサと、上記反応管の温度を測定して上記反応管の温度を監視する監視用の複数の第２の温度センサと、上記複数の第１の温度センサのうちの任意の第１の温度センサが故障したときは、上記故障した任意の第１の温度センサにより測定される温度に代えて、上記複数の第２の温度センサのうち上記任意の第１の温度センサの近傍に設けられた第２の温度センサにより測定される温度に応じて、上記ヒータヘの電力供給の制御を継続させる制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置内における柔軟な温度制御を実現可能な温度制御装置を提供する。
【解決手段】複数の温度制御部１００を具備する。複数の温度制御部１００の各々は、冷却ファン１０９と、温度を測定する温度測定部１０２と、測定済みの複数の温度の値を時系列に記憶する温度履歴部１０３と、測定済みの複数の温度の値の中から読み出された第１温度を、再現閾値温度として設定し、第１温度を設定した後に温度計測部１０２で測定される第１測定温度が第１温度に一致するように冷却ファンを制御する制御部１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電磁油圧制御手段に通電する電流を制御する電流制御ユニットと放熱部材との接触状態を判定することができる自動変速機用油圧制御装置の検査方法を提供する。
【解決手段】 自動変速機用油圧制御装置の検査方法では、最初に指令電流値と実油圧値との関係を示す規範マップを作成する（Ｓ１０１）。次にＴＣＵが電流を発生している状態において、ＴＣＵの温度をサーミスタで検出する（Ｓ１０３）。ＴＣＵにはＴＣＵで発生する熱を放出する放熱板が接触している。ＴＣＵで発生する熱が放熱板を通って外部に放出される場合、ＴＣＵの温度は測定許容範囲内で安定するため、ＴＣＵと放熱板との接触状態は正常であると判定する（Ｓ１０４）。このとき、規範マップを補正するデータを収集する（Ｓ１０５）。一方、ＴＣＵで発生する熱が放熱板を通って外部に放出されない場合、ＴＣＵの温度は測定許容範囲を超えるため、接触状態は異常と判定して検査を中止する。 （もっと読む）

【課題】円滑にオイルを戻すことができ、且つオイル返し運転の際に、制御対象の温度変化を抑制することができる温度制御装置及び恒温恒湿装置を提供することを課題とするものである。
【解決手段】恒温恒湿装置１は、試験室２と、加熱器（ヒータ）３と、加湿器５を備えている。恒温恒湿装置１は、冷却手段として冷凍機を２基搭載している。「冷媒回路のいずれかを絞った状態で長時間に渡って冷凍機が運転された場合」にオイル返しモード運転が行われる。オイル返しモード運転では、冷凍機Ａのバイパス開閉弁１６ａを開き、且つ蒸発器１１ａに溜まったオイルを強制的に排出すことができる回転数で圧縮機７ａを運転し、この状態を一定時間維持する。当初の回転数からオイル返しモード運転に適する回転数に至るまでに、ゆっくりと圧縮機７ａの回転数を上げる。 （もっと読む）

【課題】冷却装置において、装置内部を効率よく冷却することを目的とする。
【解決手段】電子装置の装置内部を冷却する冷却装置において、前記電子装置の内部温度を検出する温度センサと、前記電子装置の筐体周囲部に設けられた複数の冷却ファンと、前記温度センサの検出温度が予め設定された規定温度を超えたとき前記複数の冷却ファンのいずれかを選択的に駆動してエアフローの方向又は向きを変更し前記検出温度が低下するエアフローを生成する制御部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】装置内の部品を温度変動から保護し、装置の性能を保証する。
【解決手段】温度制御装置は、温度変動からの保護対象となる保護部１１と、前記保護部を収容する筐体内の温度を測定する装置内温度測定部１３と、前記筐体内の温度を調整する温度調整部１と、天候情報を取得する天候情報取得部１４と、前記天候情報を解析し、保護部１１が保証する温度変動を超える温度変動が生じると予測した場合には、天候の変化が生じるよりも早いタイミングで温度調整部１２を制御して、前記筐体内の温度勾配が緩やかになるように制御する制御部１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】温度制御装置が管理する状態量のみを利用して、加熱装置の保温性または冷却装置の保冷性の状態を評価する。
【解決手段】状態評価装置は、操作量ＭＶを取得する操作量ＭＶ取得部１と、操作量ＭＶの積算値ＭＶ＿Ｓを算出する操作量積算値算出部２と、温度設定値ＳＰを取得する温度設定値ＳＰ取得部３と、操作量ＭＶの積算値ＭＶ＿Ｓと温度設定値ＳＰとを入力値として、加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量である理想操作量出力値ＭＶ＿Ｒを求める理想操作量出力値算出部４と、操作量ＭＶが理想操作量出力値ＭＶ＿Ｒから規定幅以上外れている場合に、加熱装置の保温性が異常な状態にあると判定する保温特性判定部５と、加熱装置の保温性が異常な状態にあることをオペレータに通知する判定結果出力部６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】定着ローラが過昇温する前にヒータへの電力供給を停止する。
【解決手段】周期タイマ８からタイマ出力があると、検出温度と目標温度を比較し、検出温度が目標温度より高い場合は、出力ポート１０にポートＰ２をオフするライトアクセスを行い、他方、検出温度が目標温度より低い場合は、出力ポート１０にポートＰ２をオンするライトアクセスを行う。既に出力ポートＰ２がＨとなっているときに、検出温度が目標温度より低かった場合も、出力ポート１０に対してポートＰ２をオンするライトアクセスが行われる。監視タイマ１１の異常検出により、マイクロコンピュータ６の動作に異常があることを検出できる。 （もっと読む）

