【課題】 ケーブル重量を考慮してアクチュエータに推力を分配することで、位置決め精度を高め、整定時間を短縮し、高性能な制御が可能な可動テーブル制御装置を提供する。
【解決手段】 固定部との間に電力線などのケーブルによって接続された可動テーブル１０７を駆動するアクチュエータ１０５及び１０６と、該アクチュエータの発生する推力を制御するアクチュエータ推力制御器１０３及び１０４と、可動テーブル１０７の位置指令から重心まわり推力指令を算出する制御器１０１と、重心まわり推力指令をアクチュエータ推力指令に変換する推力指令変換器１０とを備えた可動テーブル制御装置において、推力指令変換器１０が可動テーブル１０７のみの重心位置をケーブル込み重心位置に換算する重心位置変換器１２と、可動テーブル１０７の位置指令値またはフィードバック値を用いてケーブルのテンションを算出するケーブルテンション算出器１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールによる高精度な位置決めを行うものでありながら、その検出区間を限定して磁気スケールの設置範囲を小さくすることにより、コンパクト化が求められる分野でも利用することができるようになり、しかも、磁気スケールが設置されていない区間においても、可動子の位置検出を可能にする。
【解決手段】 可動子３の直線駆動範囲に部分的に設定された検出区間で位置検出を行う第一位置検出手段４Ａと、直線駆動範囲全域で位置検出を行う第二位置検出手段４Ｂとを備え、第一位置検出手段４Ａは、精密な位置検出が可能なリニアスケールで構成し、第二位置検出手段４Ｂは、可動子３に設けられる磁気センサＳでシャフト２の磁束を検出することにより可動子３の位置検出を行うものとする。 （もっと読む）

【課題】簡素且つ軽量な構成で高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】移動部材３の両端近傍をスライダ３ｄ、３ｄと支持部３ｂとでそれぞれ支持することで、移動部材３をガイドレール２，２に沿って精度良く移動させることができると共に、移動部材３に熱膨張が生じた場合でも、その熱膨張分を静圧軸受３ａを介して基台１に対して非接触状態で支持される支持部３ｂの変位により吸収し、移動部材３に歪みを与えない。更に、リニアモータ５、５が、基台１に対して、移動部材３の両端側を駆動するので、スライダ３ｄ、３ｄと支持部３ｂとで移動時の抵抗が異なる場合でも、リニアモータ５、５による駆動を相対的に調整することで、駆動時における移動部材３の姿勢変化を抑えることができ高精度な位置決めを実現できる。又、移動部材３の両端側を駆動することで移動部材３の剛性を低くでき、移動部材３の軽量化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】磁束密度を検出するセンサを用いることなく可動子を正確に移動制御することが可能なリニアモータ、リニアモータを搬送装置として備えた画像読取装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】リニアモータ１に、直線状に複数の磁石が配列された固定子４と、位相補正値を含む三角関数に基づく電力が供給される電磁コイルが固定子４に沿って可動なように設けられた可動子７と、可動子７が固定子４の原点に移動するときに供給される電流値の基準となる基準電流値が記憶された記憶部１８と、初期動作の際に可動子７への供給電流が基準電流値以上であるときは位相補正値を変更する制御部１７と、可動子７の移動状態を検出するリニアエンコーダ１３を備え、制御部１７はリニアモータ１の電源投入時又は初期動作の開始時に可動子７が移動しているときは可動子７を停止させてから初期動作を行う。 （もっと読む）

