【課題】小型かつ簡単な構成で、ステージを水平方向に移動または垂直軸回りに回転させることが可能なステージ装置を提供する。
【解決手段】ベース２と、ベース２にエアベアリング６１を介して設けられたステージ３とを具備するステージ装置１であって、ベース２およびステージ３の対向面のいずれか一方に、対向面と平行な第１の移動方向に沿って複数の第１の一次側磁束発生部４ａが互いに平行に設けられ、第１の移動方向と直交し、かつ、対向面と平行な第２の移動方向に沿って第２の一次側磁束発生部４ｂが設けられ、対向面の他方に、第１および第２の一次側磁束発生部４ａ、４ｂに各々対向するようにして第１および第２の二次側磁束発生部５ａ、５ｂが設けられ、第１および第２の一次側磁束発生部４ａ、４ａ、並びに、第１および第２の二次側磁束発生部５ａ、５ｂの各磁極面を前記対向面と略平行に形成した。 （もっと読む）

【課題】ベアリングボールを適切な状態で予圧することで、外側部材と内側部材との接触が効果的に防止されるとともに、両者の間隔が一定に保たれる球面モータを提供する。
【解決手段】軸受３２の設置側部材（外側部材：ステータ１０）に設置された保持部材３２０が磁性部材（第２の永久磁石３８０）の磁気力によって相手側部材（内側部材：ロータ２０）の方向に予圧されることにより、保持部材３２０に保持されたベアリングボール３１０がロータ２０の表面に当接し、これによってステータ１０とロータ２０とが相対回転可能に支持される。磁性部材の磁気力がステータ１０とロータ２０との間のギャップの大きさが小さくなるほど非線形に大きくなる特性を有していることにより、ベアリングボール３１０が適切な状態で予圧される。 （もっと読む）

【課題】外側部材を従来より容易に製造することを可能として生産性の向上が図られる球面モータを提供する。
【解決手段】内部が中空の殻構造を有する略球体状のステータ（外側部材）１０の内部に略球体状のロータ（内側部材）２０が３自由度以上に相対回転可能に保持され、これらステータ１０とロータ２０とにそれぞれ磁極３１，２２が設けられた球面モータにおいて、ステータ１０をプレス加工等で製造が容易な複数の平坦な面の組み合わせからなる多面体で構成し、各面に磁極３１を配置する。 （もっと読む）

【課題】可動子の駆動抵抗や重量を軽減することによってタクトタイムを向上する。
【解決手段】リニアモータ１は、複数の磁極を構成する複数の永久磁石６が軸方向に配列された第１シャフトＳＨ１と、第１シャフトＳＨ１の軸方向と平行に配置され、当該第１シャフトＳＨ１と連結された中空状の第２シャフトＳＨ２と、第１シャフトＳＨ１が貫通する第１貫通孔４を有し、第１貫通孔４の内周面に複数の電機子巻線７が配列された第１フレーム２Ａとを備える。そして、第１シャフトＳＨ１及び第２シャフトＳＨ２を有する可動子と、第１フレーム２Ａを有する固定子とが、上記軸方向に相対的に進退移動する。 （もっと読む）

【課題】球面ステッピングモータおよび球面ＡＣサーボモータにおけるロータに内接する仮想多面体とステータに内接する仮想多面体との間の厳しい制約を緩和し設計自由度を飛躍的に増やす手段を提供する。
【解決手段】ロータに内接する仮想多面体の辺の分割点に永久磁石、ステータに内接する仮想多面体の辺の分割点に電磁石を配置することで上記課題を解決したものであって、球体に内接する仮想多面体の頂点および頂点を結ぶ辺に対応する円弧の分割点に永久磁石を配置したロータと、該ロータの球体を包含する球体に内接する仮想多面体の頂点、頂点を結ぶ辺に対応する円弧の分割点に電磁石を配置したステータとからなる多極球面ステッピングモータおよび多極球面ＡＣサーボモータ。 （もっと読む）

【課題】高精度化や高出力化されたアクチュエータを提供する。
【解決手段】直動回転を行うアクチュエータは、出力軸２０１の負荷側に直動検出器部３００と回転検出器部４００からなる検出器部１００ｂを配置し、反負荷側にモータ部１００ａを配置してある。検出器部１００ｂの両側と、モータ部１００ａの反負荷側には、各１個のボールスプライン１０６ａと各２個のベアリング１０６ｂにて構成されるθＸ軸受部１０６をそれぞれ配置してある。また、出力軸２０１の負荷側におけるθＸ軸受部１０６のボールスプラインの部位にθエンコーダ４０１を設け、モータ部１００ａのθ電機子巻線１０３とＸ電機子巻線１０４を同心円状に重畳して配置する構成にしてある。これにより、単位体積あたりの出力を大きくすることができ、高精度、高出力のアクチュエータを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高精度化や高出力化されたアクチュエータを提供する。
【解決手段】フレーム１０１に同心円状で出力軸２０１の両端に配置され、直動方向および回転方向に自在に支持する支持機構１０６と、前記出力軸２０１に関して長手方向の前記支持機構１０６の間に同心円状に配置され、前記出力軸２０１を直動方向および回転方向に駆動するモータ部１００ａと、直動方向を支持する前記支持機構１０６に配置され、回転方向の角度を検出する第１の検出部４０４と、前記出力軸を回転自在に支持する保持器１０６ｃを介して配置され、直動方向の変位を検出する第２の検出部４０２と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】直動方向の位置および回転方向の角度を精度良く検出すること。
【解決手段】モータ部の界磁部へ取り付けられた出力軸と、出力軸について直動方向の位置および回転方向の角度をそれぞれ検出する検出器部と、出力軸を直動方向および回転方向にそれぞれ支持する軸受部とを備えるように直動回転アクチュエータを構成する。そして、モータ部は、出力軸の反負荷側に、検出器部は、出力軸の負荷側に、それぞれ配置されるように直動回転アクチュエータを構成する。 （もっと読む）

