【課題】 迅速に精度良く磁極合わせを行う。
【解決手段】 門型ステージ１と、門型ステージを移動させる二つのリニアモータ３０ａ，３０ｂとを備える門型ステージ装置の制御方法であって、一方のリニアモータ３０ａのみに対して通電を行うことで、その可動子３２ａを少なくとも一回ずつ以上正逆それぞれの方向へ移動させ、各移動について、そのリニアモータの固定子３１ａに対する可動子の通電位相角を求めると共に、各正逆方向のそれぞれの移動ごとに求められた通電位相角を統計処理により一の通電位相角に決定し、同様に、他方のリニアモータ３０ｂのみに対する通電により、当該リニアモータについても一の通電位相角を決定する。 （もっと読む）

【課題】 推力ムラを取り除き、精度の良い推力直接制御を可能とするリニアモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 リニアモータの位置ｘに対するリニアモータの電流分布Ｄ（ｘ）を予め求めておく。目標推力に対応する計算制御電流Ｉに対し、リニアモータの実際の制御電流をＩ・Ｄ（ｘ）とする。リニアモータの位置ｘに対するリニアモータの電流分布Ｄ（ｘ）は、速度一定制御を行って求める。 （もっと読む）

【課題】 リニアモータの位置決め精度を向上する装置を提供する。
【解決手段】 固定子２０は、表面磁性が異なる２種類のマグネットを直線移動方向に交互で、一定間隔に配列した構造を備える。可動子３０は、固定子２０に対して一定間隔を維持しつつ、直線方向に移動自在に配置されコイルを備える。可動子３０と一体に設けられる検出ヘッド５０は、固定子２０の磁束を検出して、制御装置６０へ送る。固定されたレーザ測長器１００は、可動子に設けたターゲット１１０に対してレーザビームＬＢを照射し、その反射光から、レーザ測長器とターゲットとの間の距離寸法を高精度に測定する。マグネットスケールとして利用する固定子２０の位置と、測定されたレーザ測長器１００の高精度の位置データとを比較し、固定子の位置に対応する補正データを算出し、記憶装置７０に記憶し、モータの位置決めに利用する。 （もっと読む）

【課題】 コストの増大と大型化を伴わずに、輻射ノイズと消費電力を低減することができるリニアモータ用通電制御回路を提供する。
【解決手段】 リニアモータ用通電制御回路は、２つのスイッチ素子Ｓ１、Ｓ２を交互にオン・オフ制御することによりＰＷＭパルスを発生するスイッチ回路１と負荷６が接続される出力端子４ａ、４ｂとの間に、磁気的に結合されたインダクタンスＬ１、Ｌ２とコンデンサＣ２を含む平滑回路５を設けると共に、スイッチ素子Ｓ１、Ｓ２と並列に回生ダイオードＤ５、Ｄ６を接続することにより構成される。 （もっと読む）

本発明は、制御ユニット（１）がパラメータ化の可能な速度コントローラ（２６）及びパラメータ化の可能な補助コントローラ（２８）を備え、可動機械部（７、８）の位置（２９）を検出し、前記可動機械部（７、８）の位置を変化させるための電動機（５）を備えた電動機（５）の制御方法に関する。速度コントローラ（２６）の少なくとも１つのパラメータ（３１）および／又は補助コントローラ（２８）の少なくとも１つのパラメータ（３３）を可動機械部（７、８）の位置（２９）に応じて変化させる。
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【課題】 構造が簡単で製造コストの安い振動防止装置を備えたリニアモータを提供する。
【解決手段】 固定ベース１１上に交互に異極が配列され、表面が平板状の界磁部１３と、界磁部１３に対向して移動磁界を形成する電機子１４を有する第１の移動部１７とを備えて、第１の移動部１７を往復移動させるリニアモータ１０であって、界磁部１３に対向して移動磁界を形成する電機子２１を有する第２の移動部２４を備え、第２の移動部２４は第１の移動部１７の移動方向に対して逆方向に移動し、負荷を含む第１の移動部１７から発生する反力を相殺するようにしている。 （もっと読む）