【課題】ＰＷＭ・リニア併用方式を採用しつつシーク動作の短縮化を図った磁気ディスク制御装置を提供する。
【解決手段】ＶＣＭドライバは、モード制御信号に対応して上記磁気ヘッドが隣接するトラックを順次に走査するトラッキング動作のときにリニア動作を行い、上記磁気ヘッドがトラックを跨いで移動するシーク動作のときにＰＷＭ動作を行う出力段を有する。電圧生成部は、同じ駆動電圧に対応した上記ＰＷＭ動作とリニア動作との間のオフセットに相当するオフセット補償電圧を形成する。上記ＶＣＭドライバは、上記リニア動作のときには駆動電圧を上記出力段の入力端子に伝えて上記ボイスコイルモータを駆動する。上記ＶＣＭドライバは、上記ＰＷＭ動作のときには駆動電圧に上記オフセット補償電圧を加えて上記出力段の入力端子に伝えて上記ボイスコイルモータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置の位置決めするためのモータ制御システムにおいて、永久磁石の温度変化によって生じるモータ定数の変化を補償すること。
【解決手段】位置決めシステムはパターニング支持体および基板支持体を位置決めする。この位置決めシステムは、ステータと支持体に連結されたムーバとを備えるモータと、モータに印加される電流を制御するための出力を提供するコントローラを備えたモータ制御システムとを有する。モータ制御システムは、ムーバおよび関連支持体の重量を補償するのに必要なコントローラ出力を決定し、このコントローラ出力の、ムーバおよび関連支持体にかかる重力を補償するのに必要な出力からの偏差を決定し、この偏差に基づいてモータに印加される電流を補正する。 （もっと読む）

【課題】 シャフト型リニアモータの位置決め制御システムにおける大幅なコストダウンを可能にし、シャフト型リニアモータの用途を飛躍的に拡張することができるだけでなく、シャフト型リニアモータにおける位置検出装置の一体化を容易にし、コンパクト化が求められる分野での利用を促進する。
【解決手段】 複数の棒状磁石が直列状に配列されたシャフト２と、該シャフト２にスライド自在に外嵌する可動子３とを備え、該可動子３の内部に設けられるコイルの励磁により、可動子３を直線的に駆動させるシャフト型リニアモータ１の位置検出装置４であって、可動子３に、シャフト２の磁束を検出する磁気センサＳを設けると共に、該磁気センサＳの検出信号に基づいて可動子３の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】可動部分を固定部分に対して平行に、安定して支持することができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明は、画像安定化用レンズを移動させるアクチュエータ（１０）であって、固定側部材（１２）と、画像安定化用レンズが取り付けられた可動側部材（１４）と、この可動側部材を支持する可動側部材支持手段（１８）と、可動側部材に取り付けられ、画像安定化用レンズの光軸を中心とする円周上に配置された少なくとも３つの駆動用磁石（２２）と、固定側部材に各駆動用磁石に対応して取り付けられた駆動用コイル（２０）と、固定側部材に取り付けられ、駆動用磁石の磁力によって、可動側部材を固定側部材に吸着させる吸着用ヨーク（２６）と、可動側部材の位置を検出する位置検出手段と、検出された位置情報に基づいて、各駆動用コイルに流す駆動電流を制御する制御手段（３６）と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 減速ギアを必要とせず、直接に負荷に接続可能な高駆動力、低慣性、軽量のリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】 互いに一定の間隔を隔てて位置し、同一方向（Ｚ方向）に平行に延びる複数の第１磁石配列３ａ，３ｃと、隣接する第１磁石配列の間に間隔を隔てて位置し、Ｚ方向に平行に延びる１又は複数の第２磁石配列３ｂと、第２磁石配列を空隙を隔てて取り囲むように巻かれた複数の可動コイル２からなりＺ方向に移動可能に案内された１又は複数の可動子１と、各可動コイルに電流を流す電流印加装置２０とを備える。第１磁石配列と第２磁石配列は、交互に異極になるように直線状に配列された複数の柱状永久磁石５からなる。各可動コイル２に電流を流すことにより可動子１をＺ方向に移動する駆動力を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 プラテンの軌道面に沿ってＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される一群のフォーサを介してステージを所望位置に高精度で位置決めでき、かつ、迅速に整定できるリニアパルスモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 プラテン４のＸＹ平面上の所望位置に一群のフォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２を介してステージ３を駆動する際、フォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２のオープンループ制御によりステージ３は所望位置まで迅速に駆動され、フォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２のクローズドループ制御によりステージ３は所望位置に高精度に整定される。 （もっと読む）