【課題】銅損を軽減させることにより、効率の良い磁力回転装置を提供する。
【解決手段】 表面及び裏面に磁極が形成された平板状の永久磁石２が周方向に沿って等間隔でｎ個（ｎは１以上の整数）配置された回転子３と、前記永久磁石２の磁極と同極性の磁極が対向するように固定子４に固定され、前記永久磁石２に磁力を生じさせて前記回転子３を回転させる複数の電磁石５とを具備し、前記それぞれの永久磁石２は、前記回転子３を周方向にｎ分割したそれぞれの分割角度αに対して４０〜７０％の割合を占めるように配置され、前記永久磁石２が前記電磁石５に対向する間、該電磁石５に通電を行い、前記永久磁石２が前記電磁石５を通過した後、前記電磁石５への電流を遮断することにより、前記回転子３に磁力による回転力を付与することを特徴とする磁力回転装置１。 （もっと読む）

【課題】固定子の高さを小さくし、偏平なθＺアクチュエータを提供する。
【解決手段】固定子に回転θ方向の回転磁界を作るθ軸電機子巻線と直動Ｚ方向（回転θの軸方向）に進行磁界を作るＺ軸電機子巻線を備えるとともに、可動子に界磁とする永久磁石を備え、θ軸電機子巻線をθ方向に複数個並べた俵状のθ軸コイルにより構成するとともに、Ｚ軸電機子巻線をＺ方向に複数個並べた円筒状のＺ軸コイルにより構成したθＺアクチュエータにおいて、θ軸コイルの内側に設けた空心部のＺ方向長さをＬα、Ｚ軸電機子巻線のＺ方向長さをＬＺとした場合、
Ｌα ＜ ＬＺ
として構成する。 （もっと読む）

【課題】スループットの増加が可能なインプリントリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】インプリントリソグラフィ装置が開示される。この装置は、インプリントテンプレートアレンジメントを移動させるように構成された電磁ローレンツアクチュエータを含み、電磁ローレンツアクチュエータは、磁石アレイおよび導体アレイを含み、各導体は電流を搬送するように構成され、磁石アレイまたは導体アレイのうちの一方は、移動可能であり、かつインプリントテンプレートアレンジメントに接続され、磁石アレイまたは導体アレイのうちの他方は、少なくとも部分的に基板ホルダの周りに延在するか、または基板ホルダの一部を形成し、磁石アレイと導体アレイとは、合わせて、磁石アレイまたは導体アレイのうち移動可能な一方の６自由度方向の移動であって、インプリントテンプレートアレンジメントもまた６自由度方向に移動可能とする移動を容易にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型でありながら推力、浮上力、可変浮上力が大きく、Ｚ方向の浮上とＸＹ方向の推進、さらにθ_Ｘ、θ_Ｙ、θ_Ｚ方向の微動を行う多自由度アクチュエータを提供する。
【解決手段】永久磁石１１４は極数Ｐ（Ｐは２以上の偶数）極性を逆にＸ方向に配置し、Ｚ方向駆動用コイル１０４は永久磁石１１４の磁極と対向する位置にＰ個、永久磁石１１４とＺ方向駆動用コイル１０４はＹ方向にn列（nは２以上の整数）配置し、Ｘ方向駆動用コイル１０５のコイル辺がＺ方向駆動用コイル１０４の中心と一致する位置にＸ方向駆動用コイル１０５をＰ／２個配置し、Ｚ方向駆動用コイル１０４のコイルエンドを折り曲げ、空心にＸ方向駆動用コイル１０５のコイル辺を埋め込むように配置する。 （もっと読む）

