【課題】横方向伝播によるスプリアスを低減した、高性能な圧電薄膜共振子を提供する。
【解決手段】本発明の圧電薄膜共振子１０は、基板１と、基板１の上方に形成された共振部１０であって、第１電極層１２と、圧電体層１４と、第２電極層１６とを有し、第１電極層１２と第２電極層１６とによって圧電体層１４に電界を与えることにより、圧電体層１４の厚み方向に音響振動が生成される共振部１０と、を含無電解めっき。共振部１０の平面形状において、少なくとも一組の辺は平行をなし、かつ、平行をなす組の辺の間隔において最短の間隔Ｗは、少なくとも共振部１０の厚みＨ以下である。 （もっと読む）

【課題】単数又は複数の圧電薄膜共振子を含む圧電薄膜デバイスにおいて、周波数インピーダンス特性がスプリアスの影響を受けにくくする。
【解決手段】上面電極１５及び下面電極１３は、励振信号が印加される励振電極となっており、振動が励振される正方形の励振領域１４１において、圧電体薄膜１４を挟んで対向している。圧電体薄膜１４の上面に形成された上面電極１５は、励振領域１４１から、＋方向及び−Ｘ方向の両方向に直線的に引き出されている。圧電体薄膜１４の下面に形成された下面電極１３は、励振領域１４１から、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の両方向に直線的に引き出されている。 （もっと読む）

【課題】単数又は複数の圧電薄膜共振子を含む圧電薄膜デバイスにおいて、周波数インピーダンス特性がスプリアスの影響を受けにくくする。
【解決手段】圧電薄膜共振子１においては、圧電体薄膜１４の上面の、励振電極となる上面電極１５１が形成されていない領域にも、上面電極１５１との間の間隙及び圧電体薄膜１４の縁辺を除くほぼ全面に、励振信号が印加されない上面電極１５２が形成されている。同様に、圧電体薄膜１４の下面の、励振電極となる下面電極１３１が形成されていない領域にも、下面電極１３１との間の間隙及び圧電体薄膜１４の縁辺を除くほぼ全面に、励振信号が印加されない下面電極１３２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動子と、増幅器と、コンデンサーと、抵抗素子とを備えて構成される水晶発振回路を備え、かつ、周波数安定性に優れた水晶発振器の製造方法を提供することにある。
【解決手段】音叉腕に溝を形成し、当該溝と側面に電極を配置するので、電気機械変換効率が良くなり、等価直列抵抗Ｒ_１の小さい、Ｑ値の高い、しかも、容量比の小さい超小型で、安価な音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶発振器が得られる。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の厚み方向の振れを有効に防止して、優れた振動特性を備えた圧電振動片の接合構造、及び圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】振動腕３４，３５を支持する基部５１を備える圧電振動片３２について、基部５１から延びるように分岐された複数の固定用腕３７，３８を、接着剤でパッケージ３６に接合するようにした圧電振動片の接合構造であって、複数の固定用腕３７，３８は、それぞれ、パッケージ３６との接合箇所５２，５４が長手方向に複数設けられており、この複数の接合箇所５２，５４の一方に導電性接着剤４３が用いられ、他方に非導電性の接着剤４２が用いられる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数の温度変化が小さい薄膜共振器を提供する。
【解決手段】[0001]方向が膜面に略平行な１方向に配向したZnO薄膜１４を１対の電極１３、１５で挟んで成る共振器本体に、接触液１６（例えばシリコーンオイル）を接触させることによりFBAR１０を形成する。FBAR１０の温度が上昇すると、ZnO薄膜１４の弾性定数は小さくなり、接触液１６の粘性係数も小さくなる。弾性定数は共振周波数を小さくするように作用するのに対して、粘性係数は共振周波数を大きくするように作用するため、それらが相殺されるため、温度変化による共振周波数の変化を抑えることができる。また、共振器本体に発生する熱を、接触液１６を通して外部に放出することができるため、薄膜共振器の温度変化を抑え、それにより共振周波数の変化を抑えることもできる。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜デバイスにおいて、圧電体薄膜の見かけ上の電気機械結合係数の低下を防止する。
【解決手段】圧電薄膜フィルタ１の圧電薄膜共振子Ｒ１１においては、全面が均一に配向した圧電体薄膜１１１の上面及び下面に、励振領域Ｅ１１において対向する上部電極１１２１及び下部電極１１３１が形成されている。上部電極１１２１は、励振領域Ｅ１１から＋Ｘ方向へ向かって非励振領域Ｅ１Ｘに引き出され、下部電極１１３１は、圧電体薄膜１１１の下面において、励振領域Ｅ１１から−Ｘ方向へ向かって非励振領域Ｅ１Ｘに引き出されている。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜デバイスにおいて、圧電体薄膜の輪郭の影響を受けにくくする。
【解決手段】４個の圧電薄膜共振子Ｒ１１〜Ｒ１４を含む圧電薄膜フィルタ１では、励振領域Ｅ１１〜Ｅ１４において対向する上部電極１１２１〜１１２４及び下部電極１１３１〜１１３２が両面に形成された圧電体薄膜１１１は、ベース基板１３に支持されている。圧電薄膜フィルタ１では、圧電体薄膜１１１がベース基板１３の全面に渡って拡がっており、圧電薄膜共振子Ｒ１１〜Ｒ１４の共振特性が圧電体薄膜１１１の輪郭の影響を受けにくくなっている。 （もっと読む）