【課題】発熱する電子機器を備えた装置の温度を適切に制御することができる温度制御装置を提供すること。
【解決手段】発熱する電子機器を備えた基地局装置１０の温度を制御するＣＰＵ１６と、電子機器が発する熱を電磁波に変換する変換部１２と、変換部１１によって変換された電磁波を透過する透過部１１とを備え、透過部１１は、電磁波の透過度を調節可能であり、ＣＰＵ１６は、基地局装置１０の温度または電子機器の温度に応じて透過部１１の透過度を調整するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】温度制御管理に関する機能性が高く信頼性を向上させる。
【解決手段】反応管４内部のウェーハを加熱処理するためのヒータ２と、上記ヒータ２の温度を測定して上記ヒータ２の温度を調節する温度調節用の複数の第１の温度センサ３と、上記ヒータ２の温度を測定して上記ヒータ２の温度を監視する監視用の複数の第２の温度センサ６と、上記複数の第１の温度センサ３のうちの任意の第１の温度センサ３が故障したときは、上記故障した任意の第１の温度センサ３により測定される温度に代えて、上記複数の第２の温度センサ６のうち上記任意の第１の温度センサ３の近傍に設けられた第２の温度センサ６により測定される温度に応じて、上記ヒータ２ヘの電力供給の制御を継続させる制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】抵抗ヒータの温度制御における消費電力を抑え、抵抗ヒータの電圧等の測定に関して分解能の低下や誤差の増大を抑える。
【解決手段】温度制御装置５は、温度依存性抵抗ヒータ１１と、ＰＷＭコントローラ７１と、加算器５２と、反転増幅器５３と、ＰＷＭスイッチＳＷ１と、差動増幅器５４と、差動増幅器５５と、ＡＤＣ５６と、を備える。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオンである場合に、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって強電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオフである場合、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって弱電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１は、ＰＷＭ信号がオフの場合における差動増幅器５４、差動増幅器５５及びＡＤＣ５６の信号に基づき、温度依存性抵抗ヒータ１１の温度を設定温度に近づけるようにＰＷＭ信号のデューティ比を新たに設定する。 （もっと読む）

【課題】 所定環境が特定条件を満たす場合に限り被制御回路が作動する制御機能付き回路であって、いずれの所定環境下でも、当該制御機能付き回路が正常に作動するか否かを検査できる制御機能付き回路、及びその検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明の制御機能付き回路１０は、センサ（第１温度センサ１２）により検知された所定環境（環境温度）が特定条件（０℃以下）を満たす場合に限り、被制御回路（ヒータ１１）を作動させる制御手段（マイクロコンピュータ１４）を備える。制御手段は、制御機能付き回路１０が正常に作動するか否かを診断する自己診断手段（ステップＳ５）と、商用電源３０からの通電が所定パターンで断続されたか否かを検知し、所定パターンの断続を検知したときには、自己診断手段を作動させる断続検知手段（ステップＳ１〜Ｓ４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 機器の異常な温度上昇を防止するために、温度過昇防止サーモスタット等の過熱保護部品が用いられる。しかし、この保護温度は一定であった。
【解決手段】 本発明は、保護温度の異なる温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)を複数備え、この複数の温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)を選択的に切り替える選択機構(9)を備える温度過昇防止装置である。また、本発明は、内部(2)の温度を検出する温度センサ(4)と、この温度センサ(4)の出力に応じて前記内部(2)の温度が所定の温度になるように加熱手段(3)の加熱を制御する制御部(10,12)と、前記内部(2)の温度に応じて前記加熱手段(3)の加熱を停止させる温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)とを備える加熱装置(1)において、前記温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)の保護温度を選択できる加熱装置である。 （もっと読む）