【課題】機械的な回転トルクに起因する可動子の回転動作を規制することができる電磁アクチュエータ及び関節装置を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る関節装置は、可動子１と、固定子２と、支持機構Ｄ３Ｓとを具備する。出力軸（駆動軸）８は、第１の電磁トルクによって当該出力軸のまわりに回転し、第２の電磁トルクによって当該出力軸と直交する軸のまわりに回転力を受けて傾動する。支持機構Ｄ３Ｓは、出力軸８に作用する上記傾動方向への回転トルクを弾性的に支持するコイルスプリング６１を含む。したがって、コイルスプリング６１の弾性力を適宜の値に設定することによって、出力軸８に作用する機械的な回転トルクに起因する、可動子１の固定子２に対する傾動動作を規制あるいは制限することが可能となる。また、当該回転トルクの大きさに応じて、可動子１の傾動角度を制御することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】回転方向に対して、絶対角度を検出できる直動回転モータの位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置置検出装置は直動変位検出部、回転変位検出部、直動方向に一定間隔に設けた直動目盛を有する円筒状の直動スケール、円筒状で、前記直動方向に対して垂直方向に２極着磁された永久磁石で構成される。回転変位検出部は出力軸の回転中心に対して異なる回転角に複数の磁界検出素子を設けている。出力軸の回転による永久磁石の発生磁界は、出力軸１回転につき１周期の正弦波状の変化を示す。この磁界の変化を複数の磁界検出素子で検出して、信号処理することにより、出力軸の絶対角度を検出する。 （もっと読む）

【課題】球殻形状のステータと、ステータ内部に内蔵された球状のロータとからなる球面モータにおいて、ロータ回転時の摩擦損失を低減し、ロータの動作範囲を大きくできる球面モータを提供する。
【解決手段】空気導入孔３を軸方向中心に設けたベアリングホルダ２とベアリングキャップ８との間にベアリングボール６を内蔵した球面軸受１でロータ１３を支持し、ベアリングホルダ２に導入された圧縮空気でベアリングボール６を浮上させることで、ロータ１３の回転時の摩擦損失を低減した。 （もっと読む）

【課題】 モータを用いた小型電動アクチュエーターの薄厚、小型、軽量化
【解決手段】 上下２枚のプリント基板によってコイルを形成して回転する磁界をつくり、転動体自身はコイル無しの単純な円形磁気部品とし、中間の円形転走面を持った筐体内で遊星回転運動する転動体の回転から直接機械出力を得ることを可能にしてロータレス化をはかり、回転フレーム、軸受、軸受ハウジングなど関係要素を不要にして、厚さを減らし、外径を小さくし、質量を減らした小型電動アクチュエーターを実現する。 （もっと読む）

【課題】平面パルスモータにおける可動子の回転制御に有用な技術を提供する。
【解決手段】平面パルスモータは、可動子４および固定子１２を有する。可動子４は、磁性体を含んで構成され、固定子１２に対向する面に複数の凸部を有する。固定子１２は、可動子４を駆動するための複数の磁気発生ユニット６ａ、６ｂを有する。平面パルスモータの制御部は、複数の磁気発生ユニット６ａ、６ｂのうち、可動子１２の駆動方向に沿った可動子４の中心線Ｃを跨がず、かつ、可動子４が存在する領域からはみ出していない磁気発生ユニットから選択される磁気発生ユニットを動作させることによって可動子４の回転を制御する。 （もっと読む）

【課題】制御回路の構成がより単純で効率の良いブラシレス電気機械を提供する。
【解決手段】第１の移動部材は磁石集合体（２０）を備えており、第２の移動部材は電磁コイル（３０）を含んでいる。制御回路は、電磁コイル（３０）への電力の供給又は電磁コイル（３０）からの電力の回生を制御する。磁石集合体（２０）は、隣接する磁石同士の境界面面上の磁場方向（ＭＤ）であって、磁石集合体の内側から外側に向かう磁場方向（ＭＤ）に沿って最も強い磁場を発生する。電磁コイル（３０）は、磁場方向（ＭＤ）と交差する方向（ＣＤ）に電流が流れるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ、Ｙ方向およびθ方向の位置決めを可能とする両面パルスモータを実現する。
【解決手段】進行方向に平行な上面および下面に所定ピッチの歯がＸ軸方向およびＹ軸方向に形成された可動子コアを備える可動子フレームと、
前記可動子フレームを挟み、前記可動子コアの上面および下面に形成されたＸ軸方向およびＹ軸方向の歯に対向して、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に歯が形成された一対の固定子コアを備える固定子フレームと、
前記可動子コア又は前記固定子コアの少なくともいずれかに設けられた励磁巻線と、
前記励磁巻線への励磁電流供給で発生する磁気吸引力に抗して前記可動子コアと前記一対の固定子コア間に所定の空隙を形成するための空気軸受け手段と、
を備えることを特徴とする両面パルスモータ。 （もっと読む）

【課題】 従来のモータは、高速回転で大部分の機械が減速装置を必要としていた。そこで、ギャプレス誘導電動機は低速で、トルクが大きく、停止したときにはブレーキモータのように抵抗がある。
【解決手段】 本発明のギャプレス誘導電動機は、２極の誘導電動機の固定子（１）をそのまま使い、回転子（２）は表面をＮ極にした場合、この中に入れることで、固定子（１）のコイル（５）に電気の流れると電磁石として回転子（２）を引き寄せ、反対側のスロットは反発して、回転子（２）は交流の１Ｈｚによって一周の極が順番に引っ付き、回転子（２）の外周と、固定子（１）の内周の、差の分だけ回転磁界と逆に回転する低速モータで、ベアリングを必要としない。 （もっと読む）