【課題】 横音響モードの発生を抑制した高いＱ値を有する薄膜圧電共振器を提供するとともに、低挿入損失を実現できる薄膜圧電共振器フィルタを容易に提供する。
【解決手段】 圧電層と該圧電層を挟んで対向するように形成された上部電極と下部電極とを有する圧電共振器スタックと、該圧電共振器スタックの下に形成された空隙部と、該空隙部を形成するように圧電共振器スタックを支持する基板とからなる薄膜圧電共振器であり、前記圧電共振器スタックは、前記基板面に並行な平面方向において、前記上部電極と下部電極とが厚み方向で互いに重なる振動領域と、基板に接する支持領域、および、前記振動領域と前記支持領域の間の緩衝領域とからなり、前記振動領域と支持領域との距離である前記緩衝領域の幅ｗが、前記振動領域の圧電共振器スタックの厚みｔに対して、０．２５＜ｗ／ｔ＜２の範囲にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】配向性の高い圧電体を有し、且つ、スプリアス振動が抑制された薄膜圧電共振器及び薄膜圧電共振器フィルタを提供する。
【解決手段】支持基板と、前記支持基板の上に設けられ、一部が前記支持基板に支持され他の一部が前記支持基板から離間した積層体と、を備え、前記積層体は、アルミニウムを主成分とする第１電極と、前記第１電極の上に積層され窒化アルミニウムを主成分とする圧電膜と、前記圧電膜の上に積層されアルミニウムの密度の１．９倍以上の密度を有する金属を主成分とする第２電極と、を有することを特徴とする薄膜圧電共振器を提供する。 （もっと読む）

【課題】振動部に屈曲モードによるスプリアスが生じ難く、振動子を構成した場合におけるフィギュアオブメリットを向上させることができる圧電振動片を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片１０は、厚み滑り振動を主振動とする圧電振動片１０であって、主面に励振電極１８ａ，１８ｂを形成し、厚み滑り振動を励起する振動部１２と、当該振動部１２の外周側に、貫通溝１６を介して配置される枠部１４と、前記振動部１２と前記枠部１４とを接続する支持部１３とを有し、前記振動部１２及び前記励振電極１８ａ，１８ｂの形状を楕円形状としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電膜、上部電極、下部電極及び共振器保持部材を横方向に伝搬する不要振動モードの減衰が可能な圧電共振器を実現できるようにする。
【解決手段】圧電共振器は圧電膜１１と、圧電膜１１を挟んで互いに対向して形成された上部電極１２及び下部電極１３とを含む共振器本体部を備えている。共振器本体部は、上部電極１２及び下部電極１３が共に形成された部分である共振領域２１と、共振器本体部２０の共振領域２１を除く部分であって且つ周期的に配置された凹凸形状が形成された部分である音響反射領域２２とを有している。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、振動モード調整を精度良く行うことによって高精度の水晶デバイスを提供することが目的であり、且つ加工によるダメージの少ない信頼性の高い水晶デバイスを提供することが目的である。
【解決手段】 水晶からなる基部と基部から突出した振動脚とを有する振動体と電極とを備えた水晶デバイスの製造方法において、水晶からなる振動体をウェットエッチング法によって形成する工程と、水晶のエッチング異方性によって発生した振動脚の付け根付近のエッチング残渣をフェムト秒レーザーによって加工して振動モードを調整する工程を備えたことを特徴としている。エッチング残渣を加工することで水晶デバイスに与えるダメージを極力少なくすることができる。また、二つのレーザー光源と焦点位置測定機を備えた加工システムを用い、第一のレーザー光で加工部に焦点を合わせ、第二のレーザー光で加工することにより、精度よく加工できる。 （もっと読む）