【課題】 プラテンの軌道面に沿ってＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される一群のフォーサを介してステージを所望位置まで高速度で円滑に駆動できるリニアパルスモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 プラテン４のＸＹ平面上の所望位置に一群のフォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２を介してステージ３を駆動する際、ステージ３の瞬時目標位置と速度フィードフォワード出力値と加速度フィードフォワード出力値との合算値によりフォーサをフィードフォワード制御するため、フォーサは、その瞬時目標位置に対し遅れを発生することなく、しかも振動を発生することなく円滑に駆動される。その結果、ステージは、所望位置まで高速度で円滑に駆動される。 （もっと読む）

【課題】 より簡単かつ安価な構成でステージの駆動反力を低減できるＸＹステージを提供する。
【解決手段】 ＸＹステージ１０は、定盤１２とステージ１６とからなる。定盤１２にはカウンタマス収容部３２が設けられており、定盤下面３４にはカウンタマス３６が摺動自在に設けられる。カウンタマス３６には、突起状の磁性区域５８と非磁性区域６０とが格子状に配置された平面部材であるカウンタマスプラテン４０が設けられている。定盤下面３４には、カウンタマスフォーサ４２，４４，４６が設けられており、それぞれはカウンタマスプラテン４０に面し、相互に特定の位相角だけ位相をずらすことが可能な一対の磁極面５６を複数有する制御電子素子である。このようなリニアパルスモータによってカウンタマス３６は駆動されるため、簡単かつ安価な構成でステージの駆動による反力を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でコイル体の駆動制御が容易にでき且つ騒音を低減できるリニアモータ、レンズ駆動装置及びデジタルカメラを提供する。
【解決手段】 本発明のリニアモータ７は、ヨーク１７と、マグネット１９と、コイル体２３と、駆動制御部３１とを備え、コイル体２３を構成するコイルに通電して生じる電磁力によりヨーク１７に対してコイル体２３が相対的に直線駆動するリニアモータであって、駆動制御部３１はコイル体２３にパルス電流を供給し且つ供給するパルス電流の周波数を可聴帯域外の周波数としている。 （もっと読む）

【課題】ボイスコイルアクチュエータ内に組み込むことが可能であり、ボイスコイルアクチュエータ内の強い磁界による影響を実質的に受けることがない、非接触型センサを提供する。
【解決手段】磁石ハウジング１６が、少なくとも１つの磁石２０を収容し、第１の空隙を画定する壁を有する。磁心１８が磁石ハウジング１６に連結されており、磁石ハウジング１６の壁の中心軸線の方向に磁石ハウジング１６の内側表面から延びる。コイルアセンブリが、磁心１８を少なくとも部分的に包む第２の空隙を画定する壁を有し、少なくとも部分的に第１の空隙の内側に位置しており、前記磁石ハウジング１６に対して相対的に直線移動するようになっている。このコイルアセンブリは磁心１８と共に容量性センサを形成し、この容量性センサは、磁石ハウジング１６に対するコイルアセンブリの相対的な位置と速度と加速度の少なくとも１つを測定するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 初期状態でも位置決め制御状態においても適正な転流角ズレ量の補正を可能とするリニアモータの制御方法及びリニアモータの制御装置を実現する。
【解決手段】 リニアスケールと並行配置されたベースコアに沿ってスライダが移動し、前記リニアスケールを用いて前記スライダの位置を検出し、検出位置をもとにスライダを移動するモータを転流制御して位置決め制御するリニアモータの制御方法において、
転流あわせ点位置における前記スライダの転流角ズレ量をゼロとし、前記スライダの所定位置における転流角ズレ量を測定してパラメータとして保存するオフライン測定ステップと、
前記パラメータと前記スライダの位置情報に基づいて当該位置における転流角ズレ量の補正値を計算する転流角ズレ量計算ステップと、
前記計算された転流角ズレ量に基づいて前記転流角の補正を実行する転流角ズレ量補正ステップと、
を備える。 （もっと読む）