【課題】筐体内の温度制御を簡易な構成で容易に行なうことができる温度制御装置を得ること。
【解決手段】筐体内の温度を制御する温度制御装置において、筐体内に配設される基板上で基板上に配設されている他の部品と協働して所定の演算処理を行うとともに、筐体内の温度を制御する制御部２を備え、制御部２は、筐体内の温度が筐体内の基板上の部品に対して動作保証されている動作保証温度よりも低い場合に、筐体内の温度が動作保証温度以上となるまでアイドル動作して発熱し自らの温度を上昇させることによって筐体内の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】圧縮機を保護を実現しながら、熱負荷の変動がある発熱体の発熱量に追随して冷却制御することを可能とする冷却装置を提供する。
【解決手段】制御装置４０は、収納室４内の空気温度が所定の冷却開始設定温度に上昇した場合に圧縮機２２の運転を開始し、収納室４内の空気温度が所定の冷却停止設定温度に低下した場合に圧縮機２２の運転を停止すると共に、圧縮機２２が停止してからの所定の再起動禁止時間を有し、圧縮機２２の停止後、再起動禁止時間が経過する以前に収納室４内の空気温度が冷却開始設定温度に上昇した場合、冷却停止設定温度を初期冷却停止設定温度より下げる補正を行う冷却停止設定温度補正モードを実行する。 （もっと読む）

【課題】恒温液循環装置において、外部装置の熱負荷変動による循環液の温度変化幅を小さく抑え、外部装置の性能を安定化させる。
【解決手段】恒温の循環液をポンプ１４によって送給する管路１２の吐出口１２ａと戻り口１２ｂとに、外部装置２における循環液の配管３を接続する恒温液循環装置１において、上記管路に、流量センサ１５と、該管路からの循環液の吐出温度（Ｔ１）及び循環液の戻り温度（Ｔ２）を検出する温度センサ１６，１７を設け、それらの出力に基づいて求められる外部装置の熱負荷に応じて、コントローラ１８により、循環液の流量及び温度を制御する。その制御は、吐出及び戻り温度の差が設定値よりも小さい場合、循環液の温度制御によりその熱負荷に対応させ、該温度の差が設定値よりも大きくい場合、上記温度制御に加えて外部装置の配管への循環液流量の増加により上記熱負荷に対応させる。 （もっと読む）

【課題】 複雑な温度プロファイルであっても、温度可変装置の温度制御を精度良く行う温度制御システムと温度制御装置を提供する。
【解決手段】 時系列上の複数の時点と該時点のそれぞれにおける目標設定温度とを含む目標設定温度情報の入力操作部１３と、前記時点のそれぞれにおける温度制御用のＰＩＤ制御情報の入力操作部１４と、これらの情報表示を行う情報表示部１９と、目標設定温度を定めた時点間隔を複数に分割した時間毎のペルチェモジュール１の制御操作量を前記ＰＩＤ制御情報に基づいて求める温度可変装置操作量算出部３１と、温度可変装置操作量算出部３１により求めた温度可変装置の制御操作量の算出値に基づき、被温度可変対象物９の温度（温度検出素子１０の検出温度）が前記目標設定温度情報と一致するようにペルチェモジュール１の制御操作量を調節制御する温度可変装置操作量制御手段３２とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 無駄な電力を消費する事がなく、熱源近傍であってもセンサの読み取り精度が落ちないようにする。
【解決手段】 センサの周りをケーシングし、ケースにサーモモジュール（ペルチェ素子）を接触させた構成において、ケース外の環境変化に応じて、サーモモジュール（ペルチェ素子）への電流をＯＮ／ＯＦＦ制御する。 （もっと読む）

【課題】 タンクから外部へ液体を流通させる配管を設けなくともよく、且つタンク内での液体の温度差を無くし、液体温度を高精度に制御できる恒温槽を提供する。
【解決手段】 液体が貯留される内タンク３６と、内タンク３６を内部に収納する外タンク３８とから成る二重壁構造のタンク３１が設けられ、内タンク３６と外タンクと３８の間は、液体が流通する流路４０として設けられ、内タンク３６の上部および底面には、内タンク３６の内部と流路４０とを連通させる連通孔４２，４４が設けられ、内タンク３６内の液体を、内タンク３６の底面に設けられた連通孔４２から流路４０を経て内タンク３６の上部に設けられた連通孔４４から再度内タンク３６内に流入するように循環させる循環手段４８が設けられ、外タンク３８の外壁面にサーモモジュール５２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 無駄がなく、より省エネルギーである恒温恒湿装置の開発を課題とする。
【解決手段】
湿度調節回路３０と空調通路５を備える。空調通路５には、空気冷却用熱交換器６、加熱ヒータ７、ファン１０が配されている。空気冷却用熱交換器６には、液体冷媒が流通する。液体冷媒は、設定環境における露点Ｄｐに温度制御されている。湿度調節回路３０には乾式除湿装置３１が配されている。乾式除湿装置３１は、回転部材３５と処理空気導通路３６と再生空気導通路３７を備えている。回転部材３５は、内部に固形乾燥剤が充填されている。 （もっと読む）