【課題】低ドライブレベル時に、過電流が発生するのを抑制する。
【解決手段】 水晶振動片３には、一主面５および他主面６それぞれにバイメサ形状の凸部５１，６１が形成され、一主面５に形成された凸部５１は、コンベックス加工されている。また、一主面５に形成された凸部５１の突起底面の主面上の寸法（寸法ａ）は、他主面６に形成された凸部６１の突起底面の主面上の寸法（寸法ｂ）より小さい。 （もっと読む）

【課題】 スプリアスを抑制するとともに高密度配置が可能な薄膜共振子、フィルタおよびデュプレクサを提供する。
【解決手段】 圧電体薄膜１５と、圧電体薄膜１５を挟み、かつ圧電体薄膜１５を介して対向するように配置される第１、第２電極１６，１７とを有する共振部２０を備える薄膜共振子であって、共振部２０の平面形状が略矩形状であり、共振部２０の少なくとも１つの辺を直線部と切り欠き部３０とで構成する。 （もっと読む）

【課題】 所望の発振周波数に微調整する複数のコンデンサーを音叉型圧電振動片（２０）に内蔵させることで周波数調整を行う。
【解決手段】 音叉型圧電振動片（２０）は、基部（２９）と、その基部（２９）から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕（２１）と、振動腕に設けられた励振電極（２３ｃ、２３ｄ、２５ｃ、２５ｄ）と、基部（２９）に設けられた周波数調整部（４７）と、を備える。この周波数調整部は、励振電極に接続されたコンデンサーである。 （もっと読む）

【課題】横波のエネルギー散逸を防止しながら従来例より電気機械結合係数の低下、および定在波モードの増大を抑圧した圧電薄膜共振器を実現する。
【解決手段】基板１４と、基板１４上に配され、一部が互いに対向するように配置された上部電極１１及び下部電極１２と、上部電極１１と下部電極１２との間に配された圧電膜１３とを備えた圧電薄膜共振器であって、上部電極１１上に配された質量体１６を備え、質量体１６は、上部電極１１における下部電極１２に対向する領域の端部の一部に配されている。 （もっと読む）

【課題】水晶部分に印加される電界を、振動子間にて均一化させつつ、すなわちＣＩ値、Ｑ値及び容量比等の特性値を維持させつつ小型化できる振動片、振動子及び発振器を提供するを提供する。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、該基部から突出して一体的に形成されている振動腕部とから構成される振動片であり、前記基部及び前記振動腕部が第１及び第２のＸカット水晶片が、それぞれのｘ軸が平行となるように重ね合わされて形成されている。 （もっと読む）

【課題】近年の圧電薄膜共振子フィルタに対する要求に対応すべく、横方向漏れを抑制し、低損失化することができる圧電薄膜共振子、フィルタ、通信モジュール、および通信装置を提供する。
【解決手段】基板５と、基板５上に配され、一部が互いに対向するように配置された上部電極１及び下部電極２と、上部電極１と下部電極２との間に配された圧電膜３とを備えた圧電薄膜共振子であって、圧電膜３は、上部電極１と下部電極２とが対向する部位に配され、上部電極１と基板５とが対向する領域の一部に絶縁膜４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】薄膜バルク波共振器の形状に因らずに、スプリアス振動を抑制することのできる薄膜バルク波共振器を提供する。
【解決手段】薄膜バルク波共振器１０は、圧電体膜２１、上部電極２２、及び下部電極２３から成る積層共振体２０と、積層共振体２０の自由振動を確保するために形成されたキャビティ３１を有する基板３０とを備える。積層共振体２０の共振周波数一定という条件下で、圧電体膜２１の膜厚と、上部電極２２及び下部電極２３の膜厚との比率Ｒを調整し、スプリアス振動周波数ｆｓを積層共振体２０の共振周波数ｆｒ又は反共振周波数ｆａに一致させることで、縦モードのスプリアス振動は、積層共振体２０の主振動に一致するようになるので、スプリアス振動は見かけ上現れなくなる。 （もっと読む）

【課題】多重モード圧電フィルタの中心周波数近傍の低域側の保証減衰量を改善する手段を得る。
【解決手段】薄肉の振動部６、及びこの振動部６の周縁に沿って形成された厚肉の環状囲繞部７を有する圧電基板５と、振動部６の一方の主面上、つまり平坦側に近接して配置された３つの分割電極１０−１２と、振動部６の他の主面上、つまり圧電基板５の凹陥部側に、全ての分割電極１０−１２と対向して配置された共通電極１４と、この共通電極１４が存在しない他の主面上に配置された非共通電極領域（無電極領域）と、を備えている。共通電極１４は、少なくとも全ての分割電極１０−１２をその内部に含む幅を有し、非共通電極領域（無電極領域）は、共通電極１４を分割電極１０−１２の配列方向へ延長した幅内に位置する他の主面部分と、共通電極１４を分割電極１０−１２の配列方向と直交する方向へ延長した幅内に位置する他の主面部分に形成する。 （もっと読む）