【課題】相互に干渉する機構で連結された２軸を構成するリニアモータについて電子サーマル方式による過負荷保護が適切に行えるリニアモータ制御装置を得ること。
【解決手段】第２軸駆動装置６では、自軸速度と上位コントローラ８から取得し他軸速度とから合成速度を求めて第１軸リニアモータが駆動中である場合に当該第２軸リニアモータの運転状態を判断し、当該第２軸リニアモータが運転停止中であるときは自然対流時用の熱伝達率を選択し、運転中であるときは強制対流時用の熱伝達率を選択する。そして、当該第２軸リニアモータの発熱量がゼロである場合は自然対流時用の熱伝達率を用いて温度上昇値を求め、その発熱量がゼロ以外である場合は強制対流時用の熱伝達率を用いて温度上昇値を求め、求めた温度上昇値が許容温度上昇値を超えるときに過負荷処理を実施する。不要な保護が掛からずモータ性能を十分に引き出して使用することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 引戸１０を電磁的に開閉駆動するに好適なリニアモータ機構を提供する。
【解決手段】 空芯のコイル列は、第１相空芯コイル５ａ，５ｂ，５ｃと第２相空芯コイル６ａ，６ｂ，６ｃとが交互にＰ／２ずらせて、ピッチＰで配列され、鴨居（図外）に設置されている。一方、磁極列４は極性（Ｎ，Ｓ）を交互に反転させて、ピッチＰで配列され、引戸（図外）に固定されている。引戸の動きは、光センサ８または磁気センサ９で検知される。自動制御回路２２は、引戸の動きに応じて前記空芯コイル列の通電方向を切り換える。 （もっと読む）

【課題】サーボ制御方法及びそれに適した装置を提供する。
【解決手段】プラントの所望のレファレンス軌跡を表す多項式及びその導関数を準備するステップと、プラント入力に対するプラント出力をサンプリングするステップと、サンプル間の相対時間を参照してレファレンス信号及びその導関数信号を発生させるステップと、発生したレファレンス信号及びその導関数信号、遅延されたプラント入力、そして遅延されたプラント出力を使用してサンプリング時点でのプラント入力を決定するステップと、を含むことを特徴とするサーボ制御方法である。これにより、レファレンス信号以外にもその導関数信号を利用して、プラントが高い精度でレファレンス軌跡を追従するよう制御できる。 （もっと読む）

【課題】磁束密度を検出するセンサを必要とすることなく、リニアモータの推力の変動を抑制することで高精度な搬送をすることが可能な搬送装置、画像読取装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】複数の磁石が直線状に配列されて形成されたシャフト状磁石に電機子コイルが当該シャフト状磁石の軸方向に移動可能に嵌合されてなるリニアモータと、前記電機子コイルに駆動電力を供給する駆動手段と、前記リニアモータの搬送状態を検出する検出手段と、前記シャフト状磁石における軸方向の磁束密度分布に関する補正情報が予め記憶された記憶手段と、前記検出手段からの検出情報と前記記憶手段からの補正情報とに基づいて、前記駆動手段に補正した駆動電力を供給する制御手段と、を備える。 （もっと読む）

生産機械、工作機械、ロボット等は、電気的位置決め駆動部（４、１０）を持つ。該駆動部は、固定子（１１）と、少なくとも１つの走行方向に移動可能な可動子（１２）を持ち、可動子は、固定子に対し走行方向と異なる少なくとも１つの支持方向において磁場で非接触支持される。位置決め駆動部にセンサ装置（１４）が付属し、該装置で支持方向における可動子の固定子に対する変位量を非接触で検出する。位置決め駆動部に制御装置（１７）も付属し、制御装置にセンサ装置で検出した可動子の固定子に対する変位量が供給される。制御装置で、支持方向における可動子の固定子に対する変位量と、支持方向での可動子の固定子に対する目標支持位置とに基づき、位置決め磁石システムに対する調整信号を求め、これを磁石システムに供給し、磁石システムにより少なくとも１つの支持方向での可動子の固定子に対する支持位置を非接触に追跡する。
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