【課題】基本波モード振動の周波数で高い周波数安定性を有し、等価直列抵抗Ｒ_１が小さく、品質係数Ｑ値が高く、しかも容量比の小さい超小型の音叉形状の屈曲水晶振動子を備えた水晶ユニットと水晶発振回路からなる消費電流の少ない、高安定な水晶発振器を搭載した携帯機器とその製造方法を提供することにある。
【解決手段】少なくとも水晶振動子と増幅器とコンデンサとを備えた水晶発振回路を備えて構成され、前記水晶振動子は、基部と第１振動腕と第２振動腕からなる音叉腕を備えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子で、基部はその基部に接続され、互いに反対の位置にある２つのフレームを備えていて、第１振動腕と第２振動腕の各振動腕は２つの異なる幅を備え、２つのフレームはケースの固定部に固定され、ケースは接合部材を介して蓋に接合されている。 （もっと読む）

【課題】小型化しても極端にＣＩ値を増大させることなく、スプリアスを抑制して温度特性の悪化を防止することができる圧電振動片と、これを利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料で形成した基部５１と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕３４，３５とを備える音叉型圧電振動片であって、前記一対の振動腕の屈曲振動により、前記基部の前記各振動腕の基端付近の領域にて、該振動腕の幅中心を通る仮想の中心線上Ｃ１，Ｃ１に生じる変位渦に基づいて、ほぼ円形の該変位渦の外周に対する接線に沿って、溝またはスリット１１，１１を設けた。 （もっと読む）

【課題】 小型で、スプリアスが低減された薄膜バルク音響波共振子を提供する。
【解決手段】 共振部２０には音響インピーダンス変化部２５が形成される。音響インピーダンス変化部２５のＺ方向に垂直な断面における周縁領域３０の少なくとも一部が、共振部２０のＺ方向に垂直な断面における周縁領域３３の法線に対して９０°未満の角度で対向するので、振動波が音響インピーダンス変化部２５に向かって入射する方向と、この音響インピーダンス変化部２５に向かって入射した振動波が音響インピーダンス変化部２５によって反射されて進行する方向とが異なるので、圧電体薄膜１５をＺ方向に関して斜めに伝播する振動波の共振が発生することを防止することができ、スプリアスを低減することができる。また共振部２０に音響インピーダンス変化部２５が形成されることによって、薄膜バルク音響波共振子１０を小型に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】高いエネルギー閉じ込め効果を得ることができ、主振動に重畳する様々な不要振動を減衰させることが可能な圧電振動片を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片１０は、厚肉部１４と当該厚肉部１４の周囲に形成した薄肉部１６とを有し、主振動を厚み滑り振動とする結晶構造を有する圧電基板１２によって構成されるものである。そして、前記厚肉部１４の板面に励振電極１８（１８ａ，１８ｂ）を形成し、前記薄肉部１６の板面に、大きさの大小を不規則に定めた複数の凸部２４を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高いエネルギー閉じ込め効果を得ることができ、主振動に重畳する様々な不要振動を減衰させることが可能な圧電振動片を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片は、厚肉部１４と当該厚肉部１４の周囲に形成した薄肉部１６とを有し、主振動を厚み滑り振動とする結晶構造を有する圧電基板１２によって構成されるものである。そして、前記厚肉部１４の板面には励振電極１８（１８ａ，１８ｂ）を形成し、前記薄肉部１６の板面は、大きさ、深さのそれぞれを任意に定めた複数のディンプル２４を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】横モードにおけるスプリアスを抑制し、小型化可能なバルク音波共振器を提供する。
【解決手段】バルク音波共振器１０は、支持枠２０上に積層される圧電体５０と、圧電体５０の支持枠２０側の主面に形成される底部電極４０と、他方の主面に形成される頂部電極６０と、を備え、底部電極４０と頂部電極６０の少なくともそれぞれの一部が交差する交差領域が設けられ、前記交差領域の頂部電極６０に複数個の孔６１が設けられ、この複数個の孔６１のそれぞれが不規則に配設されている。 （もっと読む）

【課題】スプリアスを抑圧した圧電振動片および圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動片１０は圧電基板１２を有し、この圧電基板１２上に励振電極１４等を備えた電極パターンを形成した構成である。そして圧電振動片１０は、圧電基板１２の外形を構成する少なくとも１辺がテーパー量ｎλ／４を有するテーパーにされた構成である。ここでλは、圧電基板１２の外形にのる不要な振動モード（スプリアス）の波長である。またｎは奇数である。そして励振電極１４の外形を構成する少なくとも１辺がテーパーにされることもできる。またメサ形の圧電振動片の場合、メサ部の外形を構成する少なくとも１辺がテーパーにされることもできる。 （もっと読む）