【課題】Ｑの高い音叉型屈曲水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶ウエハ４０の上下面に金属膜４１を形成し、その上にレジスト４２を塗布、フォトリソ工程及びエッチング加工を経て腕部４３，４４と基部４５とを具えた音叉形状を形成する。次のフォトリソ工程とエッチング加工により、音叉腕４３、４４に溝４６，４７，４８，４９を形成、音叉腕４３の側面に配置した電極５０，５３と音叉腕４４の溝４８，４９に配置した電極５５，５６が同極となるように接続形成、音叉腕４３の溝４６、４７に配置した電極５１，５２と音叉腕４４の側面に配置した電極５４，５７も同極となるように接続形成する。音叉型屈曲水晶振動子６０は更にケース６５の固定部５９に導電性接着剤６１にて固定され、周波数調整後にケース６５と蓋６３を接合、ケース６５に設けられた穴６７を真空中で封止する。 （もっと読む）

【課題】縦続接続型多重モード圧電フィルタの中心周波数より高域側に生じるスプリアスを抑圧する。
【解決手段】第１及び第２の多重モード圧電フィルタ１、２は、圧電基板５と、圧電基板５の一方の主面上に近接配置した複数の分割電極１０、１１と、圧電基板５の他の主面上に全ての前記分割電極１０、１１と対向して配置された共通電極１２と、を備え、多重モード圧電フィルタ１の共通電極１２の面積と、第２の多重モード圧電フィルタ２の共通電極１２の面積とが異なるようにした。 （もっと読む）

【課題】幅振動を利用する圧電共振子において、矩形状の圧電振動部のノード点近傍に矩形の支持部を連結した場合、支持部の寸法によってはノード点近傍の振動が支持部に伝わり、振動漏れが発生し、共振特性に劣化が生じる。そこで、支持部の寸法を規定し、振動漏れによる共振特性の劣化を低減した圧電共振子を提供する。
【解決手段】圧電共振子１において、圧電振動部３を支持するノード点Ｎ近傍に連結された支持部４ａ、４ｂの幅寸法ａと圧電振動部３の幅寸法ｂは０．０１５≦ａ／ｂ≦０．２００、圧電振動部３の長さ寸法ｄと幅寸法ｂは、ｄ＝１．５ｂ、支持部４ａ、４ｂの長さ寸法ｃは、利用する振動の波長をλとすると、７×１０^-3λ≦ｃ≦１９０×１０^-3λとすることで、振動漏れによる共振特性の劣化を低減している。 （もっと読む）

【課題】 支持腕（４０）の軸長さ（ＳＬ）を伸ばすことで振動漏れなどの影響を少なくする圧電振動片（２０）を提供する。
【解決手段】 パッケージ（ＰＫＧ１）に実装される圧電振動片（２０）は、圧電材料により形成され、所定の幅で一端側から他端側へ所定方向に伸びる基部（２９）と、基部の一端側から所定方向に伸びる少なくとも一対の振動腕（２１）と、基部の一端側から他端側の間で幅の方向に延長され且つ振動腕の外側において所定方向に伸びる支持腕（４０）と、実装のために支持腕の先端に形成された接着領域（２６）と、を備え、支持腕の先端は振動腕の先端の位置よりも延びておらず、且つ支持腕の軸長さ（ＳＬ）は振動腕の基部から先端までの長さよりも伸びる。 （もっと読む）

【課題】 振動腕を加工することなく周波数調整を行うことができる音叉型圧電振動片を備える圧電フレームを提供する。
【解決手段】 圧電フレーム（２１）は、基部（２３）の一端側から第１方向に伸びる少なくとも一対の振動腕（２４）を有し、この一対の振動腕に励振電極（４３，４４）を有する音叉型圧電振動片と、振動腕の両外側において第１方向に伸びる一対の支持腕（２５）と、音叉型圧電振動片を囲む外枠部（２２）と、一対の支持腕と外枠部とを接続する所定幅を有する接続部（２６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、不要振動の抑圧と感度の改善、または複数種類の不要振動を総合的に抑圧することのできる水晶振動片を提供する。
【解決手段】肉厚の振動部１４と肉薄の周縁部１６とを有するバイメサ型の水晶振動片１０であって、振動部１４の外形形状を矩形とすると共に、励振電極２０の中心と振動部１４の中心を一致させ、励振電極２０と周縁部１６のうちの少なくとも一方を構成する縁辺のうち、少なくとも長手方向に沿った中心軸と交差する縁辺部分のうちの一箇所を円弧状に形成し、厚み滑り振動と共に励起される屈曲振動の波長をλとした場合に、振動部１４における長手方向の寸法Ｌ２を


