【課題】ディスク状の振動板がワイングラスモードで振動するように構成された輪郭振動型のディスク振動子において、当該ディスク振動子の小型化を図ること。
【解決手段】平面で見た時に第１の電極２１、２１を結ぶと共に振動板１０の中心を通る直線をＬとすると、この直線とのなす角度θが４５°となる位置において振動板１０に貫通孔１１を形成し、即ち振動板１０の振動の節となる位置（振動板１０の振動を阻害しない位置）に貫通孔１１を形成し、この貫通孔１１の内壁面とベース基板１（導電膜５）との間を接続するように支持部３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】高い周波数精度を有するＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置され、開口部２２が形成された第１絶縁層２０と、開口部２２を覆って、第１絶縁層２０の上方に配置された第２絶縁層３０と、第２絶縁層３０の上方に配置された第１電極４０と、第１電極４０との間に空隙を有した状態で配置され、基板１０の厚み方向に静電力によって振動可能となる梁部５２、梁部５２の一端を支持し第２絶縁層３０の上方に配置された第１支持部５４、および梁部５２の他端を支持し第２絶縁層３０の上方に配置された第２支持部５６を有する第２電極５０と、を含み、基板１０の厚み方向からの平面視において、開口部２２の少なくとも一部は、第１支持部５４と第２支持部５６との間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、およびこれを用いた圧電振動子、電子デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１１の一方の主面から、前記主面とは反対側の他方の主面に向けて凹陥した第１の凹陥部１７Ａと、前記第１の凹陥部１７Ａの底部１７Ａａに配置された振動部と、前記振動部の外周縁と一体的に接続され前記振動部の厚みより厚い厚肉部１６と、を備える圧電振動片１０であって、前記厚肉部１６に接続され、基板上で一点支持されるマウント部２０を有し、前記圧電基板１１の他方の主面から、前記第１の凹陥部１７Ａの底部１７Ａａに向けて凹陥した第２の凹陥部１７Ｂを設け、前記振動部は、前記第１の凹陥部１７Ａの底部１７Ａａ及び第２の凹陥部１７Ｂの底部１７Ｂａにより構成され、前記振動部と前記厚肉部１６との境界には、前記圧電基板１１の両主面共に、前記厚肉部１６の厚み方向に段差を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性、周波数再現性、エージング特性の優れた高周波圧電振動素子を
得る。
【解決手段】圧電振動素子１は、薄肉の振動領域７、及び振動領域の三辺に沿って一体化
されたコ字状の厚肉支持部８を有する圧電基板５と、振動領域に設けた励振電極２０ａ、
２０ｂと、リード電極２２ａ、２２ｂと、を備えている。厚肉支持部８は、第1領域１０
と、第２領域１２と、第３領域１４と、第３領域に貫通形成されたスリットと、を備えて
いる。スリットは、第３領域１４の基端縁から第１領域１０と平行に延びて第３領域の面
内で終端する第１のスリット部１７と、第１のスリット部１７の終端部から第１領域と直
交する方向へ延びて第３領域第３領域１４の面内で終端する第２のスリット部１８と、を
備えている。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、およびこれを用いた圧電振動子、電子デバイスを提供する。
【解決手段】振動部２２を有する薄肉部２１と、前記薄肉部２１の周縁に設けられ、前記薄肉部２１よりも厚い厚肉部１７とを備えた圧電振動片１０であって、前記厚肉部１７には、緩衝部１４を介してマウント部１２が横並びで接続され、前記緩衝部１４は、前記マウント部１２と前記厚肉部１７との間にスリット１６を有し、前記マウント部１２は、前記マウント部１２と前記緩衝部１４と前記厚肉部１７との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に切欠き部１８を有し、前記スリット１６の長手方向は前記直交方向と平行であり、前記マウント部１２の前記直交方向の幅を、前記スリット１６の長手方向の幅より狭く、前記スリット１６の長手方向の両端部は、前記マウント部１２の前記両端部よりも前記緩衝部１４の前記直交方向の外周寄りにあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動特性を維持しつつ小型化が可能な振動片を用いた電子機器を提供する。
【解決手段】基部２と、基部２を付け根にして延出し基部２の幅方向に沿って配列された一対の腕部３ａと、基部２を腕部３ａのそれぞれの側から幅方向に縮幅して形成された切り込み部７とを有し、付け根は、腕部３ａが互いに対向している側に位置する第１の付け根部３１および腕部３ａが対向していない側に位置する第２の付け根部３２を有し、第１の付け根部３１から第２の付け根部３２までの長さＡと、第１の付け根部３１から切り込み部７の内端部７ａまでの長さＢとの関係がＡ≧Ｂである水晶振動片１と、回路部とを有する。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、およびこれを用いた圧電振動子、電子デバイスを提供する。
【解決手段】振動部２２を有する薄肉部２１と、前記薄肉部２１の周縁に設けられた厚肉部１７とを備えた圧電振動片１０であって、前記厚肉部１７には、緩衝部１４とマウント部１２が順に連結され、前記緩衝部１４は、前記マウント部１２と前記厚肉部１７との間にスリット１６を有し、前記マウント部１２は、前記マウント部１２と前記緩衝部１４と前記厚肉部１７との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、切欠き１２ａを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型化に対応し圧電振動素子の振動漏れや剥がれを防ぎ、圧電振動素子の素子搭載部材への搭載が容易とする。
【解決手段】 圧電振動素子と、この圧電振動素子を搭載する圧電振動素子搭載パッドと外部端子とを有する素子搭載部材と、それぞれの圧電振動素子搭載パッドに設けられる接合用パッドと、圧電振動素子の周囲を気密の環境に維持するための蓋部材とを備え、接合用パッドが、ポリイミド又はシリコンからなる樹脂シートと、この樹脂シートの両主面に設けられる接着膜と、樹脂シートと接着膜とを貫通する導体部とを備え、接合用パッドが導体部と圧電振動素子との間に介在することで圧電振動素子搭載パッドと圧電振動素子とを電気的に接続することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】デッドスペースのない効率的に小型化された弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１６の一方の主面１４にすだれ状電極１１が形成された弾性表面波素子片１０と、弾性表面波素子片１０を励振する発振回路が形成されたＩＣチップ２０と、ＩＣチップ２０の一方の面２２または他方の面２３から厚み方向に突出するようにＩＣチップ２０に形成された突出部３０と、を備え、弾性表面波素子片１０は、平面視において、弾性表面波素子片１０がＩＣチップ２０の外形内に収まり、且つすだれ状電極１１が形成された領域と突出部３０とが重ならない位置で、圧電基板１６の他方の主面１５が突出部３０に固定され、すだれ状電極１１とＩＣチップ２０とが電気的に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、圧電素子と蓋体間により生じる容量成分を抑えるとともに、落下時の衝撃により圧電素子と導電性接着剤の接続が不完全とならない圧電発振器容器構造を提供することにある。
【解決手段】
矩形状の絶縁性容器１の内部空間に圧電素子１０が搭載されており、絶縁性容器１の側壁３頂部には絶縁性容器１の開口部９を覆う形態の金属製の矩形状の蓋体４が配置されており、蓋体４と側壁３頂部に設けた金属層とを固着し絶縁性容器１内の圧電素子１０を気密封止し、気密封止の裏面容器に半導体部品１５を収納した圧電発振器容器において、圧電素子１０の気密封止に用いる蓋体４には、少なくとも圧電素子１０の開放端側（保持端と反対側の開放端側に圧電素子１０と蓋体４との間隔を狭くするよう）に圧電素子１０側に凸部６を形成している。 （もっと読む）