で示すことのできる寸法としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】平面サイズを小型化しつつ、不要振動を抑圧したメサ型振動片、メサ型振動デバイスおよびメサ型振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】メサ型振動片１０は、励振電極２０を主面１２ａに備えたメサ部１２と、メサ部１２よりも薄くして、メサ部１２と一体にして側方に設けた薄肉部１４と、を備えている。そして薄肉部１４の縁部を構成するいずれか１辺を基端２６側とすると、この基端２６側には、励振電極２０に導通したマウント電極２２を設けている。またマウント電極２２側にあるメサ部１２の側面１２ｂは、導電性接着剤が接合するマウント段差部１８となっている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、特性の安定した音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子を提供することを目的とする。
【解決手段】音叉型圧電振動片１０は、対向する一対の切り込み２６が形成されて一対の切り込み２６の間に位置する括れ部２８を有する基部１２と、基部１２から延びる一対の振動腕１４と、一対の振動腕１４にそれぞれ形成された励振電極１８と、を有する。同じ方向に一対の振動腕１４が揺れる同相モードの固有振動周波数ｆ_comで一対の振動腕１４が振動したときに、括れ部２８に同相モードの振動の節が位置する。 （もっと読む）

【課題】設計・製造を容易にして振動特性を良好に維持した２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子を提供する。
【解決手段】Ｚ′軸及び前記Ｘ′軸からそれぞれγ度傾斜して互いに直交する軸を応力感度零軸とし、応力感度零軸の互いに直交する中心から放射状に分割される４つの領域に強勢な振動変位を有する２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子において、応力感度零軸の互いに直交する中心部の厚みを大きくし、中心部から前記水晶片の外周部に向かって四角錐状とする稜線部Ｐを形成し、応力感度零軸間の４つの領域における、互いに直交する中心から各４つの領域を二等分する中央領域の垂直方向の断面厚みを大きくし、中央領域から両側となる応力感度軸に向かって徐々に厚みの小さくなる傾斜面を形成した構成とする。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきが抑制され、高信頼性が確保できるマイクロメカニカル共振器およびその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル共振器１００は、高誘電体基板２と、フレーム部４と、電極６，８とを備える。フレーム部４は、端部１０，１２と、端部１０，１２の間で振動可能に支持される共振ビーム１４とを有する。電極６は、共振ビーム１４に対して静電気力を及ぼすための対向部１６，１８と、対向部１６，１８を支持する脚部２０とを有する。フレーム部４および電極６，８は単結晶シリコンで形成される。好ましくは、脚部２４の共振ビーム１４に対向する側の面は、対向部２２の共振ビーム１４に対向する面よりも共振ビーム１４から離れる方向に後退して形成される。 （もっと読む）

【課題】１ＧＨｚ以上の共振周波数を出力可能な極薄の振動板を備えた圧電振動素子でありながら、振動板上に形成する励振電極の形状、配置方向を工夫することによって、インハーモニックスプリアスを可能な限り抑圧して目的とする共振周波数を得ることができる。
【解決手段】振動板４と、環状部５と、を備えることにより、少なくとも一方の主面側に凹陥部３を形成した圧電基板２と、振動板の表裏両面に夫々形成した励振電極１０ａ、１０ｂと、リード電極１１ａ、１１ｂと、を備えた圧電振動素子１において、振動板の表裏両面上に夫々位置する２つの励振電極は互いに交差する直線状の細幅帯状電極であり、各励振電極は夫々２つの結晶軸と直交しない斜め方向へ延在し、両励振電極の交差部を励振部１５とし、励振電極は全長に渡って同一幅を有し、且つ幅は同一でない。 （もっと読む）

【課題】チタン酸ジルコン酸鉛（以下、ＰＺＴと呼ぶ。）における圧電出力係数（以下、ｇと呼ぶ。）の絶対値がその他の圧電材料におけるｇの絶対値の中で小さい方に位置付けられ、ＰＺＴは、所定の機械エネルギーを効率良く電気エネルギーに変換できないという課題がある。
【解決手段】検出用圧電薄膜部１５２，１６２，１７２，１８２のｇ（ＺｎＯ）の絶対値は、駆動用圧電薄膜部１１２，１２２，１３２，１４２のｇ（ＰＺＴ）の絶対値より大きくなるように形成されている。このことから、検出用圧電薄膜部１５２，１６２，１７２，１８２に加えられた所定の大きさの変形（圧電歪）は、検出用圧電薄膜部１５２，１６２，１７２，１８２で交流電圧に効率良く変換することができる。 （もっと読む）